联芯集成电路制造项目第一阶段扩充工程

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联芯集成电路制造项目第一阶段扩充工程

更新时间	2024年09月19日
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关键信息	集成电路
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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
913********849667P	刘**
王艳娟	**门市区
市区万家春路 899 号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

联芯集成电路制造项目第一阶段扩充工程

2021版本:080-电子器件制造	C3973-C3973-集成电路制造
	**门市区万家春路 899 号
经度:118.19863 纬度: 24.67107	****环境局
	2022-07-20
厦翔环审〔2022〕081号	****
	480680
7483	****
913********849667P	****
913********849667P	宏测（厦****公司
****0212MA8RD75F0B	2024-05-10

2024-08-16	2024-09-12
	https://www.****.org/

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

改扩建	改扩建
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

改扩建项目年产12英寸集成电路晶圆84000片（7000片/月）；改扩建后第一阶段年产12英寸集成电路晶圆384000片（32000片/月）	改扩建项目年产12英寸集成电路晶圆84000片（7000片/月）；改扩建后第一阶段年产12英寸集成电路晶圆384000片（32000片/月）
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

集成电路是通过一定的工艺技术，将一些元器件（如晶体管、电阻、电容等）制作在一块晶片上，并在相互之间接线，做成电路，能实现一定功能的电子器件。集成电路的生产是一个非常复杂而又精密的系统工程。完整的集成电路生产包括掩膜设计、硅片制造、芯片前工序加工、芯片封装、芯片测试等工序。本项目仅涉及芯片前工序加工。芯片前工序加工是采用半导体平面工艺的方法在衬底硅片上形成电路图形的生产过程。半导体平面工艺是通过类似照片冲印的被称为光刻的方法、以及腐蚀和刻蚀的方法形成掺杂通道，再通过离子注入或高温扩散的方法掺杂形成半导体PN结，然后沉积金属引线。工艺包括硅片清洗、热氧化、光刻、刻蚀（包括干法刻蚀和湿法刻蚀）、扩散、离子注入、气相沉积、多层金属布线（金属化）、化学机械抛光(CMP)等，这些工序反复交叉。包括检测和测试在内工艺步数达到800～900步，甚至更多，本项目平均光刻次数约50~60次。芯片生产可简要概括为三大步骤：步骤一：在晶片上形成薄膜，薄膜可以是多晶硅、氧化硅、氮化硅、金属（铜、钽、钨、铝等）等，成膜工艺包括：热氧化、物理气相沉积、化学气相沉积；步骤二：将光掩膜版上的图形转移到第一步形成的膜上，在薄膜上形成需要的器件图形或线路沟槽，工艺主要利用照相原理的光刻和刻蚀技术；步骤三：在上述基础上进行器件加工和线路连接，工艺包括：扩散、离子注入、金属化等。根据产品的实际制程要求，通过在晶圆上按上述步骤一层一层反复进行加工后，可制得项目所需芯片，同时为保证晶片的洁净度，每步基础工序后均需进行清洗。	集成电路是通过一定的工艺技术，将一些元器件（如晶体管、电阻、电容等）制作在一块晶片上，并在相互之间接线，做成电路，能实现一定功能的电子器件。集成电路的生产是一个非常复杂而又精密的系统工程。完整的集成电路生产包括掩膜设计、硅片制造、芯片前工序加工、芯片封装、芯片测试等工序。本项目仅涉及芯片前工序加工。芯片前工序加工是采用半导体平面工艺的方法在衬底硅片上形成电路图形的生产过程。半导体平面工艺是通过类似照片冲印的被称为光刻的方法、以及腐蚀和刻蚀的方法形成掺杂通道，再通过离子注入或高温扩散的方法掺杂形成半导体PN结，然后沉积金属引线。工艺包括硅片清洗、热氧化、光刻、刻蚀（包括干法刻蚀和湿法刻蚀）、扩散、离子注入、气相沉积、多层金属布线（金属化）、化学机械抛光(CMP)等，这些工序反复交叉。包括检测和测试在内工艺步数达到800～900步，甚至更多，本项目平均光刻次数约50~60次。芯片生产可简要概括为三大步骤：步骤一：在晶片上形成薄膜，薄膜可以是多晶硅、氧化硅、氮化硅、金属（铜、钽、钨、铝等）等，成膜工艺包括：热氧化、物理气相沉积、化学气相沉积；步骤二：将光掩膜版上的图形转移到第一步形成的膜上，在薄膜上形成需要的器件图形或线路沟槽，工艺主要利用照相原理的光刻和刻蚀技术；步骤三：在上述基础上进行器件加工和线路连接，工艺包括：扩散、离子注入、金属化等。根据产品的实际制程要求，通过在晶圆上按上述步骤一层一层反复进行加工后，可制得项目所需芯片，同时为保证晶片的洁净度，每步基础工序后均需进行清洗。
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

