年产6亿只半导体特色分立器件项目
1、建设项目基本信息
企业基本信息
**** | 建设单位代码类型:|
913********837814Y | 建设单位法人:曹孙根 |
刘鹏 | 建设单位所在行政区划:******开发区 |
****开发区金同路以西、钜芯半导体一期项目以北地块 |
建设项目基本信息
年产6亿只半导体特色分立器件项目 | 项目代码:**** |
建设性质: | |
2021版本:080-电子器件制造 | 行业类别(国民经济代码):C3972-C3972-半导体分立器件制造 |
建设地点: | ******开发区 ****开发区金同路以西、钜芯半导体一期项目以北地块 |
经度:117.****08552 纬度: 30.****24518 | ****机关:****开发区 |
环评批复时间: | 2024-02-23 |
池开环审〔2024〕2号 | 本工程排污许可证编号:913********837814Y001V |
2024-04-03 | 项目实际总投资(万元):5000 |
50 | 运营单位名称:**** |
913********837814Y | 验收监测(调查)报告编制机构名称:**** |
913********837814Y | 验收监测单位:**省****公司 |
****0104MA2UX98X3J | 竣工时间:2024-03-23 |
2024-04-04 | 调试结束时间:2024-04-07 |
2024-04-19 | 验收报告公开结束时间:2024-05-09 |
验收报告公开载体: | https://anhizh.com/web/notice/detail/id/112 |
2、工程变动信息
项目性质
改扩建 | 实际建设情况:改扩建 |
无 | 是否属于重大变动:|
规模
项目利用一期现有厂房,并**厂房、仓库及附属工程合计约5万平方米,开发建设包括轴向半导体分立器件以及框架半导体分立器件等产品,全面达产后实现年产6亿只半导体特色分立器件能力。 | 实际建设情况:项目利用一期现有厂房,建设轴向半导体分立器件以及框架半导体分立器件产品,全面达产后实现年产3亿只半导体特色分立器件能力。 |
未**厂房、仓库及附属工程合计约5万平方米,本次验收为阶段性验收 | 是否属于重大变动:|
生产工艺
轴式半导体分立器件:组装—焊接—塑封、后固化—链式烘烤—电解去溢料、电镀—测试—设备清洗—油墨印字、不合格品擦拭—包装入库; 框架半导体分立器件:冲压成型—组装—焊接—塑封、后固化—链式烘烤—电解去溢料、电镀—储锡—切筋、分解—测试—包装入库 电镀:电解软化、水洗—去溢料—去氧化、水洗—预浸、电镀—水洗、中和、水洗、干燥—退镀、水洗、干燥 划片工艺:贴膜—划片——位置校准—切割、清洗、甩干—卸片 | 实际建设情况:轴式半导体分立器件:组装—焊接—塑封、后固化—链式烘烤—电解去溢料、电镀—测试—设备清洗—油墨印字、不合格品擦拭—包装入库; 框架半导体分立器件:组装—焊接—塑封、后固化—链式烘烤—电解去溢料、电镀—储锡—切筋、分解—测试—包装入库 电镀:电解软化、水洗—去溢料—去氧化、水洗—预浸、电镀—水洗、中和、水洗、干燥—退镀、水洗、干燥 |
减少划片工艺,框架半导体分立器件生产减少冲压成印步骤,本次验收为阶段性验收 | 是否属于重大变动:|
环保设施或环保措施
1、废水治理措施 项目生活污水经****园区污水管网,生****处理站预处理后进入污水管网,纯水制备产生浓水直接进入污水管网,****处理站的处理能力为40t/h,采用中和+混凝沉淀工艺 2、废气治理措施 焊接废气经抽风系统收集至布袋除尘器处理后,与塑封后固化、设备清洗、油墨印字、不合格品擦拭、清洗剂清洗等工序产生的有机废气合并进入两级活性炭吸附装置处理后通过1根15m高的排气筒排放(DA004);电镀酸性废气密闭收集后经酸雾吸收塔处理通过1根15m高的排气筒排放(DA005) 3、固废治理措施 生活垃圾委托环卫部门集中收集,一般固废外售综合利用;设置面积约100m2危废暂存间,用于危废暂存,危险废物定期委托有资质的单位处置 4、噪声污染防治措施 选用低噪声设备,减振、隔声消声等降噪措施 | 实际建设情况:1、废水治理措施 项目生活污水经****园区污水管网;项目生产废水****处理站(污水处理能力为35t/h,采用中和+混凝沉淀****园区污水管网;纯水制备产生浓水直接进入污水管网。 2、废气治理措施 本项目产生的焊接废气经抽风系统收集至布袋除尘器处理后和塑封后固化、设备清洗、油墨印字、不合格品擦拭、清洗剂清洗等工序产生的有机废气依托晶圆制造及封测项目清洗光刻点胶工序有机废气设置的一套二级活性炭吸附装置处理后一并由1根15m高排气筒DA001排放; 本项目产生的电镀酸性废气密闭收集后依托晶圆制造及封测项目电镀生产线酸性废气吸收塔处理后一并通过原有排气筒(DA006)排出 3、固废治理措施 生活垃圾委托环卫部门集中收集,一般固废外售综合利用;设置面积约150m2危废暂存间,用于危废暂存,危险废物定期委托有资质的单位处置 4、噪声污染防治措施 选用低噪声设备,减振、隔声消声等降噪措施 |
