三代半导体碳化硅晶圆片用CMP研磨液项目(一阶段)
1、建设项目基本信息
企业基本信息
**** | 建设单位代码类型:|
****0211MA26TT943W | 建设单位法人:周岭苹 |
薛明 | 建设单位所在行政区划:**省**市**区 |
胡埭镇金桂路2号 |
建设项目基本信息
三代半导体碳化硅晶圆片用CMP研磨液项目(一阶段) | 项目代码:|
建设性质: | |
2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造 | 行业类别(国民经济代码):C3985-C3985-电子专用材料制造 |
建设地点: | **省**市**区 胡埭镇金桂路2号 |
经度:120.14345 纬度: 31.57531 | ****机关:****审批局 |
环评批复时间: | 2022-05-17 |
锡行审环许〔2022〕6029号 | 本工程排污许可证编号:**** |
项目实际总投资(万元): | 2500 |
120 | 运营单位名称:**** |
****0211MA26TT943W | 验收监测(调查)报告编制机构名称:**** |
****0211MA26TT943W | 验收监测单位:**精纬****公司 |
****0214MA1MFK2T56 | 竣工时间:2024-05-06 |
调试结束时间: | |
2024-08-16 | 验收报告公开结束时间:2024-09-13 |
验收报告公开载体: | http://bbs.****.cn/thread-****865-1-1.html |
2、工程变动信息
项目性质
** | 实际建设情况:** |
无 | 是否属于重大变动:|
规模
年产三代半导体碳化硅晶圆片用CMP研磨液600吨 | 实际建设情况:一阶段年产三代半导体碳化硅晶圆片用CMP研磨液300吨 |
无 | 是否属于重大变动:|
生产工艺
三代半导体碳化硅晶圆片用CMP研磨液的生产工艺:原料进料-搅拌分散-第一次微波干燥-第一次粉碎-第一次煅烧-第一次搅拌砂磨-第二次微波干燥-第二次粉碎-第二次煅烧-第二次搅拌砂磨-检验-混配-包装; 终检-外形检验的生产工艺:搅拌-烘干-煅烧-仪器检验; 终检-效果检验的生产工艺:第一次清洗-抛光-第二次清洗-观测-包装。 | 实际建设情况:三代半导体碳化硅晶圆片用CMP研磨液的生产工艺:搅拌分散-第一次微波干燥-第一次粉碎-第一次煅烧-第一次搅拌砂磨-第二次微波干燥-第二次粉碎-第二次煅烧-第二次搅拌砂磨-检验-混配-包装; 终检-外形检验的生产工艺:一阶段该工序暂不实施; 终检-效果检验的生产工艺:第一次清洗-抛光-第二次清洗。 |
一阶段企业仅使用纯水进行清洗,暂不使用乙醇和丙酮 | 是否属于重大变动:|
环保设施或环保措施
废水部分:排水系统须采取“雨污分流”措施;本项目不得擅自从事酸洗、磷化、电镀、喷漆等表面处理的生产,生产废水须经厂内废水处理设施处理后达到《城市污水再生利用工业用水水质》(GB/T19923-2005)表1中标准,回用于生产,冷却水循环使用,确保无工业废水排放;生活污水须经预处理达到接管标准后接入污水管网,并送****公司集中处理。 废气部分:本项目须对各工段产生的废气采取污染防治措施,确保废气中各污染物排放分别达到**省《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021)中表1、表2、表3的相关标准要求,排气简高度不低于15米;在生产车间50米的卫生防护距离范围内不得设置环境敏感点。 噪声部分:本项目所有生产设备须合理布置,落实报告表中减轻、避免营运期间噪声影响的防治措施,确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)表1排放限值,即昼间≤65dB(A),夜间≤55dB(A)。 固废部分:按“减量化、**化、无害化”原则和环保管理要求,落实固体废物的收集、处置和综合利用措施,实现固体废物全部综合利用或安全处置。废包装材料、废乙醇、废丙酮、清洗废液、研磨废液、抛光废液、灌装机清洗废液、检验设备清洗废液、废活性炭、废过滤棉、废多介质过滤器等均属于危险废物,必须全部委托有资质单位安全处置,厂内暂存场所应按国家《危险废物贮存污染控制标准》GB18597-2001的要求设置,并且在危险废物转移前办理危险废物转移、交换批准手续;渣尘、废滤芯、污泥、不合格品(不含乳化分散剂)等收集后综合利用;生活垃圾应委托环卫部门统一处置。 | 实际建设情况:废水:排水系统已采取“雨污分流”措施;本项目不从事酸洗、磷化、电镀、喷漆等表面处理的生产,生产废水经厂内废水处理设施处理回用于生产,冷却水循环使用,无工业废水排放;生活污水经化粪池预处理后接入污水管网,并送****公司集中处理。 