项目编号

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项目名称

****（**）液体前驱体供应系统等四个设备采购项目

经按程序的评审，以下单位被确定为该采购项目的成交供应商

采购项目内容及数量

下电极射频偏压源 - 1台 光发射谱终点检测装置 - 1台 液体前驱体供应系统 - 1套 激光终点监视仪 - 1台

评审小组成员名单

自动评审

成交标的及供应商

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成交企业

金额(人民币)

采购设备

品牌

规格型号

保修年限

单价

数量

总价

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760,000.00

下电极射频偏压源

SENTECH

SI 500 D-BPS

2年

189,000.00(人民币)

1台

189,000.00(人民币)

光发射谱终点检测装置

SENTECH

SI 500-OES

2年

187,600.00(人民币)

1台

187,600.00(人民币)

液体前驱体供应系统

SENTECH

SI 500 D-LPS

2年

193,400.00(人民币)

1套

193,400.00(人民币)

激光终点监视仪

SENTECH

SLI 670

2年

190,000.00(人民币)

1台

190,000.00(人民币)