标的名称:无液氦低温探针台系统 标的数量:1 主要功能或目标:设备供一个低温真空的可控环境，可在变温真空下测试样品性能从而更全面的分析样品各种性能。温度范围可以在78K-475K内温度可调节，温度稳定性优于±100mK.能连续变温测试。电学测试可以精度非常高，总体漏电流小于100fA，测量出的数据精度更高。 需满足的要求:半导体参数分析仪：配备高精度SMU源测量单元不少于3个，SUM电流测量分辨率：≤0.1fA；最大直流电流：≥1A；SMU自带脉冲时间：≥50us；最大脉冲电流≥3A；SMU的电流测量范围至少满足30 fA -1A； IV-T模式下最快采样率： ≤1us；脉冲模块：最小脉冲I-V宽度130ns；2、无液氦低温探针台，一台336四通道温控仪，分别对样品台、防辐射屏、探针臂进行控温或测温；两次热沉设计等