（一）废水（1）含磷废水：主要来源于硅片清洗和刻蚀过程，采用“CaCl2混凝沉淀法” 进行处理后排入中和处理系统进行处理，然后由厂区废水总排口排放。（2）含氨废水：主要来源于硅片清洗、刻蚀和显影过程，高、中浓度的含氨废水采用“热风气提+触媒法”处理，低浓度采用反渗透处理后，然后排入中和处理系统进行处理，由厂区废水总排口排放。（3）含氟废水：主要来源于生产过程中使用氢氟酸刻蚀、清洗产生含氟清洗废水，采用“CaCl2混凝沉淀法”进行处理后排入中和处理系统进行处理，然后由厂区废水总排口排放。（4）研磨废水：主要来源于 CMP 研磨工序（非铜制程淀积的金属铜膜研磨）中产生的含 SiO2 磨料废水，采用 UF（超过滤膜）+AC 活性碳+RO（逆渗透）。浓缩废水经收集池水泵提升后至中和处理系统进行处理，然后由厂区废水总排口排放；低浓度废水至回收系统回用。（5）含铜废水：主要来源于铜制程工序以及 CMP 研磨工序（铜制程淀积的金属铜膜研磨），采用“混凝沉淀法”进行处理后排入中和处理系统进行处理，然后由厂区废水总排口排放。（6）工艺酸碱废水：集成电路加工对硅片的清洁度要求极高，几乎每道工序都穿插清洗工序，主要含有酸、碱，废水的 pH 值较低，一般 pH≤4，采用中和方式处理后，然后由厂区废水总排口排放。（7）废气洗涤塔及 LOCAL SCRUBBER 净化装置排水： a、碱性废气洗涤塔排水：项目在清洗、显影、刻蚀等过程中排放的 NH3 等碱性废气经酸液喷淋吸收塔吸收处理后，排放的废水为吸收塔中多次循环使用的吸收废液，主要污染物为 pH、氨氮等，排入含氨废水处理系统进行处理。 b、酸性废气洗涤塔排水：项目清洗、刻蚀等过程中排放的 HF、HCl、硫酸雾等酸性废气经碱液喷淋吸收塔吸收处理后，排放的废水为吸收塔中多次循环使用的吸收废液，由于废水中含有氟化物，因此排入含氟废水处理系统进行处理。 c、酸碱废气洗涤塔排水：项目硅片清洗过程中由于部分酸洗、碱液时间间隔较短，废气不能做到分开处理，该过程中排放的 HF、HCl、硫酸雾及 NH3等酸碱废气经酸液/碱液喷淋吸收塔吸收处理后，排放的废水为吸收塔中多次循环使用的吸收废液，主要污染物为 pH、氨氮、氟化物等，其中碱液喷淋塔废水排入含氟废水系统处理，酸液喷淋塔废水排入含氨废水系统处理。 d、酸腐蚀性废气洗涤塔排水：本项目扩散工序由于部分机台使用到 H2 及 Cl2，故生产过程中会产生酸腐蚀性废气，该过程中排放的 HCl 等酸性废气经碱液喷淋吸收塔吸收处理后，排放的废水为吸收塔中多次循环使用的吸收废液，主要污染物为 pH 等，因此直接排入中和废水处理系统进行处理。 e、LOCAL SCRUBBER 净化装置（含氟）：本项目干法刻蚀、CVD 过程中排放的工艺尾气中含有氟化物，经 LOCAL SCRUBBER 净化装置吸收处理后，排放的废水为 LOCAL SCRUBBER 净化装置中多次循环使用的吸收废液，排入含氟废水处理系统进行处理。 f、LOCAL SCRUBBER 净化装置（不含氟）：本项目离子注入、扩散过程中排放的工艺尾气（不含氟）经 LOCAL SCRUBBER 净化装置吸收处理后，排放的废水为 LOCAL SCRUBBER 净化装置中多次循环使用的吸收废液，直接排入中和系统进行处理。（8）废水回收系统：废水回收系统包括工艺清洗水回收系统及 RO 浓水及再生水回收系统。废水回收系统主要污染物为 pH、SS 等，直接进入厂区中和处理系统进行处理。（9）纯水制备废水：项目纯水站首先通过过滤等方式对自来水原水进行预处理，再用反渗透法（RO）先制得初纯水，再使用离子交换和紫外线杀菌等方法来制取高纯水。纯水制备过程将产 RO 浓缩水、反洗废水和酸碱再生废水。项目纯水制备废水全部进入 RO 浓水及再生水回收系统进行处理。（10**中心常温冷却水系统排水：常温冷却水用来冷却冷冻机、空压机系统。常温冷却水系统为开式循环系统，经过冷却塔降温后的冷却水，供给冷冻水机组，回水再流入冷却塔作热交换作下一次循环使用。冷却塔中循环水经反复多次使用后，盐分增高，定期外排。排水中主要成份为自来水中浓缩的盐类、SS，直接进入厂区中和处理系统进行处理。（11）工艺设备冷却水排水：工艺设备冷却水使用 RO 水，采用管道密闭循环，由于工艺设备对循环水质量要求较高，因此循环水需少量外排，并且补充部分新鲜 RO 水，以维持一定的水质指标。废水水质较为清洁，无需处理，直接作为中水回收。（12）空调/热水系统排水：空调/热水系统使用 RO 水，采用管道密闭循环，为了保证水质，循环水有少量外排，并且补充部分新鲜 RO 水。水质较为清洁，无需处理，直接作为中水回收。（13）空气加湿排水：水质较为清洁，无需处理，直接作为中水回收。（14）气体站常温冷却水系统排水：常温冷却水用来冷却冷冻机、空压机系统。常温冷却水系统为开式循环系统，经过冷却塔降温后的冷却水，供给冷冻水机组，回水再流入冷却塔作热交换作下一次循环使用。冷却塔中循环水经反复多次使用后，盐分增高，需要定期外排。排水中主要成份为自来水中浓缩的盐类、SS，直接进入厂区中和处理系统进行处理。（15）氢气制备冷凝水：项目气体站氢气制备过程中，会产生一定量的冷凝水。由于该部分水无酸碱且未与制程接触，水质良好，故直接回收至气体站常温冷却塔使用。（16）生活污水：食堂污水经隔油池处理，卫生间及办公废水经化粪池预处理后一并经废水总排口排放。（二）废气（1）酸性废气：主要来源于硅片清洗（酸清洗）、湿法刻蚀、干法刻蚀、CVD等工序，废气先由排气管道输入废气洗涤塔，通过碱液喷淋吸收塔处理达标后分别通过 17 根 42m、2 根 40m 排气筒排放。