12英寸凸点加工扩能(扩能至2365片天)项目
1、建设项目基本信息
企业基本信息
**** | 建设单位代码类型:|
915********0137192 | 建设单位法人:陈泰祥 |
张睿 | 建设单位所在行政区划:**省成****开发区 |
科新路8-10号 |
建设项目基本信息
12英寸凸点加工扩能(扩能至2365片天)项目 | 项目代码:**** |
建设性质: | |
2021版本:080-电子器件制造 | 行业类别(国民经济代码):C397-C397-电子器件制造 |
建设地点: | **省成****开发区 科新路8-10号 |
经度:103.913884 纬度: 30.777781 | ****机关:******生态环境局 |
环评批复时间: | 2022-08-08 |
成高环诺审〔2022〕58号 | 本工程排污许可证编号:915********0137192001Z |
2024-02-21 | 项目实际总投资(万元):57914 |
293 | 运营单位名称:**** |
915********0137192 | 验收监测(调查)报告编制机构名称:四****研究院 |
125********714545W | 验收监测单位:四****研究院 |
125********714545W | 竣工时间:2023-12-01 |
2023-12-04 | 调试结束时间:2024-06-30 |
2024-05-30 | 验收报告公开结束时间:2024-06-27 |
验收报告公开载体: | http://www.****.com/xxgs/1138.html |
2、工程变动信息
项目性质
改扩建 | 实际建设情况:改扩建 |
无变动 | 是否属于重大变动:|
规模
新增30.1125万片/年(825片/天)凸点加工产能 (其中5.4385万片/年为HotRod凸点,其它为常规凸点。) | 实际建设情况:与环评一致 |
无变动 | 是否属于重大变动:|
生产工艺
集成电路是通过一定的工艺技术,将一些元器件(如晶体管、电阻、电容等)制作在一块晶片上,并在相互之间接线,做成电路,能实现一定功能的电子器件。集成电路的生产是一个非常复杂而又精密的系统工程,完整的集成电路生产包括掩膜设计、硅片制造、芯片前工序加工、芯片封装、芯片测试等工序。本项目生产过程主要涉及芯片后加工工序。 | 实际建设情况:与环评一致 |
无变动 | 是否属于重大变动:|
环保设施或环保措施
显影液中由于含有四甲基氢氧化铵,将产生少量的碱性废气,由于其浓度很低,本项目将其和有机废气一并进行处理。凸点电镀废水依托FabB一楼已建的2套废水处理系统,用于处理电镀后产****实验室废水,采用离子交换树脂,处理能力250m3/d,电镀重金属废水分铜、镍废水和锡、银废水两大类收集处理,镍铜废水处理能力150m3/d,锡银废水处理能力100m3/d。 刻蚀含磷废水依托CUB5c内已建的含氟处理系统进行处理,设计处理容量720m3/d。 清洗废水等依托CUB5c内已建的中和处理系统进行处理,用于处理一般酸碱废水,设计处理容量6000m3/d。酸性废气及项目新增的等离子刻蚀会产生含氟废气,接入现有的酸性废气处理系统,当产能超过1997片/天时新增一套酸性废气排气系统65000m3/h作为备用系统。 挥发性有机废气经设备机台管道接入FabB现有的两套沸石转轮浓缩焚烧系统处理(风量45000m3/h与35000m3/h),另设置两套备用活性炭吸附处理系统(风量45000m3/h),尾气经40m高排气筒排放。 灰化工艺排气、设备热排气等,经一般排气系统40m高排气筒直接排放。 RCTO装置天然气废气与有机废气同用一根排气筒(40m)排放。优选低噪设备,设备减震,使用软管连接等措施以及其他隔声、减振措施。电镀废液依托现有废液收集罐(2个,共4m3),其余危险废物依托现有危险废物暂存库,位于CW1,其中616m2为危废暂存间,负责全厂危险废物的临时存放。 一般固废依托厂区现有一般固废暂存间(位于厂区西北角,1层,建筑面积500m2),负责全厂一般固废的临时存放。 本项目不新增劳动定员,现有厂区生活垃圾依托现有生活垃圾房(1个,30m2)收集处理后交由环卫部门处理。 | 实际建设情况:显影液中由于含有四甲基氢氧化铵,将产生少量的碱性废气,由于其浓度很低,本项目将该废气与酸性废气一同接入FabB的三套酸性废气处理系统(两用一备)。其余无变动。 |
四甲基氢氧化铵溶于水,本项目为优化废气处理工艺,将该废气通入酸性废气处理系统中作为碱液中和酸性废气。其余无变动。 | 是否属于重大变动:|
其他
厂房内实行分区防渗,生产厂房(FabB)、化学品库、锅炉房、CUB5c(含现有中和废水处理系统与含氟废水处理系统)、固废暂存库(危险废物暂存间)等为重点防渗区,重点防渗区防渗系数危废暂存间为≤10-10cm/s,其余为≤10-7cm/s;一般废物暂存间、****处理站为一般防渗区,一般防渗区渗透系数≤10-7cm/s,其余地方为简单防渗区。项目针对全厂制定了环境风险应急预案,酸碱废水事故应急池250m3,氢氟废水应急池38m3,重金属废水应急池60m3。 重点部位如化学品仓库CW1设置雨水截止阀,防止受污废水进入地表水。 废气处理系统均设置有备用系统,保证废气处理能不间断稳定运行。 | 实际建设情况:本项目均依托厂区原有构筑物,地下水防渗措施均依托厂区原有,已按照防渗分区要求落实了防渗措施。公司已编制突发环境事件应急预案,并完成备案(备案号:510109-2022-119-H)。同时废气处理系统均设置有备用系统,FabB的三套酸性废气处理系统(两用一备),FabB两套沸石转轮浓缩焚烧系统处理(备用两套活性炭吸附)。 |
无变动 | 是否属于重大变动:|
3、污染物排放量
0 | 7.2635 | 0 | 0 | 0 | 7.263 | 7.263 | |
0 | 20.99 | 0 | 0 | 0 | 20.99 | 20.99 | |
0 | 0.183 | 0 | 0 | 0 | 0.183 | 0.183 | |
