厦门韫茂薄膜沉积设备生产加工项目
1、建设项目基本信息
企业基本信息
**** | 建设单位代码类型:|
****0200MA31JEYQ4Y | 建设单位法人:YUNYU WANG |
魏琳琍 | 建设单位所在行政区划:****门市**区 |
**市**区**产业园6-1号楼第一、二层 |
建设项目基本信息
**韫茂薄膜沉积设备生产加工项目 | 项目代码:**** |
建设性质: | |
2021版本:070-采矿、冶金、建筑专用设备制造;化工、木材、非金属加工专用设备制造;食品、饮料、烟草及饲料生产专用设备制造;印刷、制药、日化及日用品生产专用设备制造;纺织、服装和皮革加工专用设备制造;电子和电工机械专用设备制造;农、林、牧、渔专用机械制造;医疗仪器设备及器械制造;环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造 | 行业类别(国民经济代码):C3562-C3562-半导体器件专用设备制造 |
建设地点: | ****门市**区 **市**区**产业园6-1号楼第一、二层 |
经度:118.00664 纬度: 24.60093 | ****机关:****环境局 |
环评批复时间: | 2023-08-09 |
厦集环审〔2023〕084号 | 本工程排污许可证编号:****0200MA31JEYQ4Y001X |
项目实际总投资(万元): | 3300 |
130 | 运营单位名称:**** |
****0200MA31JEYQ4Y | 验收监测(调查)报告编制机构名称:**** |
****0200MA31JEYQ4Y | 验收监测单位:**安格思****公司 |
****0206MA34A1NQ2X | 竣工时间:2023-12-01 |
调试结束时间: | |
2024-05-29 | 验收报告公开结束时间:2024-06-27 |
验收报告公开载体: | https://www.****.org/yanshou/29901.html |
2、工程变动信息
项目性质
** | 实际建设情况:** |
无 | 是否属于重大变动:|
规模
年生产薄膜沉积设备200套 | 实际建设情况:年生产薄膜沉积设备200套 |
无 | 是否属于重大变动:|
生产工艺
检验、零部件清洗、烘干、组装、产品测试、产品测试、包装出厂 | 实际建设情况:检验、零部件清洗、烘干、组装、产品测试、产品测试、包装出厂 |
无 | 是否属于重大变动:|
环保设施或环保措施
废水:项目酸洗槽、碱洗槽和有机溶剂清洗废液作为危废处置,外排废水主要包括清洗废水(酸洗槽、碱洗槽和有机溶剂清洗废液、纯水槽废水、自来水槽废水、超声波清洗废水)、废气处理措施废水、纯水制备废水以及职工生活污水。其中生活污水(5.85t/d、1755t/a)经厂区配套的三级化粪池处理后,经过市政污水管网纳入杏林水质净化厂进行深度处理;纯水制备过程产生的浓水,浓水水质较洁净,属清净下水,通过排污水管进入市政污水管网,纳入杏林水质净化厂;其余清洗废水(纯水槽废水、自来水槽废水、超声波清洗废水)和废气处理措施废水(50.026t/a、0.167t/d****处理站预处理后排入市政污水管网纳入杏林水质净化厂进行深度处理;废气:有机溶剂清洗废气(有机废气):集中收集经活性炭吸附装置处理后通过一根排气筒(DA001)排放、产品测试废气(特殊气体、含氟废气等):经设备配套的尾气处理装置(scrubber电热燃烧+水洗)处理后再经过碱液洗涤塔处理,通过一根排气筒(DA002)排放、产品测试废气(氯化氢、乙烯):经吸附式尾气处理装置处理后再经过碱液洗涤塔处理,通过一根排气筒(DA002)排放、酸洗、碱洗废气(氟化物、碱雾):经过碱液洗涤塔处理,通过一根排气筒(DA002)排放、检验分析废气(酸雾):密闭车间、由通风橱收集后引至碱液洗涤塔处理后通过一根排气筒(DA002)排放;噪声:项目在生产过程中拟采取的降噪措施。具体如下:采用隔声罩、减震垫,从声源上降低设备本身的噪声;调整机台摆放位置,尽量远离生产车间墙体或靠近窗户的一侧;固体废物:废包装材料、废零部件集中收集后委托有主体资格和技术能力的单位进行处置,项目拟设一般工业固废贮存区,一般工业固废贮存执行《一般工业固体固废贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020),生活垃圾由环卫部门统一清运;废硅片、废粉末、酸洗废液、碱洗废液、有机溶剂清洗废液,废化学品空瓶、废活性炭、废吸附剂、检验室废液、污水处理污泥属于《国家危险废物名录》中的危险废物,暂存于危废间,贮存时应按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)的要求执行,****公司清理清运 | 实际建设情况:废水:运营期项目酸洗槽、碱洗槽和有机溶剂清洗废液作为危废处置,外排废水主要包括清洗废水(酸洗槽、碱洗槽和有机溶剂清洗废液、纯水槽废水、自来水槽废水、超声波清洗废水)、废气处理措施废水、纯水制备废水以及职工生活污水。其中生活污水(5.85t/d、1755t/a)经厂区配套的三级化粪池处理后,经过市政污水管网纳入杏林水质净化厂进行深度处理;纯水制备过程产生的浓水,浓水水质较洁净,属清净下水,通过排污水管进入市政污水管网,纳入杏林水质净化厂;其余清洗废水(纯水槽废水、自来水槽废水、超声波清洗废水)和废气处理措施废水(50.026t/a、0.167t/d****处理站预处理后排入市政污水管网纳入杏林水质净化厂进行深度处理;废气:有机溶剂清洗废气(有机废气)集中收集经活性炭吸附装置处理后通过一根48m的排气筒(DA001)排放,产品测试废气(特殊气体、含氟废气、氯化氢、乙烯等)经设备配套的尾气处理装置(scrubber电热燃烧+水洗)处理后再经过碱液洗涤塔处理,通过一根排气筒(DA001)排放;酸洗、碱洗废气(氟化物、碱雾)经过碱液洗涤塔处理,通过一根48m的排气筒(DA001)排放;检验分析废气(酸雾)密闭车间、由通风橱收集后引至碱液洗涤塔处理后通过一根48m的排气筒(DA001)排放;噪声:项目在生产过程中采取的降噪措施。具体如下:采用隔声罩、减震垫,从声源上降低设备本身的噪声;调整机台摆放位置,远离生产车间墙体或靠近窗户的一侧;固体废物:废包装材料、废零部件集中收集后委托有主体资格和技术能力的单位进行处置,项目设有一般工业固废贮存区,一般工业固废贮存执行《一般工业固体固废贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020),生活垃圾由环卫部门统一清运;废硅片、废粉末、酸洗废液、碱洗废液、有机溶剂清洗废液,废化学品空瓶、废活性炭、检验室废液、污水处理污泥属于《国家危险废物名录》中的危险废物,暂存于危废间,贮存时应按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)的要求执行,定期委托**省****公司清理清运 |
