混合集成电路与电子材料中试线项目
1、建设项目基本信息
企业基本信息
| **** | 建设单位代码类型：|
| 914********2911894 | 建设单位法人：裴广斌 |
| 闫启 | 建设单位所在行政区划：**省**市**县 |
| **市**县产业集聚区****厂区 |
建设项目基本信息
| 混合集成电路与电子材料中试线项目 | 项目代码：**** |
| 建设性质： | |
| 2021版本:098-专业实验室、****基地 | 行业类别（国民经济代码）：M7320-M7320-工程和技术研究和试验发展 |
| 建设地点： | **省**市**县 **县产业集聚区 |
| 经度:112.10458 纬度: 34.72356 | ****机关：****环境局 |
| 环评批复时间： | 2021-01-25 |
| 新环监审〔2021〕006号 | 本工程排污许可证编号：914********2911894001W |
| 项目实际总投资(万元)： | 3500 |
| 42 | 运营单位名称：**** |
| 914********2911894 | 验收监测(调查)报告编制机构名称：**** |
| 914********2911894 | 验收监测单位：**中碳****公司 |
| ****0307MA9JYR4X5H | 竣工时间：2024-05-30 |
| 2024-06-07 | 调试结束时间：|
| 2024-08-12 | 验收报告公开结束时间：2024-09-09 |
| 验收报告公开载体： | 建设项目环境信息公示平台 |
2、工程变动信息
项目性质
| 混合集成电路与电子材料中试线项目，属于**项目 | 实际建设情况：混合集成电路与电子材料中试线项目，属于**项目 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
规模
| 生瓷片3天一批次，每年40批次，每批次5kg，总中试规模为0.4t；金属浆料1天一批次，每年5批次，每批次1kg，该中试线总规模为0.01t。 LTCC多层电路器件研试一月一批次，每年12批次，每批次300片，该中试线总规模为3600片。 薄膜电路器件研试一月两批次，每年24批次，每批次30片，该中试线总规模为720片。 | 实际建设情况：生瓷片3天一批次，每年40批次，每批次5kg，总中试规模为0.4t；金属浆料1天一批次，每年5批次，每批次1kg，该中试线总规模为0.01t。 LTCC多层电路器件研试一月一批次，每年12批次，每批次300片，该中试线总规模为3600片。 薄膜电路器件研试一月两批次，每年24批次，每批次30片，该中试线总规模为720片。 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
生产工艺
| 金属浆料制备工艺：原料—混合—球磨—金属浆料； 生瓷带制备中试线工艺：原料—配料—球磨—高温溶制—水淬—破碎—湿式球磨—干燥—一次球磨—二次球磨—粘度调整—流延成型—干燥—卷取备用—生瓷带； LTCC多层电路中试线工艺：冲孔、填孔——开腔、叠层、压合——热刀切割、共烧、切割——印刷、烧结、激光调阻——LTCC多层电路器件； 薄膜电路中试线工艺：打孔、溅射——光刻、膜层加厚——切割、电阻老化、调阻——薄膜电路器件 | 实际建设情况：金属浆料制备工艺：原料—混合—球磨—金属浆料； 生瓷带制备中试线工艺：原料—配料—球磨—高温溶制—水淬—破碎—湿式球磨—干燥—一次球磨—二次球磨—粘度调整—流延成型—干燥—卷取备用—生瓷带； LTCC多层电路中试线工艺：冲孔、填孔——开腔、叠层、压合——热刀切割、共烧、切割——印刷、烧结、激光调阻——LTCC多层电路器件； 薄膜电路中试线工艺：打孔、溅射——光刻、膜层加厚——切割、电阻老化、调阻——薄膜电路器件 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
环保设施或环保措施
