苏州芯聚半导体有限公司Mini LED与Micro LED显示屏研发生产项目
1、建设项目基本信息
企业基本信息
**** | 建设单位代码类型:|
****0594MA221Y0M0R | 建设单位法人:李基海 |
姚志福 | 建设单位所在行政区划:****园区 |
****园区泾东路36号 |
建设项目基本信息
****Mini LED与Micro LED显示屏研发生产项目 | 项目代码:**** |
建设性质: | |
2021版本:080-电子器件制造 | 行业类别(国民经济代码):C3974-C3974-显示器件制造 |
建设地点: | ****园区 ****园区泾东路36号 |
经度:120.84034 纬度: 31.3601 | ****机关:****环保局 |
环评批复时间: | 2022-11-07 |
****78600 | 本工程排污许可证编号:/ |
项目实际总投资(万元): | 20000 |
931 | 运营单位名称:**** |
****0594MA221Y0M0R | 验收监测(调查)报告编制机构名称:**** |
****0594MA221Y0M0R | 验收监测单位:******公司 |
913********588391R | 竣工时间:2023-07-31 |
2023-08-01 | 调试结束时间:|
2024-06-19 | 验收报告公开结束时间:2024-07-18 |
验收报告公开载体: | **建设项目环境信息公示平台 |
2、工程变动信息
项目性质
** | 实际建设情况:** |
无变动 | 是否属于重大变动:|
规模
产能:LED芯片132亿个/年、LED显示模组184320片/年 | 实际建设情况:产能:LED芯片132亿个/年、LED显示模组184320片/年 |
无变动 | 是否属于重大变动:|
生产工艺
有电极预清洗、钢网清洗 | 实际建设情况:取消电极预清洗、钢网清洗 |
取消电极预清洗、钢网清洗 | 是否属于重大变动:|
环保设施或环保措施
(一)废水 本项目生产及公辅废水收集后经废水处理设施处理后全部回用于生产,不外排。废水处理设施(169t/d)处理工艺为“pH调解和混凝沉淀+生化处理+MBR+多级过滤和RO反渗透系统+MVR”,反渗透产水进行回用,浓水进入MVR系统进行蒸发再浓缩,蒸发冷凝水回流反渗透系统进行再处理,蒸发结晶作为危废委托有资质单位处置。 产生的生活污水与空调系统冷却塔排水一并通****园区污水处理厂处理后排放。 (二)废气 本项目酸洗、ITO刻蚀、BOE刻蚀产生的废气(硫酸雾、氯化氢、氟化物)由设备内部的管道收集ICP干刻、PECVD(沉积设备)沉积产生的废气(氯气、四氟化碳、三氯化硼)由设备内部的管道进行收集;ICP干刻机、PECVD(沉积设备)和氯气储存间配置了电热水洗尾气处理装置,处置后的尾气与上述收集的酸性废气一并经“二级碱喷淋设施”处理后通过2号排气筒(25米高)排放。 上光阻、光刻、显影、去光阻、晶圆键合、三氧化二铝沉积、清洗、后端清洗、巨量转移、黑膜封装、保护膜封装生产时,设备均处于密闭状态,由设备内部管道收集产生的废气(非甲烷总烃、异丙醇);回流焊产生的废气利用集尘罩收集(锡及其化合物、非甲烷总烃);酒精使用工位设置集气罩收集废气(非甲烷总烃);以上废气收集汇总后经“水喷淋+二级活性炭”装置处理后的通过1号排气筒(15米高)排放。 未捕集的废气车间内无组织排放。 (三)噪声 本项目生产设备及公辅设施等运转产生的噪声,经采用置于室内、隔声减振、距离衰减等措施后排放。 (四)固体废物 本项目产生的废水处理污泥、废去胶液、废光刻胶、废无尘布、异丙醇废液、丙酮废液、废清洗液、废包装容器、废渗透膜、废活性炭等危险废物委托****和中新苏伊士环保****公司处置;废线路板委托**市****公司处置;废酸液、废ITO刻蚀液、废BOE刻蚀液、废酸、废返工清洗废液、废机油等危废委托中新******公司处置;蒸发残渣委托中新苏伊士环保****公司处置。 产生的废树脂、一般包装物、不合格品等一般固废委托**银合环保****公司处置。 产生的生活垃圾由环卫部门统一清运。 本项目设置二个危废仓库(36m2)(厂区东南侧),有防腐、防渗漏措施,摄像头和环保标牌,仓库周围设有防渗****处理站),基本满足《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)的要求。设置50 m2一般固废仓库(厂区东南侧)基本满足《一般工业固体废物贮存和填埋标准》(GB 18599-2020)。 | 实际建设情况:(一)废水 本项目生产及公辅废水收集后经废水处理设施处理后全部回用于生产,不外排。废水处理设施(169t/d)处理工艺为“pH调解和混凝沉淀+生化处理+MBR+多级过滤和RO反渗透系统+MVR”,反渗透产水进行回用,浓水进入MVR系统进行蒸发再浓缩,蒸发冷凝水回流反渗透系统进行再处理,蒸发结晶作为危废委托有资质单位处置。 产生的生活污水与空调系统冷却塔排水一并通****园区污水处理厂处理后排放。 (二)废气 本项目酸洗、ITO刻蚀、BOE刻蚀产生的废气(硫酸雾、氯化氢、氟化物)由设备内部的管道收集ICP干刻、PECVD(沉积设备)沉积产生的废气(氯气、四氟化碳、三氯化硼)由设备内部的管道进行收集;ICP干刻机、PECVD(沉积设备)和氯气储存间配置了电热水洗尾气处理装置,处置后的尾气与上述收集的酸性废气一并经“二级碱喷淋设施”处理后通过2号排气筒(25米高)排放。 上光阻、光刻、显影、去光阻、晶圆键合、三氧化二铝沉积、清洗、后端清洗、巨量转移、黑膜封装、保护膜封装生产时,设备均处于密闭状态,由设备内部管道收集产生的废气(非甲烷总烃、异丙醇);回流焊产生的废气利用集尘罩收集(锡及其化合物、非甲烷总烃);酒精使用工位设置集气罩收集废气(非甲烷总烃);以上废气收集汇总后经“水喷淋+二级活性炭”装置处理后的通过1号排气筒(15米高)排放。 