35GW大尺寸绿色高效超薄单晶硅片（三期工程）、辅助车间技术改造项目
1、建设项目基本信息
企业基本信息
| **** | 建设单位代码类型：|
| ****1182MA1N9KKL22 | 建设单位法人：王艺澄 |
| 宋豆豆 | 建设单位所在行政区划：**省**市**市 |
| ****开发区港隆路666号 |
建设项目基本信息
| 35GW大尺寸绿色高效超薄单晶硅片（三期工程）、辅助车间技术改造项目 | 项目代码：|
| 建设性质： | |
| 2021版本:060-耐火材料制品制造；石墨及其他非金属矿物制品制造 | 行业类别（国民经济代码）：C3099-C3099-其他非金属矿物制品制造 |
| 建设地点： | **省**市**市 经济开发区港隆路666号 |
| 经度:119.86322 纬度: 32.1963 | ****机关：****环境局 |
| 环评批复时间： | 2024-01-17 |
| 扬环审〔2024〕1号 | 本工程排污许可证编号：**** |
| 2024-03-28 | 项目实际总投资(万元)：360000 |
| 30 | 运营单位名称：**美科太****公司 |
| ****1182MA1N9KKL22 | 验收监测(调查)报告编制机构名称：**美科太****公司 |
| ****1182MA1N9KKL22 | 验收监测单位：******公司 |
| ****0282MA7K04HW9Q | 竣工时间：2024-03-31 |
| 调试结束时间： | |
| 2024-04-19 | 验收报告公开结束时间：2024-05-18 |
| 验收报告公开载体： | https://bbs.****.com/ |
2、工程变动信息
项目性质
| 改扩建 | 实际建设情况：改扩建 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
规模
| 年产35GW大尺寸绿色高效超薄单晶硅片；年产导轮25000只、年划片1亿片。 | 实际建设情况：年产10GW大尺寸绿色高效超薄单晶硅片；年产导轮25000只、年划片1亿片。 |
| 三期工程在环评设计范围内 | 是否属于重大变动：|
生产工艺
| 大尺寸绿色高效超薄单晶硅片：1、截断、开方、研磨倒角：本项目建成后截断、开方、****集团****公司完成； 2、涂胶固化：研磨倒角后的半成品送至涂胶车间进行涂胶，胶为环氧树脂胶，常温固化，此过程会产生少量有机废气VOCs（以非甲烷总烃表征）G1； 3、切片工序：该工序将单晶硅锭粘接在设备工件平台上，根据导入的工艺文件，全程微米级精密切割，切割硅片片厚160±20μm，最低可至140±20μm。该工序引进行业最新******公司的GCQP700机型金刚线切片机，具有超高速稳定切割的特点，首次采用超低量程传感系统，支持终端控制。此过程会产生切片废水W1、硅粉S2； 4、切片废水循环利用：该工序主要是对切片工序产生的切削废水进行回收再利用。工序主要设置压滤机、陶瓷膜过滤系统和中水回用系统，利用纳米级陶瓷膜技术，可实现水、冷却液回收率大于等于95%。此过程会产生切片废水W1、压滤硅粉S1； 5、脱胶插片清洗：脱胶插片清洗工序采用自动插片清洗一体机，将切片后的硅片通过自动流水线进行超声波清洗并烘干，去除硅片表面脏污、环氧树脂胶。然后流转至分选工序。脱胶插片过程采用自来水，后续清洗过程采用纯水， 此过程会产生脱胶插片废水W2，清洗废水W3； 6、分选包装：分选工序引进瑞士Hennecke公司HE-WI-06s分选机型。该分选机型装载有少子寿命检测、红外检测等模块，除了可对硅片表面质量进行自动分选以外还可以对硅片电性能进行自动分选。****公司MES连接，可直接抓取分选数据，第一时间形成报表反馈硅片质量，指导生产。经分选的硅片由工作人员整理装盒，放入包装流水线。该流水线通过条码系统，与MES系统中数据匹配，实现包装自动区分类别，分别自动打包，流转入对应的装箱堆栈，最终完成自动包装装箱工作。该流水线实现包装的自动化。此过程无污染物产生。导轮：去皮：公司切片车间使用后产生的废导轮进入导轮生产车间进行去皮，去除废导轮外部的聚氨酯涂层后可作为铁芯原料进行重新生产导轮，此过程会产生聚氨酯废屑S1。 