浙江晶正光电科技有限公司DOE衍射光学元件设计及制造基地建设项目

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浙江晶正光电科技有限公司DOE衍射光学元件设计及制造基地建设项目

更新时间	2024年09月22日
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关键信息	光电
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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0522MA29JJAF06	陆红娅
陆红娅	省市长**
**街道高铁路 669 号科技园总部18#厂房

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

**DOE衍射光**基地建设项目

2021版本:080-电子器件制造	C3976-C3976-光电子器件制造
	省市长街道高铁路 669 号科技园总部18#厂房
经度:119.96728 纬度: 31.03846	****环境局
	2019-10-31
长环改备〔2019〕135号	****
	2800
115	****
****0522MA29JJAF06	****
****0522MA29JJAF06	******公司
913********872583U	2023-10-11

2024-03-19	2024-04-18
	https://www.cirs-ck.com/cn/zhe-jiang-jing-zheng-guang-dian-ke-ji-you-xian-gong-si-doe-yan

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年产DOE衍射光学元件6000万片	年产DOE衍射光学元件6000万片
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

外购玻璃-磨抛-合片-清洗-光刻-刻蚀-去胶-分片、清洗-吹干-镀膜-切片-检测-成品包装	外购玻璃-磨抛-合片-光刻-刻蚀-去胶-切片-检测-成品包装
在企业内的生产工艺和污染防治措施略有变动，其中生产工艺中的“清洗工序”、“分片、清洗-吹干-镀膜工序”均不在本厂区内实施处理（外协加工），在本厂区内实施的工艺实际为“外购玻璃-磨抛-合片-光刻-刻蚀-去胶-切片-检测-成品包装”，根据竣工验收报告，项目废气能够达标排放，未引起周围环境不利影响，对照《污染影响类建设项目重大变动清单（试行）》，以上变动不属于重大变动

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

刻蚀工艺：电加热燃烧+喷淋洗涤塔光刻工艺：UV光氧催化+二级活性炭吸附	刻蚀工艺：喷淋洗涤塔光刻工艺：二级活性炭吸附
污染防治措施中“刻蚀废气收集后由1套‘电加热燃烧+喷淋洗涤塔’净化设施处理后沿不低于15m高排气筒高空排放”，实际上蚀刻工序产生的酸性废气经密闭集气管收集，通过管道进入一套“喷淋洗涤塔”净化处理后通过15m高排气筒高空排放；光刻车间废气处理设施淘汰原有“UV光氧催化+二级活性炭吸附”中的“UV光氧催化”低效治理工艺，调整为“二级活性炭吸附”，根据竣工验收报告，项目废气能够达标排放，未引起周围环境不利影响，对照《污染影响类建设项目重大变动清单（试行）》，以上变动不属于重大变动

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

无	无
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0.0255	0	0.025	0.025
0.0128	0.0128	0.013	0.013
0.0013	0.0013	0.001	0.001
0	0	0	0
0	0	0	0
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0.0222	0.0831	0.022	0.022	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

化粪池

《污水综合排放标准》（GB8978-1996）、《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013）

由于本项目生产工艺中“清洗工序”、“分片、清洗-吹干-镀膜工序”均不在本厂区内实施处理（外协加工），因此不产生清洗废水，本项目废水主要为纯水制备浓水和职工生活污水。职工生活污水经化粪池预处理后同纯水制备浓水一道纳入市政污水管网，****处理厂处理后达标排放

根据验收监测报告，在监测日工况条件下，企业废水总排口中pH值、化学需氧量、悬浮物排放浓度均符合《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4三级标准要求，氨氮、总磷排放浓度均符合《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013）中的其他企业排放限值要求

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	二级活性炭吸附	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）	企业在光刻工序易产生有机废气的位置均设置集气装置，有机废气经收集并汇总至一套“二级活性炭吸附”设备处理后，尾气通过15米高排气筒高空排放	根据验收监测报告，在监测日工况条件下，光刻废气处理设施排放口中非甲烷总烃排放浓度及排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中的新污染源大气污染物排放二级标准
2	喷淋洗涤塔	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）	蚀刻工序产生的酸性废气经密闭集气管收集，通过管道进入一套“喷淋洗涤塔”净化处理后，尾气通过15m高排气筒高空排放	根据验收监测报告，在监测日工况条件下，刻蚀废气处理设施出口中氟化物排放浓度及排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中的新污染源大气污染物排放二级标准

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

各类设施

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）

本项目产生的噪声主要为生产车间内生产设备运行时产生的工作噪声，企业生产时车间生产时关闭门窗，设备采用低噪声设备，车间采用换气扇进行通风换气，对风机等高噪声设备采取相应的减震、隔声措施，对风机配置的电动机座安装弹性衬垫和保护套

根据验收监测报告，在监测日工况条件下，企业厂界四周昼间噪声均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）中的3类标准要求

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

固体废物分类收集、处理，按照"**化、减量化、无害化"处置原则，建立台帐制度，规范设置废物暂存库，危险固废和一般固废分类收集、堆放、分质处置，提高**综合利用率，确保处置过程不对环境造成二次污染。严格执行《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》和《危险废物贮存污染控制标准》中有关规定

根据验收监测报告，本项目边角料、废金刚砂、一般废包装材料企业统一收集****公司综合利用；残胶（光刻胶）、废显影液、废去胶液、废抹布、危险包装固废、废活性炭、喷淋废液属危险废物，分类收集后委托有资质的单位进行安全处置；职工生活垃圾委托当地环卫部门统一清运处置

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程