未捕集的废气车间内无组织排放。 (三)噪声 本项目生产设备及公辅设施等运转产生的噪声,经采用置于室内、隔声减振、距离衰减等措施后排放。 (四)固体废物 本项目产生的废水处理污泥、废去胶液、废光刻胶、废无尘布、异丙醇废液、丙酮废液、废清洗液、废包装容器、废渗透膜、废活性炭等危险废物委托****和中新苏伊士环保****公司处置;废线路板委托**市****公司处置;废酸液、废ITO刻蚀液、废BOE刻蚀液、废酸、废返工清洗废液、废机油等危废委托中新******公司处置;蒸发残渣委托中新苏伊士环保****公司处置。 产生的废树脂、一般包装物、不合格品等一般固废委托**银合环保****公司处置。 产生的生活垃圾由环卫部门统一清运。 本项目设置二个危废仓库(16 m2+16m2)(厂区东南侧),有防腐、防渗漏措施,摄像头和环保标牌,仓库周围设有防渗****处理站),基本满足《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)的要求。设置50 m2一般固废仓库(厂区东南侧)基本满足《一般工业固体废物贮存和填埋标准》(GB 18599-2020)。 |
危废暂存场所面积36变为32 | 是否属于重大变动:|
其他
/ | 实际建设情况:/ |
(一)设备数量及型号变化 减少全自动去胶机、打胶机、甩干机、扩晶机、锡膏检测机、光电测试系统、等离子清洗机、钢网清洗机各一台,减少COT测试机六台,增加光刻机一台、激光剥离设备一台、烤箱六台、真空系统一套,增加的设备为配合不同产品,还有部分设备的型号有变化调整,项目的产能未变,未导致新增产排污量。 (二)原辅材料变化 电极蒸镀增加蒸镀镍6kg/a,电极蒸镀在真空下工作,不产生新的污染物;取消钢网清洗,减少乙二醇醚清洗液使用量1.5t/a;废水处理使用的混凝剂由PAC改为聚合硫酸铁,对环境无不利影响。 | 是否属于重大变动:|
3、污染物排放量
0 | 1.12 | 0 | 0 | 0 | 1.12 | 1.12 | |
0 | 2.17 | 0 | 0 | 0 | 2.17 | 2.17 | |
0 | 0.105 | 0 | 0 | 0 | 0.105 | 0.105 | |
0 | 0.0126 | 0 | 0 | 0 | 0.013 | 0.013 | |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
0 | 1.96 | 0 | 0 | 0 | 1.96 | 1.96 | |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0.707 | 0 | 0 | 0 | 0.707 | 0.707 | / |
0 | 0.114 | 0 | 0 | 0 | 0.114 | 0.114 | / |
0 | 0.038 | 0 | 0 | 0 | 0.038 | 0.038 | / |
0 | 0.053 | 0 | 0 | 0 | 0.053 | 0.053 | / |
0 | 0.0001 | 0 | 0 | 0 | 0.0001 | 0 | / |
0 | 0.0001 | 0 | 0 | 0 | 0.0001 | 0 | / |
0 | 0.0029 | 0 | 0 | 0 | 0.003 | 0.003 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
1 | 废水处理设施 | 企业回用水质标准要求 | 按要求建设 | 达标 |
表2 大气污染治理设施
1 | 二级碱喷淋设施 | 《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3、表4标准,《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041—2021)表3标准 | 按要求建设 | 按要求监测 | |
2 | “水喷淋+二级活性炭”装置 | 《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3、表4标准,《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041—2021)表3标准 | 按要求建设 | 按要求监测 |
表3 噪声治理设施
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
1 | 36平方米危废仓库 | 32平方米危废仓库 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
环保搬迁
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
区域削减
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
生态恢复、补偿或管理
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
功能置换
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
其他
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
6、工程建设对项目周边环境的影响
/ |
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7、验收结论
1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
不存在上述情况 | |
验收结论 | 合格 |
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