中国科学院光电技术研究所2024年8月政府采购意向
政府采购意向公告
****2024年8月政府采购意向
为便****政府采购信息,根据《****政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)等有关规定,现将****2024年8月政府采购意向公开如下:
序号 | 采购单位 | 采购项目 名称 | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额 (万元) | 预计 采购日期 | 备注 |
1 | **** | 12英寸涂胶显影一体机 | A****0300 | 详见项目详情 | 900.000000 | 2024年08月 | 详见项目详情 |
2 | **** | 12寸场发射扫描电子显微镜 | A****0301 | 详见项目详情 | 2085.000000 | 2024年08月 | 详见项目详情 |
3 | **** | 低温稀薄气体等离子体刻蚀模拟软件 | A****0114 | 详见项目详情 | 300.000000 | 2024年08月 | 详见项目详情 |
4 | **** | 掩模颗粒检测设备(光学) | A****0303 | 详见项目详情 | 2700.000000 | 2024年08月 | 详见项目详情 |
5 | **** | 掩模双面清洗系统 | A****0699 | 详见项目详情 | 3400.000000 | 2024年08月 | 详见项目详情 |
6 | **** | 12英寸介质膜层平坦化CMP系统 | A****0699 | 详见项目详情 | 2850.000000 | 2024年08月 | 详见项目详情 |
7 | **** | 图形表面形貌真空检测设备 | A****0300 | 详见项目详情 | 550.000000 | 2024年08月 | 详见项目详情 |
8 | **** | 晶圆单片刻蚀产物清洗机 | A****0699 | 详见项目详情 | 2400.000000 | 2024年08月 | 详见项目详情 |
9 | **** | 原子层沉积设备 | A****0699 | 详见项目详情 | 1200.000000 | 2024年08月 | 详见项目详情 |
10 | **** | 电子束缺陷复查设备 | A****0300 | 详见项目详情 | 3400.000000 | 2024年08月 | 详见项目详情 |
11 | **** | 微区光谱仪 | A****0303 | 详见项目详情 | 440.000000 | 2024年08月 | 详见项目详情 |
12 | **** | Materials Studio仿真计算软件 | A****0114 | 详见项目详情 | 200.000000 | 2024年08月 | 详见项目详情 |
13 | **** | 电子束直写数据处理软件 | A****0114 | 详见项目详情 | 100.000000 | 2024年08月 | 详见项目详情 |
14 | **** | 高分辨率掩模CD-SEM | A****0301 | 详见项目详情 | 3500.000000 | 2024年08月 | 详见项目详情 |
15 | **** | 掩模图形位置放置误差检测系统 | A****0699 | 详见项目详情 | 3550.000000 | 2024年08月 | 详见项目详情 |
16 | **** | 三维微纳结构表面形貌测量系统 | A****0699 | 详见项目详情 | 1800.000000 | 2024年08月 | 详见项目详情 |
17 | **** | 缺陷管理软件 | A****0114 | 详见项目详情 | 300.000000 | 2024年08月 | 详见项目详情 |
18 | **** | 晶圆背面/边洗设备 | A****0699 | 详见项目详情 | 2400.000000 | 2024年08月 | 详见项目详情 |
19 | **** | 单片有机沾污清洗机 | A****0699 | 详见项目详情 | 2580.000000 | 2024年08月 | 详见项目详情 |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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