废气:本项目一阶段生产-搅拌分散过程中产生的废气采用真空输送的排气管道密闭收集,生产-第一次煅烧过程中产生的废气采用推板窑炉自带的排气管道密闭收集,收集后引进布袋除尘器+二级活性炭吸附装置处理后通过15米高排气筒DA001排放;危废暂存间产生的废气采用吸风风管收集,引进二级活性炭吸附装置处理。 一阶段检验工段暂不使用乙醇、丙酮,仅使用纯水清洗,因此本次暂不产生清洗废气(非甲烷总烃)。 噪声:本项目一阶段噪声源主要为高速分散搅拌机、微波干燥机、粉碎机、推板窑炉、罐装机、砂磨机、冷水机、空压机、纯水机、冷却塔、抛光机、搅拌机、废气处理设施风机、中央空调等,主要采取了选用低噪设备、基础减振、距离衰减、风机出口安装消声器等措施来降低噪声。 固废:本项目一阶段产生的固废主要有废包装材料、清洗废液、研磨废液、抛光废液、灌装机清洗废液、检验设备清洗废液、废活性炭、废过滤棉、废多介质过滤器、渣尘、废滤芯、污泥、不合格品、生活垃圾。 其中危险固体废物不合格品(含乳化分散剂)、清洗废液、研磨废液、抛光废液、灌装机清洗废液、检验设备清洗废液、废活性炭、废过滤棉、废多介质过滤器、废包装材料委托**市****公司处置;一般固废渣尘、废滤芯、污泥、不合格品(不含乳化分散剂)委托**绿****公司回收综合利用或处置;生活垃圾由环卫部门统一清运。 |
1、原环评中废水处理工艺为沉淀、过滤,变动后废水处理工艺调成为中和反应-絮凝反应-助凝反应-斜管沉淀池(压滤)-过滤-回用于冷却塔补水,该变动属于污染防治措施强化或改进,且不增加污染物排放,因此不属于重大变动 2、一阶段企业仅使用纯水进行清洗,暂不使用乙醇和丙酮,则该工序对应的清洗废气、废包装材料、废乙醇、废丙酮暂不产生 | 是否属于重大变动:|
其他
建设单位必须贯彻循环经济理念和清洁生产原则,最大限度控制和减少污染物的排放。同时建设单位还应加强环境风险管理落实《报告书》提出的风险防范措施,防止发生污染事故。本项目须制订环境应急预案,做到应急组织机构落实,信息交流通畅,并配置必要的应急处理设施,防止生产过程、物流贮运过程以及污染治理设施的环境污染事故发生。同时必须开展安全风险辨识工作,避免安全事故的发生。 | 实际建设情况:建设单位已贯彻循环经济理念和清洁生产原则,最大限度控制和减少污染物的排放。 建设单位已加强环境风险管理,落实《报告书》提出的风险防范措施,防止发生污染事故。 本项目已制订环境应急预案。 |
无 | 是否属于重大变动:|
3、污染物排放量
0 | 0.0283 | 0.0306 | 0 | 0 | 0.028 | 0.028 | |
0 | 0.0034 | 0.122 | 0 | 0 | 0.003 | 0.003 | |
0 | 0.0005 | 0.0107 | 0 | 0 | 0.001 | 0.001 | |
0 | 0.0001 | 0.0015 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
0 | 0.0014 | 0.0153 | 0 | 0 | 0.001 | 0.001 | |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0.012 | 0.0655 | 0 | 0 | 0.012 | 0.012 | / |
0 | 0.0619 | 0.0894 | 0 | 0 | 0.062 | 0.062 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
1 | 生产废水经厂内废水处理设施(中和反应-絮凝反应-助凝反应-斜管沉淀池(压滤)-过滤)处理回用于生产 | 《城市污水再生利用 工业用水水质标准》(GB/T19923-2005)表1再生水用作工业用水水源的水质标准 | 已建设 | 监测2天,每天4次 | |
2 | 生活污水经化粪池预处理后接入污水管网,并送****公司集中处理 | 《电子工业水污染物排放标准》(GB 39731-2020)表1中“间接排放”标准 | 已建设 | 监测2天,每天4次 |
表2 大气污染治理设施
1 | 本项目一阶段生产-搅拌分散过程中产生的废气采用真空输送的排气管道密闭收集,生产-第一次煅烧过程中产生的废气采用推板窑炉自带的排气管道密闭收集,收集后引进布袋除尘器+二级活性炭吸附装置处理后通过15米高排气筒DA001排放 | **省地方标准《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021)表1标准限值 | 已建设 | 监测2天,每天3次 |