（2）碱性废气：主要来源于碱洗、光刻、湿法刻蚀等工序产生的工艺废气，主要污染物为 NH3，废气先由排气管道输入废气洗涤塔，通过酸液喷淋吸收塔处理达标后分别通过 5 根 42m 排气筒排放。（3）酸腐蚀性废气：主要来源于部分扩散工序使用 H2 及 HCl（g）的机台，废气先由排气管道输入废气洗涤塔，通过碱液喷淋吸收塔处理达标后分别通过 5 根 42m 排气筒排放。（4）酸碱废气：本项目主要来源于硅片清洗过程中部分酸洗、碱液时间间隔较短的机台，废气先由排气管道输入废气洗涤塔，通过碱/酸液喷淋吸收塔处理达标后分别通过 2 根 42m 排气筒排放。（5）有机废气：主要来自有机清洗、光刻、去胶等工序，废气经“沸石轮转+RO 燃烧浓缩系统”处理达标后分别经 4 根 42m 排气筒排放。（6）工艺尾气：工艺尾气分为 2 类，一类为含砷工艺废气，一类为不含砷工艺尾气。主要来自硅片干法刻蚀、离子注入、扩散、沉积等工序，尾气中含有微量磷烷、砷烷等剧毒物质。工艺尾气主要来自硅片干法刻蚀、离子注入、扩散、CVD 等工序，工艺废气（不含砷）由机台尾部的 LOCAL SCRUBBER 净化装置处理后进入酸性废气处理系统，通过酸性废气处理系统作进一步处理，最终由 42m 排气筒排放；离子注入过程产生的工艺废气（含砷）由机台尾部的 LOCAL SCRUBBER 净化装置处理后分别经 1 根 42m、1 根 40m 排气筒排放。（7）废水站废气：主要来源于含氨废水处理系统废气洗涤塔排放的含氨废气及废水处理系统中收集处理排放的酸碱废气。 a.含氨废气：主要来源于含氨废水处理系统废气洗涤塔排放的废气，含氨废气经 1 套“触媒反应器+稀硫酸喷淋”系统处理后，由 1 根 26m 排气筒排放。 b.酸碱废气项目废水处理系统运行时，废水收集槽产生少量酸碱废气，项目收集槽加盖密封处理，收集槽排气经管道收集后通过碱/酸液喷淋吸收塔处理达标后由 1 根 26m 高排气筒排放。（三）噪声为减少项目噪声对周围环境的影响，建设单位可采取下列措施加强噪声治理： ①建设单位在引进设备时采用技术先进、工艺成熟、低噪声的设备，合理布置产噪水平较高的设备。 ②对高噪声和室外设备（如风机）采取隔声措施、对设备安装减振垫，生产时注意关闭门窗。 ③对机械设备应定期检查、维修和日常维护管理，不符合要求的要及时更换，防止异常噪声产生等。（四）固体废物项目生产过程产生的固体废物主要有生活垃圾、一般工业固废和危险固废。生活垃圾生活垃圾经收集后统一暂存于生活垃圾暂存处，由环卫部门进行及时清运，统一处理。一般废物主要包括：废水处理污泥（含水率约 50%）、废芯片、废靶材、废混合五金、废包装材料等。一般工业固体废物暂存于一般工业固废暂存间内，经收集后交由有主体公司处理。危险废物主要包括：硫酸废液、磷酸废液、有机废液、废矿物油、废离子交换树脂、抹布/手套等（学物质清洗杂物、砷等）、废过滤芯、硫酸铜废液、含铜废水处理污泥、废试剂容器、废铅酸电池（厂务设施中 UPS 系统换下尚可回收使用的铅酸电池）、废灯管等。委托有资质的单位处理处置。	（一）废水（1）含磷废水：主要来源于硅片清洗和刻蚀过程，采用“CaCl2混凝沉淀法” 进行处理后排入中和处理系统进行处理，然后由厂区废水总排口排放。（2）含氨废水：主要来源于硅片清洗、刻蚀和显影过程，高、中浓度的含氨废水采用“热风气提+触媒法”处理，低浓度采用反渗透处理后，然后排入中和处理系统进行处理，由厂区废水总排口排放。（3）含氟废水：主要来源于生产过程中使用氢氟酸刻蚀、清洗产生含氟清洗废水，采用“CaCl2混凝沉淀法”进行处理后排入中和处理系统进行处理，然后由厂区废水总排口排放。（4）研磨废水：主要来源于 CMP 研磨工序（非铜制程淀积的金属铜膜研磨）中产生的含 SiO2 磨料废水，采用 UF（超过滤膜）+AC 活性碳+RO（逆渗透）。浓缩废水经收集池水泵提升后至中和处理系统进行处理，然后由厂区废水总排口排放；低浓度废水至回收系统回用。（5）含铜废水：主要来源于铜制程工序以及 CMP 研磨工序（铜制程淀积的金属铜膜研磨），采用“混凝沉淀法”进行处理后排入中和处理系统进行处理，然后由厂区废水总排口排放。（6）工艺酸碱废水：集成电路加工对硅片的清洁度要求极高，几乎每道工序都穿插清洗工序，主要含有酸、碱，废水的 pH 值较低，一般 pH≤4，采用中和方式处理后，然后由厂区废水总排口排放。（7）废气洗涤塔及 LOCAL SCRUBBER 净化装置排水： a、碱性废气洗涤塔排水：项目在清洗、显影、刻蚀等过程中排放的 NH3 等碱性废气经酸液喷淋吸收塔吸收处理后，排放的废水为吸收塔中多次循环使用的吸收废液，主要污染物为 pH、氨氮等，排入含氨废水处理系统进行处理。 b、酸性废气洗涤塔排水：项目清洗、刻蚀等过程中排放的 HF、HCl、硫酸雾等酸性废气经碱液喷淋吸收塔吸收处理后，排放的废水为吸收塔中多次循环使用的吸收废液，由于废水中含有氟化物，因此排入含氟废水处理系统进行处理。 c、酸碱废气洗涤塔排水：项目硅片清洗过程中由于部分酸洗、碱液时间间隔较短，废气不能做到分开处理，该过程中排放的 HF、HCl、硫酸雾及 NH3 等酸碱废气经酸液/碱液喷淋吸收塔吸收处理后，排放的废水为吸收塔中多次循环使用的吸收废液，主要污染物为 pH、氨氮、氟化物等，其中碱液喷淋塔废水排入含氟废水系统处理，酸液喷淋塔废水排入含氨废水系统处理。 d、酸腐蚀性废气洗涤塔排水：本项目扩散工序由于部分机台使用到 H2 及 Cl2，故生产过程中会产生酸腐蚀性废气，该过程中排放的 HCl 等酸性废气经碱液喷淋吸收塔吸收处理后，排放的废水为吸收塔中多次循环使用的吸收废液，主要污染物为 pH 等，因此直接排入中和废水处理系统进行处理。 