年产30000吨集成电路CMP制程用抛光液和清洗液项目（一期）

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年产30000吨集成电路CMP制程用抛光液和清洗液项目（一期）

更新时间	2024年08月29日
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关键信息	集成电路抛光清洗液
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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****9004MA7N4R4L3F	任骥麟
田凯军	省省直辖市
仙****开发区新材料产业园

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

年产30000吨集成电路CMP制程用抛光液和清洗液项目（一期）	****

2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造	C3985-C3985-电子专用材料制造
	省省直辖市仙****开发区新材料产业园
经度:113.56652 纬度: 30.35123	****环境局
	2023-03-03
仙环建函〔2023〕14号	****9004MA7N4R4L3F001U
2024-01-18	11000
62	****
****9004MA7N4R4L3F	中绿环境**公司
914********421961X	****公司
****0100MA4KXTM362	2024-01-05
2024-02-25	2024-07-20
2024-07-30	2024-08-27
	建设项目环境信息公示平台（https://www.**.com/gs/detail/2?id=40730PkO1T）

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

一期工程年产10000吨抛光液；	一期工程年产10000吨抛光液；
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

抛光液：配料→循环混合→分散混合→过滤→检测→罐装；	抛光液：配料→循环混合→分散混合→过滤→检测→罐装；
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

废气：（1）一期工程生产工艺废气：抛光液生产废气由密闭洁净室内集气管道收集进入1套碱喷淋塔处理，废气经1根30m排气筒DL-DA010排放；（2）危废暂存间废气：依托鼎龙研磨粒子项目厂区危废暂存间废气处理装置（水喷淋+活性炭吸附）处理后由15m排气筒（DL-DA008）排放；（3**处理站废气：依托鼎龙研磨处理站废气处理装置（碱液喷淋+UV光解+活性炭吸附）处理后由15m排气筒（DL-DA009）排放。废水：（1）生活污水经隔油池+化粪池预处理后，同设备清洗废水、实验室废水、废气处理喷淋废水等生产废水排至鼎龙研**处理站处理，污水处理站规模为2500m3/d，工艺为调节池+水解酸化+IC塔+两级A/O+二沉池；（2）纯水制备浓水通过厂区雨水排口排放；固废：（1）生活垃圾：定期交由环卫部门清运处理；一般工业固废：定期交由相关单位处理；（2）危险废物：废滤芯、沾染危化品的废包装材料、污水处理站物化污泥等于危废暂存间暂存后，定期交由相关资质单位处理处置；	废气：（1）一期工程生产工艺废气：抛光液生产配料、罐装废气经集气管道收集后进入1套碱喷淋塔+活性炭吸附装置处理，废气经1根30m排气筒DL-DA006排放；其他废气由密闭洁净室内集气管道收集进入1套碱喷淋塔处理，废气经1根30m排气筒DL-DA003排放；（2）危废暂存间废气：依托鼎龙研磨粒子项目厂区危废暂存间废气处理装置（水喷淋+活性炭吸附）处理后由15m排气筒（DL-DA004）排放；（3**处理站废气：依托鼎龙研磨处理站废气处理装置（碱液喷淋+UV光解+活性炭吸附）处理后由15m排气筒（DL-DA007）排放。废水：（1）生活污水经隔油池+化粪池预处理后，同设备清洗废水、实验室废水、废气处理喷淋废水等生产废水排至鼎龙研**处理站处理，污水处理站规模为1200m3/d，工艺为调节池+水解酸化+IC塔+两级A/O+二沉池；（2）纯水制备浓水通过厂区雨水排口排放；固废：（1）生活垃圾：定期交由环卫部门清运处理；一般工业固废：定期交由相关单位处理；（2）危险废物：废滤芯、沾染危化品的废包装材料、污水处理站物化污泥等于危废暂存间暂存后，定期交由相关资质单位处理处置；
废气：车间废气处理设施增设1套碱喷淋塔+活性炭吸附装置，为措施优化；废水：此次厂区项目均为一阶段、一期验收，污水处理站建成规模为1200m3/d，可满足要求；