项目塑封后固化、设备清洗、油墨印字、不合格品擦拭、清洗剂清洗等工序产生的有机废气改为依托现有二级活性炭吸附装置和15m高排气筒DA001;项目电镀生产线酸性废气改为依托现有酸雾吸收塔和15m高排气筒DA006,本次验收为阶段性验收,废气处理工艺不变。****处理站进行处理,本次验收为阶段性验收,污水处理能力能满足厂区废水排放,厂区污水达标排放 | 是否属于重大变动:|
其他
(1)挥发性有机物排放量不得超过0.584t/a;颗粒物排放量不得超过0.00055t/a;铅及其化合物排放量不得超过0.00051t/a。(2)废水污染物中COD、NH,-N排放量通过排污权交易获得。该项目****处理厂中C0D排放量不得超过12.905t/a、NH:-N排放量不得超过0.766t/a,****处理厂处理后C0D排放量不得超过 2.438t/a,NH;-N不得超过 0.244t/a. | 实际建设情况:(1)挥发性有机物排放量不超过0.584t/a;颗粒物排放量不超过0.00055t/a;铅及其化合物排放量不超过0.00051t/a。(2)废水污染物中COD、NH,-N排放量通过排污权交易获得。该项目****处理厂中C0D排放量不超过12.905t/a、NH:-N排放量不超过0.766t/a,****处理厂处理后COD排放量不超过2.438t/a,NH;-N不超过0.244t/a. |
(1)挥发性有机物排放量为0.01326t/a;颗粒物排放量为0.000527t/a;铅及其化合物排放量为0.****0129t/a。(2)废水污染物中COD、NH3-N排放量通过排污权交易获得。该项目****处理厂中COD排放量为5.843t/a、NH3-N排放量为0.422t/a | 是否属于重大变动:|
3、污染物排放量
6.2154 | 0.8244 | 0 | 0 | 0 | 7.04 | 0.824 | |
5.159 | 0.693 | 12.905 | 0 | 0 | 5.852 | 0.693 | |
0.373 | 0.049 | 0.766 | 0 | 0 | 0.422 | 0.049 | |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0.0005 | 0 | 0.0006 | 0 | 0 | 0.0005 | 0 | / |
0.0012 | 0.0001 | 0.584 | 0 | 0 | 0.001 | 0 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
1 | ****处理站 | 《半导体行业水污染物排放标准》(DB34/ 4294-2022)表2中第二类水污染物间接排****处理厂接管标准中较严标准要求;总锡排放浓度满足《锡、锑、汞工业污染物排放标准》(GB30770-2014)表2**企业水污染物排放限值要求。 | 项目生活污水经****园区污水管网;项目生产****处理站(污水处理能力为35t/h,采用中和+混凝沉淀****园区污水管网;纯水制备产生浓水直接进入污水管网。 | 项目验收监测期间厂区污水总排放出口中pH、化学需氧量(COD)、五日生化需氧量(BOD5)、氨氮、悬浮物(SS)、铜、锡排放浓度最大值分别为7.8、83mg/L、26.9mg/L、12.6mg/L、6mg/L、<0.05mg/L、9.68×10-3mg/L。****处理站进出口排放浓度,****处理站对化学需氧量(COD)、五日生化需氧量(BOD5)、氨氮、悬浮物(SS)、铜、锡的处理效率分别为89%、89%、94%、29%、96%、94%。项目厂区污水总排放口中pH、化学需氧量(COD)、五日生化需氧量(BOD5)、氨氮、悬浮物(SS)、铜排放浓度满足**省《半导体行业水污染物排放标准》(DB34/ 4294-2022)表2中第二类水污染物间接排****处理厂接管标准中较严标准要求;总锡排放浓度满足《锡、锑、汞工业污染物排放标准》(GB30770-2014)表2**企业水污染物排放限值要求。 |
表2 大气污染治理设施
1 | 布袋除尘器+二级活性炭(排气筒DA001) | **市 《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015) | 布袋除尘器+二级活性炭 | 项目验收监测期间有组织排放非甲烷总烃、颗粒物、铅及其化合物、锡及其化合物、硫酸雾排放浓度最大值分别为5.45mg/m3、2.1mg/m3、0.00479mg/m3、<3×10-3mg/m3、0.24mg/m3,非甲烷总烃、颗粒物、铅及其化合物排放速率最大值分别9.55×10-3kg/h、3.8×10-3kg/h和8.13×10-3kg/h,项目非甲烷总烃、颗粒物、铅及其化合物、锡及其化合物满足**市《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)中表1大气污染物项目排放限值要求 | |