喷砂：使用喷砂机（设备密闭）对铁芯进行喷砂，增加表面粗糙度，此过程会产生喷砂粉尘G1及废砂S2，喷砂粉尘经负压收集后采用布袋除尘器进行处理，处理后的尾气通过车间外15m高排气筒排放大气环境； 刷胶：使用胶黏剂在铁芯表面进行人工刷胶，增加铁芯表面黏着力，方便下一步聚氨酯预聚体浇注，刷胶过程会产生刷胶废气G2（主要污染物为VOCs），刷胶废气经集气罩收集后与浇注废气一同采用两级活性炭吸 附处理，处理后的尾气通过车间外15m高排气筒排放大气环境； 浇注：使用聚氨酯浇注用预聚物，经电烤箱加热（70℃）成聚氨酯熔融物与固化剂混合后，通过浇注机浇注在铁芯表面，形成聚氨酯涂层；浇注过程会产生浇注废气G3（主要污染物为VOCs），浇注废气经集气罩收集后与刷胶废气一同采用两级活性炭吸附处理，处理后的尾气通过车间外15m高排气筒排放大气环境； 开槽：冷却后送入数控机床进行开槽（设备密闭），在主轮聚氨酯涂层上开出槽型；最后通过齿形检测仪检测合格后发往切片车间使用。此过程会产生聚氨酯废屑S3。划片：企业现有单晶硅片不合格品采用激光划片机进行划片为小尺寸，此过程会产生划片粉尘G4。 | 实际建设情况：大尺寸绿色高效超薄单晶硅片：1、截断、开方、研磨倒角：本项目建成后截断、开方、****集团****公司完成； 2、涂胶固化：研磨倒角后的半成品送至涂胶车间进行涂胶，胶为环氧树脂胶，常温固化，此过程会产生少量有机废气VOCs（以非甲烷总烃表征）G1； 3、切片工序：该工序将单晶硅锭粘接在设备工件平台上，根据导入的工艺文件，全程微米级精密切割，切割硅片片厚160±20μm，最低可至140±20μm。该工序引进行业最新******公司的GCQP700机型金刚线切片机，具有超高速稳定切割的特点，首次采用超低量程传感系统，支持终端控制。此过程会产生切片废水W1、硅粉S2； 4、切片废水循环利用：该工序主要是对切片工序产生的切削废水进行回收再利用。工序主要设置压滤机、陶瓷膜过滤系统和中水回用系统，利用纳米级陶瓷膜技术，可实现水、冷却液回收率大于等于95%。此过程会产生切片废水W1、压滤硅粉S1； 5、脱胶插片清洗：脱胶插片清洗工序采用自动插片清洗一体机，将切片后的硅片通过自动流水线进行超声波清洗并烘干，去除硅片表面脏污、环氧树脂胶。然后流转至分选工序。脱胶插片过程采用自来水，后续清洗过程采用纯水， 此过程会产生脱胶插片废水W2，清洗废水W3； 6、分选包装：分选工序引进瑞士Hennecke公司HE-WI-06s分选机型。该分选机型装载有少子寿命检测、红外检测等模块，除了可对硅片表面质量进行自动分选以外还可以对硅片电性能进行自动分选。****公司MES连接，可直接抓取分选数据，第一时间形成报表反馈硅片质量，指导生产。经分选的硅片由工作人员整理装盒，放入包装流水线。该流水线通过条码系统，与MES系统中数据匹配，实现包装自动区分类别，分别自动打包，流转入对应的装箱堆栈，最终完成自动包装装箱工作。该流水线实现包装的自动化。此过程无污染物产生。导轮：去皮：公司切片车间使用后产生的废导轮进入导轮生产车间进行去皮，去除废导轮外部的聚氨酯涂层后可作为铁芯原料进行重新生产导轮，此过程会产生聚氨酯废屑S1。 喷砂：使用喷砂机（设备密闭）对铁芯进行喷砂，增加表面粗糙度，此过程会产生喷砂粉尘G1及废砂S2，喷砂粉尘经负压收集后采用布袋除尘器进行处理，处理后的尾气通过车间外15m高排气筒排放大气环境； 刷胶：使用胶黏剂在铁芯表面进行人工刷胶，增加铁芯表面黏着力，方便下一步聚氨酯预聚体浇注，刷胶过程会产生刷胶废气G2（主要污染物为VOCs），刷胶废气经集气罩收集后与浇注废气一同采用两级活性炭吸 附处理，处理后的尾气通过车间外15m高排气筒排放大气环境； 浇注：使用聚氨酯浇注用预聚物，经电烤箱加热（70℃）成聚氨酯熔融物与固化剂混合后，通过浇注机浇注在铁芯表面，形成聚氨酯涂层；浇注过程会产生浇注废气G3（主要污染物为VOCs），浇注废气经集气罩收集后与刷胶废气一同采用两级活性炭吸附处理，处理后的尾气通过车间外15m高排气筒排放大气环境； 开槽：冷却后送入数控机床进行开槽（设备密闭），在主轮聚氨酯涂层上开出槽型；最后通过齿形检测仪检测合格后发往切片车间使用。此过程会产生聚氨酯废屑S3。划片：企业现有单晶硅片不合格品采用激光划片机进行划片为小尺寸，此过程会产生划片粉尘G4。 |
| 无变动 | 是否属于重大变动：|
环保设施或环保措施