| 2、本项目开腔、切割工序产生的废气通过1套覆膜袋式除尘器处理后，通过1根20m高排气筒排放，颗粒物排放浓度应满足《大气污染物综合排放标准》GB16297-1996二级标准（颗粒物≤120mg/m3，20m高排气筒排放速率≤5.9kg/h）的要求。生瓷带制备中试线干燥工序和LTCC中试线填孔、烧结工序产生的非甲烷总经燃烧处理系统+活性炭吸附收集处理后，通过1根20m排气筒排放，非甲烷总经排放浓度应满足《大气污染物综合排放标准》GB16297-1996二级标准（非甲烷总烃≤120mg/m3，20m高排气筒排放速率≤17kg/h）的要求，同时也应满足《关于全省开展工业企业挥发性有机物专项治理工作中排放建议值的通知》(豫环攻坚办〔2017〕162号)“非甲烷总烃80mg/m3”的要求。通过车间沉降等措施，颗粒物无组织排放应满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)无组织排放浓度限值颗粒物1.0mg/m3”的排放标准。 3、本项目生产废水主要为球磨机清洗废水和划片冷却水，由厂区沉淀池沉淀后经厂区污水管****处理厂；反渗透处理过程中产生的浓水属于清净下水，可直接排入污水管网；****处理站处理后，在满足《污水综合排放标准》(GB8979-1996)表4三级标准(pH：6~9，COD：500 mg/L，SS400 mg/L)的要求后，进入新****处理厂深度处理。 4、本项目应采取基础减振、厂房隔声、距离衰减等有效措施，确保厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类、4类标准要求；最近敏感点为厥山村，噪声应满足《声环境质量标准》(GB3096-2008)2类标准要求。 5、本项目收尘灰、废反渗透膜、生瓷带制备中试线不合格品属一般固废，统一收集后暂存于一般固废暂存间，分类存放，收尘灰作为原料回用，废反渗透膜由厂家回收，生瓷带制备中试线不合格品重熔回用。LTCC电路器件不合格品、薄膜电路器件不合格品、废活性炭、基板清洗废液、废显影液、废光刻胶、废镀液属危险废物，应按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)要求设置危废暂存区，集中收集后，废活性炭、基板清洗废液、废显影液、废光刻胶、废镀液定期委托有危废处理资质的单位处置；LTCC电路器件不合格品、薄膜电路器件不合格品仓库暂存后外售。生活垃圾及时收集，由环卫部门清运处置。 | 实际建设情况：已落实，1、项目实际生产过程中，取消激光切割机建设，采用划片机完成开腔、切割，无颗粒物产生。生瓷带制备中试过程流延干燥废气经活性炭吸附/脱附+催化燃烧治理，由1根20m高排气筒排放。LTCC中试过程填孔、烧结、共烧废气收集后，经活性炭吸附装置治理后，由1根20m高排气筒排放。根据检测结果可知，非甲烷总经排放浓度、排放速率满足《大气污染物综合排放标准》GB16297-1996二级标准（非甲烷总烃≤120mg/m3，20m高排气筒排放速率≤17kg/h）的要求，同时也满足《关于全省开展工业企业挥发性有机物专项治理工作中排放建议值的通知》(豫环攻坚办〔2017〕162号)“非甲烷总烃80mg/m3”的要求。 根据检测结果可知，厂界非甲烷总烃无组织排放满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）二级限值要求（无组织排放监控浓度限值非甲烷总烃≤4.0mg/m3）。 2、本项目生产废水主要为球磨机清洗废水、划片冷却水以及浓水，清洗球磨机废水、划片冷却水为间断排放，经密闭沉淀桶沉淀处理后，****处理站，由市政污水管****处理厂；反渗透处理过程中产生的浓水属于清净下水，可直接排入市政污水管网，****处理厂。生****处理站预处理后，经市政污水管网，****处理厂进一步处理。根据检测结果可知，厂区总排口废水满足《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4一级标准和******处理厂进水水质要求，由厂区总排口进入新****处理厂处理。 3、本项目采取基础减振、厂房隔声、等有效措施，确保厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类、4类标准要求；最近敏感点为厥山村、****小学噪声叠加值满足《声环境质量标准》（GB3096-2008）2类标准要求。 4、本项目固废主要分为一般固废、危险废物以及生活垃圾。一般固废主要有废反渗透膜、不合格品。废反渗透膜由厂家回收，生瓷带制备中试线不合格品重熔回用。LTCC电路器件、薄膜电路器件不合格品暂存至仓库，定期外售。危险废物主要为废活性炭、基板清洗废液、废光刻胶、废显影液以及镀液，收集后暂存于厂区现有危废间，定期交由有资质单位处理。生活垃圾使用生活垃圾收集桶收集后由环卫部门统一处置。危废暂存间设置满足《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)要求。 |
