中科德芯红外探测器外延材料生产项目
1、建设项目基本信息
企业基本信息
**** | 建设单位代码类型:|
****0214MA20TAWBXQ | 建设单位法人:李雪 |
王芳 | 建设单位所在行政区划:**省**市**区 |
**市**区硕放乡(街道)锡梅路113号113-2-2号厂房西半侧(智能医疗产业园) |
建设项目基本信息
中科德芯红外探测器外延材料生产项目 | 项目代码:**** |
建设性质: | |
2021版本:080-电子器件制造 | 行业类别(国民经济代码):C3985-C3985-电子专用材料制造 |
建设地点: | **省**市**区 锡梅路113号113-2-2号厂房西半侧(智能医疗产业园) |
经度:120.28232 纬度: 31.312222 | ****机关:****审批局 |
环评批复时间: | 2023-12-18 |
锡行审环许〔2023〕7136号 | 本工程排污许可证编号:****0214MA20TAWBXQ001X |
项目实际总投资(万元): | 2300 |
运营单位名称: | **** |
****0214MA20TAWBXQ | 验收监测(调查)报告编制机构名称:****研究院股份公司 |
****0191MA1MG37A02 | 验收监测单位:**康达****公司 |
913********077258K | 竣工时间:2024-02-01 |
2024-02-02 | 调试结束时间:2024-04-30 |
2024-07-19 | 验收报告公开结束时间:2024-08-15 |
验收报告公开载体: | ****研究院股份公司官网 |
2、工程变动信息
项目性质
扩建 | 实际建设情况:扩建 |
无 | 是否属于重大变动:|
规模
年产1500片典型InGaAs外延片 | 实际建设情况:年产1500片典型InGaAs外延片 |
无 | 是否属于重大变动:|
生产工艺
本项目外延生长工艺主要采用分子束外延(MBE)设备,外延工艺加工4寸、3寸晶圆(通过更换托架盘实现不同尺寸晶圆加工的切换),产品部分用于现有项目,现有项目共需1000片。 | 实际建设情况:本项目外延生长工艺主要采用分子束外延(MBE)设备,外延工艺加工4寸、3寸晶圆(通过更换托架盘实现不同尺寸晶圆加工的切换),产品部分用于现有项目,现有项目共需1000片。 |
无 | 是否属于重大变动:|
环保设施或环保措施
本项目新增的废水主要为清洗废水,直接作为危废处置,不外排。废气污染源主要为碱性废气,包含设备配件(设备冷屏外表面、样品架本体以及源炉快门)洗涤挥发的氨。依托现有项目设置的酸碱废气综合处理系统(一级酸洗+两级碱洗)处理后通过25m高排气筒(FQ-01)排放。本项目产生的危险废物委托有资质单位处置;一般工业固废外售综合利用。 | 实际建设情况:本项目新增的废水主要为清洗废水,直接作为危废处置,不外排。废气污染源主要为碱性废气,包含设备配件(设备冷屏外表面、样品架本体以及源炉快门)洗涤挥发的氨。依托现有项目设置的酸碱废气综合处理系统(一级酸洗+两级碱洗)处理后通过25m高排气筒(FQ-01)排放。本项目产生的危险废物委托有资质单位处置;一般工业固废外售综合利用。 |
本项目实际生产中,危险废物的产生量为6.8t/a,不新增危废代码,危废产生量有所减少 | 是否属于重大变动:|
其他
原辅料:项目使用液氮、25%氨水、超高纯In 、超高纯Ga 、磷化铟(InP)晶圆等原辅料;公用工程:供热系统:原环评设计采用电加热 | 实际建设情况:原辅料:实际生产中,原辅料使用量相比环评有所减少;公用工程:实际运营中,企业从节能角度考虑,供热方式变更为风冷热泵+电加热,风冷热泵的水用于空调及纯水的水温控制,不会导致废气、废水、固废排放量增加 |
原辅料:原辅料用量较环评有所减少;公用工程:供热方式变化,实际中变更为风冷热泵+电加热,风冷热泵的水用于空调及纯水的水温控制 | 是否属于重大变动:|
3、污染物排放量
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4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
表2 大气污染治理设施
1 | 酸碱废气处理设施 | **省《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020) | 酸碱废气处理设施 | 酸碱废气处理设施进、出空口 |
表3 噪声治理设施
1 | 减震、消声措施 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中3类 | 减震、消声措施 | 厂界噪声 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
1 | 危废委托资质单位处置,一般固废外售综合利用 | 危废委托资质单位处置,一般固废外售综合利用 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
依托现有项目酸碱废气处理措施 | 验收阶段落实情况:依托现有项目酸碱废气处理措施 |
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环保搬迁
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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区域削减
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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生态恢复、补偿或管理
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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功能置换
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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其他
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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6、工程建设对项目周边环境的影响
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7、验收结论
1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
不存在上述情况 | |
验收结论 | 合格 |
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