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

废气排放口：（1）一期工程生产工艺废气：废气经1根30m排气筒DL-DA010排放；（2）危废暂存间废气：依托鼎龙研磨粒子项目厂区危废暂存间废气处理装置（水喷淋+活性炭吸附）处理后由15m排气筒（DL-DA008）排放；（3**处理站废气：依托鼎龙研磨处理站废气处理装置（碱液喷淋+UV光解+活性炭吸附）处理后由15m排气筒（DL-DA009）排放。废水排放口：生活污水经隔油池+化粪池预处理后，同设备清洗废水、实验室废水、废气处理喷淋废水等生产废水排至鼎龙研处理站处理，**处理厂处理处置；环境风险防控设施：依托鼎龙研磨粒子项目1座事故应急池1700m3，1座初期雨水池2500m3。	废气排放口：（1）一期工程生产工艺废气：抛光液生产配料、罐装废气经集气管道收集处理后，废气经1根30m排气筒DL-DA006排放；其他废气由密闭洁净室内集气管道收集处理，废气经1根30m排气筒DL-DA003排放；（2）危废暂存间废气：依托鼎龙研磨粒子项目厂区危废暂存间废气处理装置（水喷淋+活性炭吸附）处理后由15m排气筒（DL-DA004）排放；（3**处理站废气：依托鼎龙研磨处理站废气处理装置（碱液喷淋+UV光解+活性炭吸附）处理后由15m排气筒（DL-DA007）排放。废水排放口：生活污水经隔油池+化粪池预处理后，同设备清洗废水、实验室废水、废气处理喷淋废水等生产废水排至鼎龙研处理站处理，**处理厂处理处置；环境风险防控设施：依托鼎龙研磨粒子项目1座事故应急池1700m3，1座初期雨水池2500m3。
车间工艺废气新增了1根排气筒，未新增主要排放口

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

5.24	15.52	5.24	5.24
2.62	7.8	2.62	2.62
0.262	0.78	0.262	0.262
0	0	0	0
0	0	0	0
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0.0083	0	0.008	0.008	/
0	0	0	0	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

污水处理站处理：调节池+水解酸化+IC塔+两级A/O+二沉池；2500m3/d

执行《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020）中表1间接排放标准、《合成树脂工业污染物排放标准》（GB31572-2015）表1间接排放****处理厂接管要求

污水处理站处理：调节池+水解酸化+IC塔+两级A/O+二沉池；1200m3/d

验收监测期间，厂区污水排放口的pH值为7.4~7.6；化学需氧量为85~91mg/L；五日生化需氧量为33.3~41.4mg/L；氨氮为9.03~11.9mg/L；悬浮物为14~19mg/L；石油类为ND；总磷为0.12~0.16mg/L；总氮为28.7~32.5mg/L；可吸附卤化物为0.0187~0.0205mg/L；阴离子表面活性剂为ND；总有机碳为6.3~11.2mg/L；硫酸盐为211~231mg/L；TDS为453~499mg/L；

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

（1）一期工程生产工艺废气：抛光液生产废气由密闭洁净室内集气管道收集进入1套碱喷淋塔处理，废气经1根30m排气筒DL-DA010排放；（2）危废暂存间废气：依托鼎龙研磨粒子项目厂区危废暂存间废气处理装置（水喷淋+活性炭吸附）处理后由15m排气筒（DL-DA008）排放；（3****处理站废气：依托鼎龙研磨****处理站废气处理装置（碱液喷淋+UV光解+活性炭吸附）处理后由15m排气筒（DL-DA009）排放；