0 | 0.1 | 0 | 0 | 0 | 0.1 | 0.1 | |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
1 | CFAB酸碱中和处理系统 | 《电子工业水污染物排放标准》 (GB 39731-2020)表1中半导体器件间接排放限值 | 依托原有 | 对CFAB生产废水总排口进行了监测 | |
2 | 含氟废水处理系统 | 《电子工业水污染物排放标准》 (GB 39731-2020)表1中半导体器件间接排放限值 | 依托原有 | 对含氟废水处理系统出口进行了监测 | |
3 | 铜镍电镀废水、锡银电镀废水处理系统 | 《电子工业水污染物排放标准》 (GB 39731-2020)表1中半导体器件间接排放限值 | 依托原有 | 对铜镍电镀废水、锡银电镀废水处理系统出口进行了监测 |
表2 大气污染治理设施
1 | 有机废气处理设施 | 《**省固定污染源大气挥发性有机物排放标准》 (DB 51/2377-2017)电子产品制造行业排放限值 | 废气经设备机台管道接入FabB两套沸石转轮浓缩焚烧系统处理,处理后的尾气经4根40m高排气筒排放(RCTO系统转轮出口3根排气筒,焚烧炉出口1根排气筒)。 | 对处理设施出口监测 | |
2 | 酸性废气处理设施 | 《电镀污染物排放标准》(GB 21900-2008)表5中排放限值 | 等离子切割工序产生的含氟废气先经切割设备自带的本地处理系统(POU)处理后,与其余酸性废气一同经设备机台管道统一接入FabB的三套酸性废气处理系统(两用一备,本项目新增一台备用处理系统)处理,处理后的废气后经3根40m高排气筒排放(2用1备)。显影液使用过程中挥发的少量四甲基氢氧化铵碱性废气一同进入该酸性废气处理系统进行处理。 | 对2根原有,一根新增备用酸性废气处理设施出口进行了监测 |
表3 噪声治理设施
1 | 噪声防治措施 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》 (GB 12348-2008)表1中3类排放限值 | 主要通过厂房隔声,优化布局及安装减振措施的方式控制噪声排放 | 对厂界环境噪声进行了监测 |
表4 地下水污染治理设施
1 | 厂房内实行分区防渗,生产厂房(FabB)、化学品库、锅炉房、CUB5c(含现有中和废水处理系统与含氟废水处理系统)、固废暂存库(危险废物暂存间)等为重点防渗区,重点防渗区防渗系数危废暂存间为≤10-10cm/s,其余为≤10-7cm/s;一般废物暂存间、****处理站为一般防渗区,一般防渗区渗透系数≤10-7cm/s,其余地方为简单防渗区 | 已落实。本项目均依托厂区原有构筑物,地下水防渗措施均依托厂区原有,已按照防渗分区要求落实了防渗措施。 |
表5 固废治理设施
1 | 固废治理:电镀废液依托现有废液收集罐(2个,共4m3),其余危险废物依托现有危险废物暂存库,位于CW1,其中616m2为危废暂存间,负责全厂危险废物的临时存放。 一般固废依托厂区现有一般固废暂存间(位于厂区西北角,1层,建筑面积500m2),负责全厂一般固废的临时存放。 本项目不新增劳动定员,现有厂区生活垃圾依托现有生活垃圾房(1个,30m2)收集处理后交由环卫部门处理。 | 已落实。本项目新增的固体废弃物均为危险废物,电镀废液依托厂区原有废液收集罐(2个,共4m3),其余危险废物依托厂区原有危险废物暂存库。危险废物暂存库已落实“地坪防渗层为20cm厚P8耐酸混凝土+环氧树脂”防渗措施。同时,危废暂存间制定了危险固废管理制度,配置专人负责危险固废的管理。 所有危险废物均外委具备资质的单位进行处置。 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
1 | 项目针对全厂制定了环境风险应急预案,酸碱废水事故应急池250m3,氢氟废水应急池38m3,重金属废水应急池60m3。 重点部位如化学品仓库CW1设置雨水截止阀,防止受污废水进入地表水。 废气处理系统均设置有备用系统,保证废气处理能不间断稳定运行。 | 公司已编制突发环境事件应急预案,并完成备案(备案号:510109-2022-119-H)。同时废气处理系统均设置有备用系统,FabB的三套酸性废气处理系统(两用一备),FabB两套沸石转轮浓缩焚烧系统处理(备用两套活性炭吸附)。 |
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
本项目公辅设施依托厂区原有,并依托原有环保设施基础进行改造。包括:一级纯水、超纯水终端系统、CBUMP酸性废气处理系统、CBUMP有机废气处理系统、废水处理系统、仓储工程等 | 验收阶段落实情况:已落实,与环评一致。 |
/ |
环保搬迁
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
区域削减
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
生态恢复、补偿或管理
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
功能置换
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
其他
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
6、工程建设对项目周边环境的影响
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
7、验收结论
1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
不存在上述情况 | |
验收结论 | 合格 |
招标导航更多>>
工程建筑
交通运输
环保绿化
医疗卫生
仪器仪表
水利水电
能源化工
弱电安防
办公文教
通讯电子
机械设备
农林牧渔
市政基建
政府部门
换一批