| 开腔、切割使用激光切割机，产生废气；项目实际生产过程中，取消激光切割机建设，无颗粒物产生。 企业中试运行调试过程中，生瓷带制备中试线流延干燥过程无水乙醇、粘结剂、增塑剂、消泡剂使用量均大于LTCC多层电路中试线，且干燥过程挥发性有机物全部挥发，非甲烷总烃产生量较大，因此，企业设置活性炭吸附/脱附+催化燃烧装置进行治理。优于环评设计要求。 光刻工序用到硫酸、硝酸等，可能会产生酸性废气，但用量极少，溶液中硫酸、硝酸浓度极低，基本无酸性废气挥发，项目为光刻机为密闭设备，光刻废气由光刻机配套抽风管收集后，由楼顶排风系统排放，且实验室在研发大楼内，设置整体通风系统，****实验室；膜层加厚工序用到氰化亚金钾，但只有在pH小于3的条件下才会产生氰化氢气体，本中试线pH环境大于3，一般不会有氰化氢产生。 中试为间断运行，球磨机清洗、划片冷却水产生量很少，使用密闭沉淀桶收集沉淀。****处理站进行二级处理。最****处理厂，治理措施优于环评设计。 项目危废暂存依托中超现有80m2的危废暂存间临时存储，****公司安全处置。现有危废间面积较大，用于全厂危险废物暂存，可满足项目依托要求。 | 是否属于重大变动：|
其他
| 无 | 实际建设情况：无 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
3、污染物排放量
| 0 | 0.095 | 0 | 0 | 0 | 0.095 | 0.095 | |
| 0 | 0.0584 | 0 | 0 | 0 | 0.058 | 0.058 | |
| 0 | 0.0023 | 0 | 0 | 0 | 0.002 | 0.002 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.0578 | 0 | 0 | 0 | 0.058 | 0.058 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
| 1 | 沉淀池 | 《污水综合排放标准》(GB8979-1996)表4三级和新****处理厂进水水质要求 | 密闭沉淀桶+****处理站 | 根据监测数据可知，厂区总排口污染物浓度分别为pH8.1~8.69、COD58~67mg/L、氨氮6.29~6.63mg/L、悬浮物33~38mg/L、石油类2.69~2.89mg/L，均满足《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准（pH：6~9、COD：500mg/L、SS：400mg/L、氨氮：/mg/L、石油类20mg/L）要求，同时满足******处理厂进水水质限值要求（COD250mg/L，氨氮15mg/L，SS100mg/L）。 |
表2 大气污染治理设施
| 1 | 生瓷带制备中试线干燥工序和LTCC中试线填孔、烧结工序产生的非甲烷总经燃烧处理系统+活性炭吸附收集处理后，通过1根20m排气筒排放 | 《大气污染物综合排放标准》GB16297-1996二级标准和《关于全省开展工业企业挥发性有机物专项治理工作中排放建议值的通知》(豫环攻坚办〔2017〕162号) | 生瓷带制备中试过程流延干燥废气经活性炭吸附/脱附+催化燃烧治理，由1根20m高排气筒排放。 | 根据监测数据可知，项目生瓷带制备中试过程流延干燥废气经处理后非甲烷总烃排放浓度为6.22~6.58mg/m3，排放速率为0.0105~0.0122kg/h，去除效率为89.9%。非甲烷总烃排放浓度、排放速率满足《大气污染物综合排放标准》GB16297-1996二级标准（非甲烷总烃≤120mg/m3，20m高排气筒排放速率≤17kg/h）的要求，同时也满足《关于全省开展工业企业挥发性有机物专项治理工作中排放建议值的通知》(豫环攻坚办〔2017〕162号)（非甲烷总烃80mg/m3，建议去除效率：70%）的要求。 | |