项目实际建设过程中将处理后的产品测试废气、酸洗、碱洗废气、检验分析废气并入排气筒(DA001)排放 | 是否属于重大变动:|
其他
厂房1楼平面布置:主要有清洗间、质检间、产品组装区、产品测试区(粉末样品)等 | 实际建设情况:厂房1楼平面布置:主要有产品测试区、清洗间、质检间、产品组装区、产品测试区(粉末样品)等 |
实际生产过程中将产品组装区部分区域调整为产品测试区(硅片) | 是否属于重大变动:|
3、污染物排放量
0 | 0.005 | 0.005 | 0 | 0 | 0.005 | 0.005 | |
0 | 0.0015 | 0.0015 | 0 | 0 | 0.002 | 0.002 | |
0 | 0.0001 | 0.0001 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0.0072 | 0.0072 | 0 | 0 | 0.007 | 0.007 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
1 | 污水处理站 | 《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4三级标准(氨氮参照执行《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)中的B级标准) | 污水处理站 | 正常 | |
2 | 依托厂区三级化粪池 | 《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4三级标准(氨氮参照执行《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)中的B级标准) | 依托厂区三级化粪池 | 正常 |
表2 大气污染治理设施
1 | 活性炭吸附装置+设备配套的尾气处理装置(scrubber电热燃烧+水洗)+碱液洗涤塔 | 《**市大气污染物排放标准》(DB35/323-2018) | 活性炭吸附装置+设备配套的尾气处理装置(scrubber电热燃烧+水洗)+碱液洗涤塔 | 正常 |
表3 噪声治理设施
1 | 厂房隔声、减震等 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准 | 隔声罩、减震垫 | 正常 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
1 | 一般固废、危险废物和生活垃圾分别收集后统一处置,并规范设一般固废临时贮存场1处(5m2),设置一间危废暂存间(10m2) | 一般固废、危险废物和生活垃圾分别收集后统一处置,并规范设一般固废临时贮存场1处(5m2),设置一间危废暂存间(19.5m2),废包装材料、废零部件集中收集后委托有主体资格和技术能力的单位进行处置,项目拟设一般工业固废贮存区,一般工业固废贮存执行《一般工业固体固废贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020),生活垃圾由环卫部门统一清运;废硅片、废粉末、酸洗废液、碱洗废液、有机溶剂清洗废液,废化学品空瓶、废活性炭、废吸附剂、检验室废液、污水处理污泥属于《国家危险废物名录》中的危险废物,暂存于危废间,贮存时应按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)的要求执行,定期委托**省****公司清理清运 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
厂区三级化粪池 | 验收阶段落实情况:厂区三级化粪池 |
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环保搬迁
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
区域削减
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
生态恢复、补偿或管理
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
功能置换
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
其他
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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6、工程建设对项目周边环境的影响
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7、验收结论
1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
不存在上述情况 | |
验收结论 | 合格 |
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