默克电子科技中国中心三期电子材料应用测试平台项目装修工程
1、建设项目基本信息
企业基本信息
| **** | 建设单位代码类型：|
| 913********066189M | 建设单位法人：隋郁 |
| 高志伟 | 建设单位所在行政区划：**市**区 |
| ****开发区秦桥路211号 |
建设项目基本信息
| ****中心三期电子材料应用测试平台项目装修工程 | 项目代码：|
| 建设性质： | |
| 2021版本:098-专业实验室、****基地 | 行业类别（国民经济代码）：M7320-M7320-工程和技术研究和试验发展 |
| 建设地点： | **市**区 ****开发区秦桥路211号 |
| 经度:121.62597 纬度: 31.2751 | ****机关：****生态环境局 |
| 环评批复时间： | 2023-03-15 |
| 沪浦环保许评〔2023〕62号 | 本工程排污许可证编号：**** |
| 项目实际总投资(万元)： | 9000 |
| 45 | 运营单位名称：**** |
| 913********066189M | 验收监测(调查)报告编制机构名称：******公司 |
| 913********183075T | 验收监测单位：**为康****公司,**源净****公司 |
| 913********7630747,****0110MA1G8U7P8C | 竣工时间：2024-04-08 |
| 2024-04-09 | 调试结束时间：2024-08-06 |
| 2024-08-12 | 验收报告公开结束时间：2024-09-22 |
| 验收报告公开载体： | https://e2.****.cn/jsp/view/jsxmInfo_edit.jsp?id=A6F8AF196DF34D918B79537CF0C69686 |
2、工程变动信息
项目性质
| 改扩建 | 实际建设情况：改扩建 |
| 未发生变动 | 是否属于重大变动：|
规模
| SOD氧化硅薄膜形成实验的实验次数为10次/周，SOD低温碳氧化硅薄膜形成实验的实验次数为10次/周，化学机械抛光晶圆实验的实验次数为8次/周，化学机械抛光晶圆表面性质测量实验的实验次数为8次/周，化学机械抛光液电化学测试的实验次数为8次/周。 | 实际建设情况：SOD氧化硅薄膜形成实验的实验次数为10次/周，SOD低温碳氧化硅薄膜形成实验的实验次数为10次/周，化学机械抛光晶圆实验的实验次数为8次/周，化学机械抛光晶圆表面性质测量实验的实验次数为8次/周，化学机械抛光液电化学测试的实验次数为8次/周。 |
| 未发生变动 | 是否属于重大变动：|
生产工艺
| （1）SOD氧化硅薄膜形成实验：旋涂、烘干—颗粒度检验—旋涂、烘干—厚度测量—热处理—实验数据测量—记录实验数据；（2）SOD低温碳氧化硅薄膜形成实验：旋涂、烘干—颗粒度检验—旋涂、烘干—厚度测量—热处理—实验数据测量—记录实验数据；（3）化学机械抛光晶圆实验：数据测量—化学机械抛光（委外）—物料数据测量；（4）化学机械抛光晶圆表面性质测量实验：数据测量—化学机械抛光—物料数据测量；（5）化学机械抛光液电化学测试：硅片—化学机械抛光液样品—实验数据测量—记录实验数据。 | 实际建设情况：（1）SOD氧化硅薄膜形成实验：旋涂、烘干—颗粒度检验—旋涂、烘干—厚度测量—热处理—实验数据测量—记录实验数据；（2）SOD低温碳氧化硅薄膜形成实验：旋涂、烘干—颗粒度检验—旋涂、烘干—厚度测量—热处理—实验数据测量—记录实验数据；（3）化学机械抛光晶圆实验：数据测量—化学机械抛光（委外）—物料数据测量；（4）化学机械抛光晶圆表面性质测量实验：数据测量—化学机械抛光—物料数据测量；（5）化学机械抛光液电化学测试：硅片—化学机械抛光液样品—实验数据测量—记录实验数据。 |
| 未发生变动 | 是否属于重大变动：|
环保设施或环保措施
| 1、清洗废水、喷淋废水、抛光废水须经预处理，与生活污水一并达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）标准后，纳入市政污水管道排放。2、实验废气须经收集处理达到《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）和《恶臭（异味）污染物排放标准》（DB31/1025-2016）限值后，高空排放。有机废气和臭气浓度须达到《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）和《恶臭（异味）污染物排放标准》（DB31/1025-2016）厂界监控点浓度限值。3、项目应选用低噪声设备，合理布局，采取综合减振降噪措施，确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）2类标准（昼间≤60dB（A），夜间≤50dB（A））。4、各类固体废物的处理应符合《固体废物污染环境防治法》要求，做到分类收集，设置专用堆放场所，防止二次污染；废化学机械抛光液、实验沾染废物、实验废液、清洗废液等危险废物须委托有《危险废物经营许可证》的单位处置。5、应按照《报告表》的要求，加强风险防范和环境管理，落实防护措施和监测计划，制定应急预案。 | 实际建设情况：1、本项目产生的后道低浓度清洗废水、喷淋废水和机械抛光废水均排入集水池，水质进行pH调节和沉淀后和生活污水一起经厂区污水排放口1（DW001）纳入市政污水管网。2、本项目产生的旋涂、烘干废气分别在通风橱、密闭的实验设备内收集后统一排入1#活性炭箱吸附处理，处理后尾气经过15m高DA018排气筒排放。本项目产生的热处理废气和机械抛光废气分别在密闭的加热炉管、化学机械抛光设备内收集后统一排入1套喷淋塔处理，处理后尾气经15m高DA020排气筒排放。3、本项目已选用低噪声、低振动设备，已合理布局，废气收集管已采用软管连接，已选用低噪声、低振动的环保型废气处理风机，废气处理风机已安装减震垫。4、本项目各类固体废物已分类收集，已设置专用的危险废物堆放场所危废暂存间，废化学机械抛光液、实验沾染废物、实验废液、清洗废液等危险废物已分类暂存于危废暂存间，企业定期委托有资质的****公司集中处理危险废物；废晶圆、实验废样品、废外包装材料（不涉及危险品的外包装）等一般工业固体废物暂存于一般固废暂存间，定期委托****公司集中处理。5、已按《报告表》的要求，已加强风险防范措施和环境管理，已落实防护措施和监测计划，企业已结合厂区的实际情况编制了《****突发环境事件应急预案》，****生态环境局备案（备案编号：02-310115-2023-048-L）。 |