| 2 | 填孔、烧结有机废气经活性炭吸附通过一根20m排气筒 | 《大气污染物综合排放标准》GB16297-1996二级标准和《关于全省开展工业企业挥发性有机物专项治理工作中排放建议值的通知》(豫环攻坚办〔2017〕162号) | LTCC中试过程填孔、烧结、共烧废气收集后，经活性炭吸附装置治理后，由1根20m高排气筒排放 | 项目LTCC中试过程填孔、烧结、共烧废气经处理后非甲烷总烃排放浓度为8.09~8.67mg/m3，排放速率为0.0159~0.0183kg/h，去除效率为88.8%~88.9%。非甲烷总烃排放浓度、排放速率满足《大气污染物综合排放标准》GB16297-1996二级标准（非甲烷总烃≤120mg/m3，20m高排气筒排放速率≤17kg/h）的要求，同时也满足《关于全省开展工业企业挥发性有机物专项治理工作中排放建议值的通知》(豫环攻坚办〔2017〕162号)（非甲烷总烃80mg/m3，建议去除效率：70%）的要求。 |
表3 噪声治理设施
| 1 | 基础减振、厂房隔声、距离衰减等有效措施 | 厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类、4类标准要求；最近敏感点为厥山村，噪声应满足《声环境质量标准》(GB3096-2008)2类标准要求。 | 基础减振、厂房隔声、距离衰减等有效措施 | 根据监测结果及分析，项目区域声环境质量状况良好，各设备噪声经降噪措施后，经检测，项目东厂界、西厂界、南厂界的昼间噪声监测最大值为54dB（A），夜间噪声监测最大值为43dB（A），噪声值满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）表1中的3类标准限值（昼间65dB（A），夜间55dB（A））；北厂界昼间噪声监测最大值为53dB（A），夜间噪声监测最大值为43dB（A），噪声值满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）表1中的4类标准限值（昼间70dB（A），夜间55dB（A））。 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
| 1 | 本项目收尘灰、废反渗透膜、生瓷带制备中试线不合格品属一般固废，统一收集后暂存于一般固废暂存间，分类存放，收尘灰作为原料回用，废反渗透膜由厂家回收，生瓷带制备中试线不合格品重熔回用。LTCC电路器件不合格品、薄膜电路器件不合格品、废活性炭、基板清洗废液、废显影液、废光刻胶、废镀液属危险废物，应按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)要求设置危废暂存区，集中收集后，废活性炭、基板清洗废液、废显影液、废光刻胶、废镀液定期委托有危废处理资质的单位处置；LTCC电路器件不合格品、薄膜电路器件不合格品仓库暂存后外售。生活垃圾及时收集，由环卫部门清运处置。 | 本项目固废主要分为一般固废、危险废物以及生活垃圾。一般固废主要有废反渗透膜、不合格品。废反渗透膜由厂家回收，生瓷带制备中试线不合格品重熔回用。LTCC电路器件、薄膜电路器件不合格品暂存至仓库，定期外售。危险废物主要为废活性炭、基板清洗废液、废光刻胶、废显影液以及镀液，收集后暂存于厂区现有危废间，定期交由有资质单位处理。生活垃圾使用生活垃圾收集桶收集后由环卫部门统一处置。危废暂存间设置满足《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)要求。 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
环保搬迁
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
区域削减
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
生态恢复、补偿或管理
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
功能置换
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
其他
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
6、工程建设对项目周边环境的影响
| / |
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7、验收结论
| 1 | 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |
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