e、LOCAL SCRUBBER 净化装置（含氟）：本项目干法刻蚀、CVD 过程中排放的工艺尾气中含有氟化物，经 LOCAL SCRUBBER 净化装置吸收处理后，排放的废水为 LOCAL SCRUBBER 净化装置中多次循环使用的吸收废液，排入含氟废水处理系统进行处理。 f、LOCAL SCRUBBER 净化装置（不含氟）：本项目离子注入、扩散过程中排放的工艺尾气（不含氟）经 LOCAL SCRUBBER 净化装置吸收处理后，排放的废水为 LOCAL SCRUBBER 净化装置中多次循环使用的吸收废液，直接排入中和系统进行处理。（8）废水回收系统：废水回收系统包括工艺清洗水回收系统及 RO 浓水及再生水回收系统。废水回收系统主要污染物为 pH、SS 等，直接进入厂区中和处理系统进行处理。（9）纯水制备废水：项目纯水站首先通过过滤等方式对自来水原水进行预处理，再用反渗透法（RO）先制得初纯水，再使用离子交换和紫外线杀菌等方法来制取高纯水。纯水制备过程将产 RO 浓缩水、反洗废水和酸碱再生废水。项目纯水制备废水全部进入 RO 浓水及再生水回收系统进行处理。（10**中心常温冷却水系统排水：常温冷却水用来冷却冷冻机、空压机系统。常温冷却水系统为开式循环系统，经过冷却塔降温后的冷却水，供给冷冻水机组，回水再流入冷却塔作热交换作下一次循环使用。冷却塔中循环水经反复多次使用后，盐分增高，定期外排。排水中主要成份为自来水中浓缩的盐类、SS，直接进入厂区中和处理系统进行处理。（11）工艺设备冷却水排水：工艺设备冷却水使用 RO 水，采用管道密闭循环，由于工艺设备对循环水质量要求较高，因此循环水需少量外排，并且补充部分新鲜 RO 水，以维持一定的水质指标。废水水质较为清洁，无需处理，直接作为中水回收。（12）空调/热水系统排水：空调/热水系统使用 RO 水，采用管道密闭循环，为了保证水质，循环水有少量外排，并且补充部分新鲜 RO 水。水质较为清洁，无需处理，直接作为中水回收。（13）空气加湿排水：水质较为清洁，无需处理，直接作为中水回收。（14）气体站常温冷却水系统排水：常温冷却水用来冷却冷冻机、空压机系统。常温冷却水系统为开式循环系统，经过冷却塔降温后的冷却水，供给冷冻水机组，回水再流入冷却塔作热交换作下一次循环使用。冷却塔中循环水经反复多次使用后，盐分增高，需要定期外排。排水中主要成份为自来水中浓缩的盐类、SS，直接进入厂区中和处理系统进行处理。（15）氢气制备冷凝水：项目气体站氢气制备过程中，会产生一定量的冷凝水。由于该部分水无酸碱且未与制程接触，水质良好，故直接回收至气体站常温冷却塔使用。（16）生活污水：食堂污水经隔油池处理，卫生间及办公废水经化粪池预处理后一并经废水总排口排放。（二）废气（1）酸性废气：主要来源于硅片清洗（酸清洗）、湿法刻蚀、干法刻蚀、CVD等工序，废气先由排气管道输入废气洗涤塔，通过碱液喷淋吸收塔处理达标后分别通过 17 根 42m、2 根 40m 排气筒排放。（2）碱性废气：主要来源于碱洗、光刻、湿法刻蚀等工序产生的工艺废气，主要污染物为 NH3，废气先由排气管道输入废气洗涤塔，通过酸液喷淋吸收塔处理达标后分别通过 5 根 42m 排气筒排放。（3）酸腐蚀性废气：主要来源于部分扩散工序使用 H2 及 HCl（g）的机台，废气先由排气管道输入废气洗涤塔，通过碱液喷淋吸收塔处理达标后分别通过 5 根 42m 排气筒排放。（4）酸碱废气：本项目主要来源于硅片清洗过程中部分酸洗、碱液时间间隔较短的机台，废气先由排气管道输入废气洗涤塔，通过碱/酸液喷淋吸收塔处理达标后分别通过 2 根 42m 排气筒排放。（5）有机废气：主要来自有机清洗、光刻、去胶等工序，废气经“沸石轮转+RO 燃烧浓缩系统”处理达标后分别经 4 根 42m 排气筒排放。（6）工艺尾气：工艺尾气分为 2 类，一类为含砷工艺废气，一类为不含砷工艺尾气。主要来自硅片干法刻蚀、离子注入、扩散、沉积等工序，尾气中含有微量磷烷、砷烷等剧毒物质。工艺尾气主要来自硅片干法刻蚀、离子注入、扩散、CVD 等工序，工艺废气（不含砷）由机台尾部的 LOCAL SCRUBBER 净化装置处理后进入酸性废气处理系统，通过酸性废气处理系统作进一步处理，最终由 42m 排气筒排放；离子注入过程产生的工艺废气（含砷）由机台尾部的 LOCAL SCRUBBER 净化装置处理后分别经 1 根 42m、1 根 40m 排气筒排放。（7）废水站废气：主要来源于含氨废水处理系统废气洗涤塔排放的含氨废气及废水处理系统中收集处理排放的酸碱废气。 a.含氨废气：主要来源于含氨废水处理系统废气洗涤塔排放的废气，含氨废气经 1 套“触媒反应器+稀硫酸喷淋”系统处理后，由 1 根 26m 排气筒排放。 b.酸碱废气项目废水处理系统运行时，废水收集槽产生少量酸碱废气，项目收集槽加盖密封处理，收集槽排气经管道收集后通过碱/酸液喷淋吸收塔处理达标后由 1 根 26m 高排气筒排放。（三）噪声项目生产车间在密闭的洁净室内，密封性较好，主要噪声源为空压机、变频风机和冷却塔、水泵及生产等设备。采用以下措施进行降噪：（1）大部分动力设备安装在密闭的动力厂房内，四周加吸声材料。（2）水泵基础设橡胶隔振垫，减振降噪；水泵吸水管和出水管上均加设可曲绕橡胶接头以减振。（3）空调设备所有空调器的风机带减振底座，空调系统均采取消声措施。（4）柴油发电机房的进风道与排风道采取消声措施，对柴油发电机房的排烟系统加装消声器，柴油发电机组加装防振垫圈。