自动晶圆键合机防震台定制和安装服务（ZJLAB-FS-BX20240151）采购公告

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自动晶圆键合机防震台定制和安装服务（ZJLAB-FS-BX20240151）采购公告

更新时间	2024年09月12日
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关键信息	晶圆和安
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项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

自动晶圆键合机防震台定制和安装服务	****
2024-09-12 09:34:42	2024-09-17 10:00:00
****	(境内供货)货到验收后付款

	签约后45个自然日内
￥200000.00




****3-A楼微纳加工平台
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

自动晶圆键合机防震台定制和安装服务

台

其他不另分类的物品

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 200000.00

1：承载能力：≥5000 Kg/m2（防震台上设备按照重量5000 Kg计算）； 2：微振等级要求及参考尺寸：采用被动式，整体微振要求为VC-B，参考尺寸为2280 mm×2930 mm×2190 mm；其中，有两个区域微振要求为VC-C，参考尺寸分别为545 mm×500 mm×2190 mm和1100 mm×1630 mm×2190 mm。防震台表面需要打孔，用于设备走线。防震台参考尺寸示意图见附件，详细设备尺寸待签订合同时提供； 3：整体厚度为2190 mm，与高架地板齐平（以现场实际测量为准）； 4：顶面平面度：≤2 mm/m2，顶面总体高度差≤2.5 mm； 5：表面涂层：环氧层厚度：2 mm；强度≥Concrete C50；表面电阻：（2.5×104-1×106）Ω 6：安装精度：安装水**≤2 mm/m，与高架地板的高度差≤2 mm，且不低于高架地板； 7：施工安装：防震台制造及安装所需的所有工作，包含不限于：制造、运输、吊装、搬运及安装等； 8：其他要求：高架地板保护；防震台尺寸导致高架地板、水电气管路的拆除和切割；高架地板切割面需用铝型材进行包边处理，必要时需用胶水或铆钉进行固定，避免翘起。

附件下载:240909 自动晶圆键合机防震台定制和安装服务技术参数.docx

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