| 全厂共4套粘棒车间废气处理设施，通过二级活性炭吸附设施处理后经15米高排气筒排放，全厂2套划片废气处理设施，划片废气通过布袋除尘器收集处理后经15米高排气筒排放。1套导轮车间刷胶及浇注废气处理设施，经两级活性炭吸附设施处理后经15米高排气筒排放。1套喷砂粉尘处理设施，导轮车间喷砂粉尘粉尘经管道密闭负压收集后采用布袋除尘器进行处理，处理后的尾气通过车间顶部15m高排气筒达标排放大气环境。1****处理站恶臭废气处理设施，经密闭收集后采用生物除臭工艺处理，处理后的尾气通过1根新增的20m高排气筒排放大气环境。厂区生活污水经化粪池预处理后****处理站，****处理站处理达接管标准后，通过市政污水管网进****处理厂；生产****处理站进行处理，****处理站处理后接****处理厂。 | 实际建设情况：全厂共4套粘棒车间废气处理设施，通过二级活性炭吸附设施处理后经15米高排气筒排放，全厂2套划片废气处理设施，划片废气通过布袋除尘器收集处理后经15米高排气筒排放。1套导轮车间刷胶及浇注废气处理设施，经两级活性炭吸附设施处理后经15米高排气筒排放。1套喷砂粉尘处理设施，导轮车间喷砂粉尘粉尘经管道密闭负压收集后采用布袋除尘器进行处理，处理后的尾气通过车间顶部15m高排气筒达标排放大气环境。1****处理站恶臭废气处理设施，经密闭收集后采用生物除臭工艺处理，处理后的尾气通过1根新增的20m高排气筒排放大气环境。厂区生活污水经化粪池预处理后****处理站，****处理站处理达接管标准后，通过市政污水管网进****处理厂；生产****处理站进行处理，****处理站处理后接****处理厂。 |
| 无变动 | 是否属于重大变动：|
其他
| / | 实际建设情况：/ |
| 无变动 | 是否属于重大变动：|
3、污染物排放量
| 216.018 | 160.1688 | 0 | 0 | 0 | 376.187 | 160.169 | |
| 271.643 | 206.61 | 0 | 0 | 0 | 478.253 | 206.61 | |
| 0.458 | 0.179 | 0 | 0 | 0 | 0.637 | 0.179 | |
| 0.0495 | 0.034 | 0 | 0 | 0 | 0.084 | 0.034 | |
| 0.6009 | 0.319 | 0 | 0 | 0 | 0.92 | 0.319 | |
| 165.254 | 109.916 | 0 | 0 | 0 | 275.17 | 109.916 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.175 | 0 | 0 | 0 | 0.175 | 0.175 | / |
| 0.215 | 0.298 | 0 | 0 | 0 | 0.513 | 0.298 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
| 1 | 污水处理站 | 《电池工业污染物排放标准》（GB 30484-2013）中表2标准、《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）B级标准 | 辅助车间技术改造项目不涉及新增用水及废水排放，废水主要来源于35GW大尺寸绿色高效超薄单晶硅片项目（三期项目），生活污水经化粪池预处****处理站，切片废水经切片废水循环利用系统处理后部分回用，****处理站，清洗废水、切片清洗房废水、脱胶插片废水****处理站，****处理站处理达接管标准后一起接****处理厂。 | 2024年4月1日~2024年4月2日对本项目进行了现场验收监测 |
表2 大气污染治理设施
| 1 | 布袋除尘器1# | 《**省大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表 1 | 喷砂废气颗粒物采用布袋除尘器处理装置收集处理达标后排放DA001喷砂废气排口 | 验收期间，DA001喷砂废气处理设施处理前颗粒物的小时平均浓度为20.95 mg/m3，处理后颗粒物的小时平均浓度为4.08mg/m3；经计算，DA001废气治理设施对颗粒物的去除率为80.48%，基本能够达到环保设施设计指标及要求 | |
| 2 | 二级活性炭吸附设施2# | 《**省大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021） | 刷胶有机废气经二级活性炭吸附设施处理达标后排放DA002刷胶浇注废气排口 | DA002刷胶浇注废气处理设施处理前非甲烷总烃的小时平均浓度为2.05 mg/m3，处理后非甲烷总烃的小时平均浓度为1.06mg/m3；经计算，DA002废气治理设施对非甲烷总烃的去除率为48.35% | |
| 3 | 布袋除尘器3# | 《**省大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021） | 划片车间废气颗粒物经布袋除尘器处理达标后通过DA003划片废气排放口A排放 | 2024年4月1日~2024年4月2日对本项目进行了现场验收监测 | |