（5）空压机四周加隔声板；设备基础设计减振台基础，所有空调净化排风系统的主排风管和通风机的进出风管均安装消声器；管道进出口加柔性软接。（6）冷却塔置于动力站房顶端靠厂区中部一侧，冷却塔采用水冷式，在受水盘水面铺设聚胺脂多孔泡沫塑料垫。（7）气体站中，选用低噪声设备；压缩机设置于压缩机房内，压缩机房无窗户且墙体和门均采取隔音措施，同时对压缩机进风口采取消声措施；将热交换器及精馏塔等部分噪声较高的设备布置于冷箱内，且采取相应的减振措施；对废气放空口采取加消声器的措施等。（8）设备定期调试，加润滑油进行维护。（四）固体废物项目生产过程主要固体废物是一般工业固废、危险废物、生活垃圾。 ①工业固体废物一般废物主要包括：废水处理污泥（含水率约 50%）、废芯片、废靶材、废混合五金、废包装材料及机台/设备淘汰换耗材等。一般工业固体废物暂存于一般工业固废暂存间内，经收集后交由有主体公司处理。具体如下： A.一般废水处理污泥：项目产生的污泥统一收集后交由市**公司、宇绿**公司等公司进行收运处置。 B.废芯片：废芯片门市鑫公司进行收运处置。 C.废靶材：废靶材统一收集后交由由靶材回收厂回收。 D.废混合五金：废混合五金门市鑫公司进行收运处置。 E.废包装材料：生产过程产生的废酸碱空桶采用纯水系统排放水清洗后作为一般固体废弃物回收，清洗废水用于废水站中和处理系统调节 pH 值，废酸碱空桶、纸箱、木材等门市鑫公司进行收运处置。 F.机台/设备汰换耗材：机台/设备汰换耗材门市鑫公司进行收运处置。 ②危险废物危险废物主要包括：硫酸废液、磷酸废液、有机废液、废矿物油、废离子交换树脂、抹布/手套等（学物质清洗杂物、砷等）、废过滤芯、硫酸铜废液、含铜废水处理污泥、废试剂容器、废铅酸电池、废灯管等。 A、硫酸废液项目硫酸废液危废编号为 HW34 废酸，危废代码为 398-007-34、900-300-34。硫酸废液一部分为厂内中和处置后作为废水外排，一部分进入废硫酸回收利用系统，一部分委托**、瓮福公司、晖鸿**公司等公司进行处理处置。 B、磷酸废液项目磷酸废液危废编号为 HW34 废酸，危废代码为 398-007-34、900-300-34。统一收集后委托委托、瓮福公司、晖鸿**公司等公司进行处理处置。 C、有机废液主要为芯片清洗、去胶等工序使用异丙醇、去光阻剂等有机溶剂清洗芯片时产生的有机废液，属于危险废物，危废类别为 HW06（废有机溶剂）。其中废异丙醇废物代码为：900-402-06，废去胶剂、废光阻液等废物代码为：900-404-06。废有机溶剂统一收集后委托**公司、公司、晖鸿**公司、****公司等公司处理处置。 D、废试剂容器项目废试剂容器危废编号为 HW49 其他废物，危废代码为 900-041-49。统一收集后委托晖鸿**公司、****公司等公司处理处置。 E、抹布/手套等（学物质清洗杂物、砷等）项目抹布/手套等（学物质清洗杂物、砷等）危废编号为 HW49 其他废物，危废代码为 900-041-49。统一收集后委托晖鸿**公司、****公司等公司处理处置。 F、废灯管废灯管危废编号为 HW29 含汞废物，危废代码为 900-023-29。统一收集后委托有资质单位处理处置。 G、废过滤芯项目废过滤芯危废编号为 HW49 其他废物，危废代码为 900-041-49。统一收集后委托晖鸿**公司、****公司等公司处理处置。 H、硫酸铜废液项目硫酸铜废液危废编号为 HW22 含铜废物，危废代码为 398-005-22。统一收集后委托**公司、晖鸿**公司、****公司等公司进行处理处置。 I、含铜废水处理污泥含铜废水处理污泥危废编号为 HW22 含铜废物，危废代码为 398-005-22。统一收集后委托**公司、晖鸿**公司、****公司等公司进行处理处置。 J、废矿物油主要为机台维护保养产生，属于危险废物，危废类别为 HW08（含油废物），废物代码为 900-249-08。统一收集后委托晖鸿**公司、****公司等公司处理处置。 K、废离子交换树脂主要废水处理过程中产生，属于危险废物，危废类别为 HW13（有机树脂类废物），废物代码为 900-015-13。统一收集后委托晖鸿**公司、****公司等公司处理处置。 L、水处理废活性炭项目水处理废活性炭危废编号为 HW49 其他废物，危废代码为 900-041-49。统一收集后委托晖鸿**公司、****公司等公司处理处置。 M、废催化剂废催化剂危废编号为 HW50 废催化剂，危废代码为 772-007-50。统一收集后委托有资质单位处理处置。 N、废铅酸电池项目废铅酸电池危废编号为 HW31 含铅废物，危废代码为 900-052-31。统一收集后委托三**公司处理处置。 O、过期化学品项目过期化学品危废编号为 HW49 其他废物，危废代码为 900-999-49。统一收集后委托晖鸿**公司、****公司等公司处理处置。 P、实验室废液项目实验室废液危废编号为 HW49 其他废物，危废代码为 900-047-49。统一收集后委托晖鸿**公司、****公司等公司处理处置。 Q、废电路板废电路板危废编号为 HW49 其他废物，危废代码为 900-045-49。统一收集后委托有资质单位处理处置。 R、污泥、残渣（液）等项目污泥、残渣（液）等危废编号为 HW49 其他废物，危废代码为 772-006-49。统一收集后委托晖鸿**公司、******公司等公司处理处置。 ③生活垃圾生活垃圾经收集后统一暂存于生活垃圾暂存处，由环卫部门进行及时清运，统一处理。
无