| 未发生变动 | 是否属于重大变动：|
其他
| （四）项目建设应严格执行配套建设的环保设施与主体工程同时设计、 同时施工、 同时投产使用的环保 “三同时” 制度。 你单位应当按照环境信息公开有关规定， 主动公开建设项目环境信息，接受社会监督。项目建成后， 你单位应当按照竣工环境保护验收的有关规定，对配套建设的环境保护设施进行验收。 （五）按照排污许可管理有关规定， 纳入排污许可管理的单位，应当在启动生产设施或者在实际排污之前申请或变更排污许可证。 | 实际建设情况：（四）项目建设已严格执行配套建设的环保设施与主体工程同时设计、 同时施工、 同时投产使用的环保 “三同时” 制度。 已按照环境信息公开有关规定，已 主动公开建设项目环境信息，接受社会监督。项目建成后， 已按照竣工环境保护验收的有关规定，对配套建设的环境保护设施进行验收。 （五）已按照排污许可管理有关规定，变更排污许可证。 |
| 未发生变动 | 是否属于重大变动：|
3、污染物排放量
| 3.2403 | 0.032 | 3.2723 | 0 | 0 | 3.272 | 0.032 | |
| 10.3006 | 0.12 | 10.4206 | 0 | 0 | 10.421 | 0.12 | |
| 1.3033 | 0.0105 | 1.3138 | 0 | 0 | 1.314 | 0.011 | |
| 0.1932 | 0.0014 | 0.1946 | 0 | 0 | 0.195 | 0.001 | |
| 1.9839 | 0.0173 | 2.0012 | 0 | 0 | 2.001 | 0.017 | |
| 3056.685 | 725 | 0 | 0 | 0 | 3781.685 | 725 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0.0005 | 0 | 0.0005 | 0 | 0 | 0.0005 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
| 1 | 依托现有集水池 | 《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020）表1中间接排放限值 | 现有项目已建集水池 | 委托手工监测 |
表2 大气污染治理设施
| 1 | 依托现有1#活性炭吸附箱 | 《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）表1标准限值 | 已建设1#活性炭吸附箱 | 委托手工监测 | |
| 2 | 喷淋冲洗塔 | 《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）表1标准限值、《恶臭（异味）污染物排放标准》（DB31/1025-2016）中表1、表2标准限值 | 已建设喷淋冲洗塔 | 委托手工监测 |
表3 噪声治理设施
| 1 | 废气收集管采用软管连接，选用低噪声、低振动的环保型风机，安装减震垫等 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）2类区排放限值 | 废气收集管已采用软管连接，已选用低噪声、低振动的环保型风机，已安装减震垫等 | 委托手工监测 | |
| 2 | 选用低噪声设备并利用厂房隔声等 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）2类区排放限值 | 已选用低噪声设备并利用厂房隔声等 | 委托手工监测 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
| 1 | 各类固体废物的处理应符合《固体废物污染环境防治法》要求，做到分类收集，设置专用堆放场所，防止二次污染；废化学机械抛光液、实验沾染废物、实验废液、清洗废液等危险废物须委托有《危险废物经营许可证》的单位处置。 | 本项目各类固体废物已分类收集，已设置专用的危险废物堆放场所危废暂存间，废化学机械抛光液、实验沾染废物、实验废液、清洗废液等危险废物已分类暂存于危废暂存间，企业定期委托有资质的****公司集中处理危险废物；废晶圆、实验废样品、废外包装材料（不涉及危险品的外包装）等一般工业固体废物暂存于一般固废暂存间，定期委托****公司集中处理。 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
| 1 | 应按照《报告表》的要求，加强风险防范和环境管理，落实防护措施和监测计划，制定应急预案。 | 已按《报告表》的要求，已加强风险防范措施和环境管理，已落实防护措施和监测计划，企业已结合厂区的实际情况编制了《****突发环境事件应急预案》，****生态环境局备案（备案编号：02-310115-2023-048-L）。 |
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
环保搬迁
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
区域削减
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
生态恢复、补偿或管理
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
功能置换
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
其他
| 在建设中， 如果项目的内容、 性质、 规模、 地点、采用的生产工艺或防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动的， 应重新报批建设项目环评文件。 | 验收阶段落实情况：项目的内容、性质、规模、地点、采用的生产工艺或防治污染、防止生态破坏的措施均未发生重大变动。 |
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6、工程建设对项目周边环境的影响
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7、验收结论
| 1 | 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |
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