2 | 酸雾吸收塔(排气简DA006) | 《电镀污染物排放标准》(GB21900-2008) | 车间产生的酸雾依靠负压进入吸风罩,吸风罩中的负压由室外的风机形成,酸雾经输送管道再通过风机送入吸收塔,吸收塔内沿高度方向设置三道吸收装置,吸收液采用碱液;在塔内,酸雾和吸收液以逆流状态运行,酸雾由下而上,碱性吸收液自上向下喷洒。酸雾通过风机进入吸收塔后,首先经塔体下部的第一道碱液喷淋吸收,在此吸收了一部分酸雾,未得 到吸收的酸雾继续向上行进,由于填料层的作用,酸雾被分散和冷却,接着进入第**喷淋吸收,碱液进一步吸收部分酸雾,存余的酸雾再经填料层分散冷却,进入第三道喷淋吸收,经过塔内三道吸收,使酸雾 基本吸收,达到净化的目的,尾气再经挡雾器处理后通过1根15m高排气筒(DA006)排放。 | 甲基磺酸雾无排放标准与检测标准,用硫酸雾作为检测指标,浓度满足《电镀污染物排放标准》(GB21900-2008)表5中硫酸雾排放限值要求。 |
表3 噪声治理设施
1 | 厂房隔声、低噪设备 | 《工业 企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008) | 厂房隔声、低噪设备 | 项目厂界监测点的昼夜间噪声值均符合《工业 企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中3类标准限值要求。 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
1 | 固体废物处理处置应遵循“减量化、**化、无害化”的原则,对固体废物的产生、运输、贮存、处理和处置应实施全过程控制。项目投产后,产生的危险废物主要为电镀槽废液、镀锡废滤芯、槽渣、废松香、废包装桶、废活性炭、洁净厂房废滤芯、污泥、废机油、含油抹布,暂存于危险固废暂存库内,定期委托有资质单位处置。 危废暂存库按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)规范建设;危险废物规****环境保护部《关于印发危险废物规范化管理指标体系的通知》(环办[2015]99号)要求强化管理,特别是临时贮存、转运等环节的防治措施。 废石墨舟、废塑封料、废次品、废膜、废刀片、晶圆边角料废包装材料、废反渗透膜及滤芯,收集外售综合利用;生活垃圾经收集后交由当地环卫部门统一清运处理 | 项目一般工业固废包括废石墨舟、废塑封料、废次品、废膜、废刀片、晶圆边角料、废包装材料、废反渗透膜及滤芯,全部收集暂存于一般工业固废库,外售综合利用。 项目危险废物包括电镀槽废液、镀锡废滤芯、槽渣、废松香、废包装桶、废活性炭、洁净厂房废滤芯、污泥、废机油、含油抹布。暂存于危废库,定期交由******公司进行处置。 生活垃圾收集后委托环卫部门处置。 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
1 | 制定严格的风险防范措施与应急预案,建立健全包括环境风险预防在内的应急制度,并与园区应急预案相衔接,定期开展应急演练,有效防范和应对环境风险,杜绝事故发生,确保周边环境安全。 | 已制定严格的风险防范措施与应急预案,建立健全包括环境风险预防在内的应急制度,并与园区应急预案相衔接,根据应急预案定期开展应急演练,进行有效防范和应对环境风险 |
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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环保搬迁
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
区域削减
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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生态恢复、补偿或管理
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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功能置换
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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其他
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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6、工程建设对项目周边环境的影响
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7、验收结论
1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
不存在上述情况 | |
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