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

根据项目实际情况，设置专门的环境管理机构或设兼职环境监督员，研究、制定有关环保事宜，统筹全厂的环境管理工作。	公司制订有相应的环境风险防控管理制度如《环境管理制度》、《水污染防治管理制度》、《大气污染防治管理制度》等；厂区内化学品仓库、环保设施等重点岗位均明确专人负责管理。
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

192.501	192.501	192.501
19.6351	19.635	19.635
0.1925	0.193	0.193
0	0	0
0	0	0
0	0	0	/
0.177	0.177	0.177	/
7.5266	7.527	7.527	/
0	0	0	/
6.4167	6.417	6.417	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	含磷废水处理设施	《**市水污染物排放标准》（DB35/322-2018）、《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1、表2标准，BOD5执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996）表4中的三级标准	已建设。含磷废水，采用“CaCl2混凝沉淀法” 进行处理	2天，4次/天
2	含氨废水处理设施	《**市水污染物排放标准》（DB35/322-2018）、《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1、表2标准，BOD5执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996）表4中的三级标准	已建设。高、中浓度的含氨废水采用“热风气提+触媒法”处理，低浓度采用反渗透处理	2天，4次/天
3	含氟废水处理设施	《**市水污染物排放标准》（DB35/322-2018）、《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1、表2标准，BOD5执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996）表4中的三级标准	已建设。含氟废水，采用“CaCl2混凝沉淀法”进行处理	2天，4次/天
4	研磨废水处理设施	《**市水污染物排放标准》（DB35/322-2018）、《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1、表2标准，BOD5执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996）表4中的三级标准	已建设。研磨废水，采用 UF（超过滤膜）+AC 活性碳+RO（逆渗透）	2天，4次/天
5	含铜废水处理设施	《**市水污染物排放标准》（DB35/322-2018）、《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1、表2标准，BOD5执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996）表4中的三级标准	已建设。含铜废水，采用“混凝沉淀法”进行处理	2天，4次/天
6	工艺酸碱废水	《**市水污染物排放标准》（DB35/322-2018）、《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1、表2标准，BOD5执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996）表4中的三级标准	已建设。工艺酸碱废水，采用中和方式处理	2天，4次/天
7	废气洗涤塔及 LOCAL SCRUBBER 净化装置排水	《**市水污染物排放标准》（DB35/322-2018）、《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1、表2标准，BOD5执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996）表4中的三级标准	已建设。碱性废气洗涤塔排水排放的废水为吸收塔中多次循环使用的吸收废液，排入含氨废水处理系统进行处理，酸碱废气洗涤塔排水排放的废水为吸收塔中多次循环使用的吸收废液，碱液喷淋塔废水排入含氟废水系统处理，酸液喷淋塔废水排入含氨废水系统处理，酸腐蚀性废气洗涤塔排水排放的废水为吸收塔中多次循环使用的吸收废液，排入中和废水处理系统进行处理，LOCAL SCRUBBER 净化装置（含氟）排放的废水为 LOCAL SCRUBBER 净化装置中多次循环使用的吸收废液，排入含氟废水处理系统进行处理，LOCAL SCRUBBER 净化装置（不含氟）排放的废水为 LOCAL SCRUBBER 净化装置中多次循环使用的吸收废液，直接排入中和系统进行处理	2天，4次/天
8	废水回收系统	《**市水污染物排放标准》（DB35/322-2018）、《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1、表2标准，BOD5执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996）表4中的三级标准	已建设。废水回收系统	2天，4次/天
9	纯水制备废水	/	全部进入 RO 浓水及再生水回收系统	/
10	动力中心常温冷却水系统排水、气体站常温冷却水系统排水	《**市水污染物排放标准》（DB35/322-2018）、《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1、表2标准，BOD5执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996）表4中的三级标准	已建设。进入厂区中和处理系统	2天，4次/天
11	工艺设备冷却水排水、空调/热水系统排水、空气加湿排水	/	工艺设备冷却水排水、空调/热水系统排水、空气加湿排水水质较为清洁，无需处理，直接作为中水回收	/
12	氢气制备冷凝水	/	直接回收至气体站常温冷却塔使用	/
13	生活污水处理设施	《**市水污染物排放标准》（DB35/322-2018）、《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1、表2标准，BOD5执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996）表4中的三级标准	已建设。食堂污水经隔油池处理，卫生间及办公废水经化粪池预处理	2天，4次/天