| 4 | 布袋除尘器4# | 《**省大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021） | 划片车间废气颗粒物经布袋除尘器处理达标后通过DA004划片废气排放口B排放 | 2024年4月1日~2024年4月2日对本项目进行了现场验收监测 | |
| 5 | 生物除臭设施5# | 《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93） | 污水处理站恶臭废气经密闭收集后采用生物除臭工艺处理，处理后的尾气通过1根新增的20m高排气筒排放大气环境。 | 2024年4月1日~2024年4月2日对本项目进行了现场验收监测 | |
| 6 | 二级活性炭吸附设施7# | 《**省大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021） | 二期粘棒车间设有两套处理设施，二期粘棒有机废气经二级活性炭吸附设施处理达标后通过15米高DA007粘棒废气排口排放 | DA007“以新代老”二期粘棒废气A处理设施处理前非甲烷总烃的小时平均浓度为12.2 mg/m3，处理后非甲烷总烃的小时平均浓度为4.23mg/m3；经计算，DA007废气治理设施对非甲烷总烃的去除率为65.27% | |
| 7 | 二级活性炭吸附设施8# | 《**省大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021） | 二期粘棒车间设有两套处理设施，二期粘棒二期粘棒有机废气经二级活性炭吸附设施处理达标后通过15米高DA008粘棒废气排口排放 | DA008“以新代老”二期粘棒废气B处理设施处理前非甲烷总烃的小时平均浓度为13.22 mg/m3，处理后非甲烷总烃的小时平均浓度为3.32mg/m3；经计算，DA008废气治理设施对非甲烷总烃的去除率为73.92% | |
| 8 | 喷淋+除雾器+二级活性炭吸附设施 | 《**省大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021） | 三期粘棒车间有机废气经喷淋+除雾器+二级活性炭吸附设施处理达标后通过15米高排气筒DA009三期粘棒废气排口排放 | 2024年4月1日~2024年4月2日对本项目进行了现场验收监测 |
表3 噪声治理设施
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
| 1 | 扬环审【2024】1号、扬环审【2021】57号 | 本项目固废主要为压滤硅粉、生化污泥、废金刚线、废塑料中空板块、废压滤机滤布、废RO膜和滤芯、废活性炭、废环氧树脂胶、废环氧树脂胶桶、废脱胶剂桶、废预聚体桶、废试剂瓶、废机油、聚氨酯废屑及员工生活垃圾。生活垃圾委托环卫清运，压滤硅粉****公司回收再利用，生化污泥、废压滤机滤布、聚氨酯废屑收集后委托一般固废处置单位集中处理处置，废金刚线、废RO膜和****公司综合利用，废塑料中空板块收集后厂家回收，废活性炭、废环氧树脂胶桶、废脱胶剂桶、废预聚体桶、废试剂瓶、废机油属于危险废物，危险废物进入危库暂存，最终委托有资质单位收集处置。危险固废按照特性及相关要求分类收集贮存在危废储存区内，贮存期限不超过一年。项目固体废物零排放，不影响外环境。 本项目所有固废均得到彻底处理处置，实现零排放，不对外界环境造成二次污染。 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
| / | 验收阶段落实情况：/ |
| / |
环保搬迁
| / | 验收阶段落实情况：/ |
| / |
区域削减
| / | 验收阶段落实情况：/ |
| / |
生态恢复、补偿或管理
| / | 验收阶段落实情况：/ |
| / |
功能置换
| / | 验收阶段落实情况：/ |
| / |
其他
| / | 验收阶段落实情况：/ |
| / |
6、工程建设对项目周边环境的影响
| / |
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| / |
7、验收结论
| 1 | 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |
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