表3 噪声治理设施
1 | 主要采取了选用低噪设备、基础减振、距离衰减、风机出口安装消声器等措施来降低噪声 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348-2008)表1中3类区排放限值 | 已建设 | 监测2次,每天昼间、夜间各1次 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
1 | 按“减量化、**化、无害化”原则和环保管理要求,落实固体废物的收集、处置和综合利用措施,实现固体废物全部综合利用或安全处置。废包装材料、废乙醇、废丙酮、清洗废液、研磨废液、抛光废液、灌装机清洗废液、检验设备清洗废液、废活性炭、废过滤棉、废多介质过滤器等均属于危险废物,必须全部委托有资质单位安全处置,厂内暂存场所应按国家《危险废物贮存污染控制标准》GB18597-2001的要求设置,并且在危险废物转移前办理危险废物转移、交换批准手续;渣尘、废滤芯、污泥、不合格品(不含乳化分散剂)等收集后综合利用;生活垃圾应委托环卫部门统一处置。 | 本项目一阶段产生的固废主要有废包装材料、清洗废液、研磨废液、抛光废液、灌装机清洗废液、检验设备清洗废液、废活性炭、废过滤棉、废多介质过滤器、渣尘、废滤芯、污泥、不合格品、生活垃圾。 其中危险固体废物不合格品(含乳化分散剂)、清洗废液、研磨废液、抛光废液、灌装机清洗废液、检验设备清洗废液、废活性炭、废过滤棉、废多介质过滤器、废包装材料委托**市****公司处置;一般固废渣尘、废滤芯、污泥、不合格品(不含乳化分散剂)委托**绿****公司回收综合利用或处置;生活垃圾由环卫部门统一清运。 厂内设置一处危废暂存间(面积为12m2),室内堆放,已做好防风、防雨、防渗漏措施。危险废物分类堆放并已做好相应标志牌及标签,危废仓库出入口、设施内部、危险废物运输车辆通道等关键位****生态环境厅关于印发《**省固体废物全过程环境监管工作意见》的通知(苏环办[2024]16号)要求建设,危险废物贮存设施视频监控布设要求设置视频监控,危废贮存情况已做好相应记录;一般固废室内堆放。危险废物堆放场所符合《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)要求,一般固废满足《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020)。 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
1 | 建设单位必须贯彻循环经济理念和清洁生产原则,最大限度控制和减少污染物的排放。同时建设单位还应加强环境风险管理落实《报告书》提出的风险防范措施,防止发生污染事故。本项目须制订环境应急预案,做到应急组织机构落实,信息交流通畅,并配置必要的应急处理设施,防止生产过程、物流贮运过程以及污染治理设施的环境污染事故发生。同时必须开展安全风险辨识工作,避免安全事故的发生。 | 建设单位已贯彻循环经济理念和清洁生产原则,最大限度控制和减少污染物的排放。 建设单位已加强环境风险管理,落实《报告书》提出的风险防范措施,防止发生污染事故。 本项目已制订环境应急预案。 |
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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环保搬迁
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
区域削减
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
生态恢复、补偿或管理
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
功能置换
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
其他
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
6、工程建设对项目周边环境的影响
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7、验收结论
1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
不存在上述情况 | |
验收结论 | 合格 |
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