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	酸性废气	《**市大气污染物排放标准》（DB35/323-2018）、《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）、《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）	已建设。碱液喷淋吸收塔处理	2天，3次/天
2	碱性废气	《**市大气污染物排放标准》（DB35/323-2018）、《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）、《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）	已建设。酸液喷淋吸收塔处理	2天，3次/天
3	酸腐蚀性废气	《**市大气污染物排放标准》（DB35/323-2018）、《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）、《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）	已建设。碱液喷淋吸收塔	2天，3次/天
4	酸碱废气	《**市大气污染物排放标准》（DB35/323-2018）、《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）、《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）	已建设。碱/酸液喷淋吸收塔处理	2天，3次/天
5	有机废气	《**市大气污染物排放标准》（DB35/323-2018）、《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）、《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）	已建设。沸石轮转+RO 燃烧浓缩系统	2天，3次/天
6	工艺尾气	《**市大气污染物排放标准》（DB35/323-2018）、《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）、《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）	已建设。工艺废气（不含砷）由机台尾部的 LOCAL SCRUBBER 净化装置处理后进入酸性废气处理系统，通过酸性废气处理系统作进一步处理，最终由 42m 排气筒排放；离子注入过程产生的工艺废气（含砷）由机台尾部的 LOCAL SCRUBBER 净化装置处理后分别经 1 根 42m、1 根 40m 排气筒排放	2天，3次/天
7	废水站废气	《**市大气污染物排放标准》（DB35/323-2018）、《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）、《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）	已建设。含氨废气经 1 套“触媒反应器+稀硫酸喷淋”系统处理后，由 1 根 26m 排气筒排放。酸碱废气项目收集槽加盖密封处理，收集槽排气经管道收集后通过碱/酸液喷淋吸收塔处理达标后由 1 根 26m 高排气筒排放。	2天，3次/天

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

噪声采取厂房隔音措施和设置机台减震垫等措施

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008

噪声采取厂房隔音措施和设置机台减震垫等措施

2天，1次/昼间，1次/夜间

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

项目事故应急池、污水站、危废暂存场以及生产车间、化学品仓库等均为重点防渗区。其防渗层的防渗性能不应低于等效黏土防渗层 Mb≥6.0m，K≤1×10-7cm/s 的防渗性能；原料、成品仓库、一般工业固废暂存间划为一般防渗区，防渗层的防渗性能不应低于等效黏土防渗层 Mb≥1.5m，K≤1×10-7cm/s；办公区等为简单防渗区，采取地面硬化。

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

项目生产过程产生的固体废物主要有生活垃圾、一般工业固废和危险固废。生活垃圾生活垃圾经收集后统一暂存于生活垃圾暂存处，由环卫部门进行及时清运，统一处理。一般废物主要包括：废水处理污泥（含水率约 50%）、废芯片、废靶材、废混合五金、废包装材料等。一般工业固体废物暂存于一般工业固废暂存间内，经收集后交由有主体****公司处理。危险废物主要包括：硫酸废液、磷酸废液、有机废液、废矿物油、废离子交换树脂、抹布/手套等（**学物质清洗杂物、砷等）、废过滤芯、硫酸铜废液、含铜废水处理污泥、废试剂容器、废铅酸电池（厂务设施中 UPS 系统换下尚可回收使用的铅酸电池）、废灯管等。委托有资质的单位处理处置。