DL-DA003、DL-DA006、DL-DA004、DL-DA007排气筒各废气污染物颗粒物、NOx、VOCs执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中二级标准，氨、硫化氢执行《恶臭污染物排放标准》（GB 14554-93）表2相应限值；同时危废暂存间（DL-DA008）、污水处理站（DL-DA009）废气挥发性有机物排放速率需要严格50%执行；厂界氨、硫化氢执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-1993）表1相应限值，VOCs执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2非甲烷总烃限值；厂内监控点非甲烷总烃须达到《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB 37822—2019）要求。

（1）一期工程生产工艺废气：抛光液生产配料、罐装废气经集气管道收集后进入1套碱喷淋塔+活性炭吸附装置处理，废气经1根30m排气筒DL-DA006排放；其他废气由密闭洁净室内集气管道收集进入1套碱喷淋塔处理，废气经1根30m排气筒DL-DA003排放；（2）危废暂存间废气：依托鼎龙研磨粒子项目厂区危废暂存间废气处理装置（水喷淋+活性炭吸附）处理后由15m排气筒（DL-DA004）排放；（3****处理站废气：依托鼎龙研磨****处理站废气处理装置（碱液喷淋+UV光解+活性炭吸附）处理后由15m排气筒（DL-DA007）排放；

有组织废气： 1）抛光液生产车间废气DL-DA003排气筒排放的颗粒物浓度＜20mg/m3，小于标准值120mg/m3；氮氧化物浓度为ND（3mg/m3），小于标准值240mg/m3； 2）抛光液生产车间废气DL-DA006排气筒排放的颗粒物浓度为1.2~3.9mg/m3，小于标准值120mg/m3，速率为0.0153~0.0491kg/h，小于标准值2.3kg/h；氮氧化物浓度为ND（3mg/m3），小于标准值240mg/m3； 3）危废暂存间废气DL-DA004排气筒排放的非甲烷总烃浓度为1.47~1.73mg/m3，小于标准值120mg/m3，速率为0.00119~0.0014kg/h，小于标准值5.0kg/h； 4****处理站废气DL-DA007排气筒排放的非甲烷总烃浓度为1.78~1.86mg/m3，小于标准值120mg/m3，速率为0.0112~0.0122kg/h，小于标准值5.0kg/h；氨速率为0.0053~0.00718kg/h，小于标准值4.9kg/h；硫化氢速率为0.0017~0.0021kg/h，小于标准值0.333kg/h；臭气浓度为478~851，小于标准值2000；无组织废气：验收监测期间，厂界无组织排放的挥发性有机物浓度范围为0.4~0.76mg/m3，小于标准值4.0mg/m3；氮氧化物浓度为0.031~0.046mg/m3，小于标准值0.12mg/m3；颗粒物浓度为0.141~0.327mg/m3，小于标准值1.0mg/m3；氨浓度范围为0.14~0.25mg/m3，小于标准值1.5mg/m3；硫化氢浓度范围为0.003~0.008mg/m3，小于标准值0.06mg/m3；臭气浓度范围为10~17，小于标准值20；厂内监测点位非甲烷总烃浓度范围为0.48~0.52mg/m3，小于标准值10mg/m3；

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

减振基座、建筑隔声

厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准

减振基座、建筑隔声

验收监测期间，厂界昼间噪声最大值为56.5dB(A)，小于标准值65dB(A)；厂界夜间噪声最大值为51.6dB(A)，小于标准值55dB(A)

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

一般固废暂存场，1F，占地面积200m2，建筑面积200m2，高5.3m，位于2#危废暂存间东侧，依托研磨粒子项目一般工业固废间；2#危废库房，1F，占地面积500m2，建筑面积500m2，高6.3m，位于5#甲类仓库西侧，依托研磨粒子项目一般工业固废间

一般固废暂存场，1F，占地面积200m2，建筑面积200m2，高5.3m，位于2#危废暂存间东侧；2#危废库房，1F，占地面积400m2，建筑面积400m2，高6.3m，位于5#甲类仓库西侧

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

依托鼎龙研磨粒子项目1座事故应急池1700m3，1座初期雨水池2500m3。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程