项目生产过程主要固体废物是一般工业固废、危险废物、生活垃圾。 ①工业固体废物一般废物主要包括：废水处理污泥（含水率约 50%）、废芯片、废靶材、废混合五金、废包装材料及机台/设备淘汰换耗材等。一般工业固体废物暂存于一般工业固废暂存间内，经收集后交由有主体资格和技术 ****公司处理。具体如下： A.一般废水处理污泥：项目产生的污泥统一收集后交由**市璞锦环保科技有限公司、**宇绿****公司等公司进行收运处置。 B.废芯片：废芯片****门市鑫****公司进行收运处置。 C.废靶材：废靶材统一收集后交由由靶材回收厂回收。 D.废混合五金：废混合五金****门市鑫****公司进行收运处置。 E.废包装材料：生产过程产生的废酸碱空桶采用纯水系统排放水清洗后作为一般固体废弃物回收，清洗废水用于废水站中和处理系统调节 pH 值，废酸碱空桶、纸箱、木材等****门市鑫****公司进行收运处置。 F.机台/设备汰换耗材：机台/设备汰换耗材****门市鑫家辉物资回收有限公司进行收运处置。 ②危险废物危险废物主要包括：硫酸废液、磷酸废液、有机废液、废矿物油、废离子交换树脂、抹布/手套等（**学物质清洗杂物、砷等）、废过滤芯、硫酸铜废液、含铜废水处理污泥、废试剂容器、废铅酸电池、废灯管等。 A、硫酸废液项目硫酸废液危废编号为 HW34 废酸，危废代码为 398-007-34、900-300-34。硫酸废液一部分为厂内中和处置后作为废水外排，一部分进入废硫酸回收利用系统，一部分委托****、瓮福****公司、**晖鸿环境资 ****公司进行处理处置。 B、磷酸废液项目磷酸废液危废编号为 HW34 废酸，危废代码为 398-007-34、900-300-34。统一收集后委托委托****、瓮福****公司、** 晖鸿****公司等公司进行处理处置。 C、有机废液主要为芯片清洗、去胶等工序使用异丙醇、去光阻剂等有机溶剂清洗芯片时产生的有机废液，属于危险废物，危废类别为 HW06（废有机溶剂）。其中废异丙醇废物代码为：900-402-06，废去胶剂、废光阻液等废物代码为：900-404-06。废有机溶剂统一收集后委托******公司、****公司、**晖鸿环境**科技有限公司、********公司等公司处理处置。 D、废试剂容器项目废试剂容器危废编号为 HW49 其他废物，危废代码为 900-041-49。统一收集后委托**晖鸿****公司、********公司等公司处理处置。 E、抹布/手套等（**学物质清洗杂物、砷等）项目抹布/手套等（**学物质清洗杂物、砷等）危废编号为 HW49 其他废物，危废代码为 900-041-49。统一收集后委托**晖鸿****公司、****东江 ****公司等公司处理处置。 F、废灯管废灯管危废编号为 HW29 含汞废物，危废代码为 900-023-29。统一收集后委托有资质单位处理处置。 G、废过滤芯项目废过滤芯危废编号为 HW49 其他废物，危废代码为 900-041-49。统一收集后委托**晖鸿****公司、********公司等公司处理处置。 H、硫酸铜废液项目硫酸铜废液危废编号为 HW22 含铜废物，危废代码为 398-005-22。统一收集后委托******公司、**晖鸿****公司、****东江环保 ****公司进行处理处置。 I、含铜废水处理污泥含铜废水处理污泥危废编号为 HW22 含铜废物，危废代码为 398-005-22。统一收集后委托******公司、**晖鸿****公司、****东江环 ****公司进行处理处置。 J、废矿物油主要为机台维护保养产生，属于危险废物，危废类别为 HW08（含油废物），废物代码为 900-249-08。统一收集后委托**晖鸿****公司、****东江环 ****公司处理处置。 K、废离子交换树脂主要废水处理过程中产生，属于危险废物，危废类别为 HW13（有机树脂类废物），废物代码为 900-015-13。统一收集后委托**晖鸿****公司、****东 ****公司等公司处理处置。 L、水处理废活性炭项目水处理废活性炭危废编号为 HW49 其他废物，危废代码为 900-041-49。统一收集后委托**晖鸿****公司、********公司等公司处理处置。 M、废催化剂废催化剂危废编号为 HW50 废催化剂，危废代码为 772-007-50。统一收集后委托有资质单位处理处置。 N、废铅酸电池项目废铅酸电池危废编号为 HW31 含铅废物，危废代码为 900-052-31。统一收集后委托**三****公司处理处置。 O、过期化学品项目过期化学品危废编号为 HW49 其他废物，危废代码为 900-999-49。统一收集后委托**晖鸿****公司、********公司等公司处理处置。 P、实验室废液项目实验室废液危废编号为 HW49 其他废物，危废代码为 900-047-49。统一收集后委托**晖鸿****公司、********公司等公司处理处置。 Q、废电路板废电路板危废编号为 HW49 其他废物，危废代码为 900-045-49。统一收集后委托有资质单位处理处置。 R、污泥、残渣（液）等项目污泥、残渣（液）等危废编号为 HW49 其他废物，危废代码为 772-006-49。统一收集后委托**晖鸿****公司、********公司等公司处理处置。 ③生活垃圾生活垃圾经收集后统一暂存于生活垃圾暂存处，由环卫部门进行及时清运，统一处理。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

1、化学品仓库和危废暂存间按规范要求设置，在储存现场设置禁烟禁火警示标志，配备充足的消防器材和安全防护面具、防护服，设置火灾报警系统。物质存放点应注意阴凉通风，设置相应的应急防范设施，加强管理及应急预案演练。 2、废气、废水等环保设施故障应急措施 ①、加强日常环保设施、设备的检查与维护，发现问题及时修复。 ②、****处理站现有 3000m3的事故应急池，并配套应急泵，若发生事故可将事故废水抽入应急池；废水处理池设有回流装置，当处理不达标时，均可打开回流系统，回流至调节池重新处理。 ③、定期委托监测经废气处理设施处理后的废气排放浓度，确保达标排放。

企业内制定了相关的环境管理制度和应急预案。1、化学品仓库和危废暂存间均按规范要求设置，在储存现场设置禁烟禁火警示标志，配备充足的消防器材和安全防护面具、防护服，设置火灾报警系统。物质存放点应注意阴凉通风，设置相应的应急防范设施，加强管理及应急预案演练。 2、废气、废水等环保设施故障应急措施 ①、加强日常环保设施、设备的检查与维护，发现问题及时修复。 ②、****处理站现有 3000m3的事故应急池，并配套应急泵，若发生事故可将事故废水抽入应急池；废水处理池设有回流装置，当处理不达标时，均可打开回流系统，回流至调节池重新处理。 ③、定期委托监测经废气处理设施处理后的废气排放浓度，确保达标排放。

5、环境保护对策措施落实情况

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