芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司碳化硅MOS芯片制造一期项目
1、建设项目基本信息
企业基本信息
**** | 建设单位代码类型:|
****0602MA7EBXU70R | 建设单位法人:赵奇 |
丁东 | 建设单位所在行政区划:**省**市越** |
**省**市越**皋埠街道**路508号 |
建设项目基本信息
****碳化硅MOS芯片制造一期项目 | 项目代码:**** |
建设性质: | |
2021版本:080-电子器件制造 | 行业类别(国民经济代码):C3973-C3973-集成电路制造 |
建设地点: | **省**市越** 皋埠街道**路508号 |
经度:120.67027 纬度: 29.99334 | ****机关:****环境局 |
环评批复时间: | 2024-01-24 |
绍市环越审〔2024〕4号 | 本工程排污许可证编号:****0602MA7EBXU70R001V |
2024-08-08 | 项目实际总投资(万元):95200 |
1500 | 运营单位名称:**** |
****0602MA7EBXU70R | 验收监测(调查)报告编制机构名称:**** |
****0602MA7EBXU70R | 验收监测单位:**市****公司,****研究院****公司 |
****0600MA2886EB71,****0200MA283AYU3H | 竣工时间:2024-05-31 |
调试结束时间: | |
2024-08-26 | 验收报告公开结束时间:2024-09-23 |
验收报告公开载体: | https://gs.****.cn/index.php?c=show id=58 |
2、工程变动信息
项目性质
扩建 | 实际建设情况:扩建 |
无 | 是否属于重大变动:|
规模
月产0.5万片6/8英寸碳化硅MOS芯片 | 实际建设情况:月产0.5万片6/8英寸碳化硅MOS芯片 |
无 | 是否属于重大变动:|
生产工艺
本项目主要生产单元包括清洗、薄膜制备、光刻、刻蚀、热氧化及离子注入等,主要进行 6/8 英寸碳化硅 MOS 芯片的生产制造,具体生产工艺包括清洗、热氧化、物理气相沉积、化学气相沉积、涂布、曝光、显影、湿法刻蚀、干法刻蚀及离子注入等。 | 实际建设情况:本项目主要生产单元包括清洗、薄膜制备、光刻、刻蚀、热氧化及离子注入等,主要进行 6/8 英寸碳化硅 MOS 芯片的生产制造,具体生产工艺包括清洗、热氧化、物理气相沉积、化学气相沉积、涂布、曝光、显影、湿法刻蚀、干法刻蚀及离子注入等。 |
无 | 是否属于重大变动:|
环保设施或环保措施
1.落实水污染防治工作。严格落实雨污分流,强化节水回用,各类废水分类收集、分质处理。本次项目产生的含氟废水含氨废水、废气洗涤塔排水、POU洗涤塔排水分别经各自度水处理系统先行处理后与酸碱废水、纯水制备系统排水、POU回收水系统排水、清洗水回收系统排水等进入厂区综合废水处理系统处理,再与工艺冷却系统排水和经处理的生活污水一起汇入废水总排口最终达到《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)和《污水综合排放标准》(GB8978-1996)等相关限值后纳入市政排污管网,具体按“报告表”要求进行控制。落实大气污染防治工作。2.落实无组织废气控制措施,规范设置排气简和标准化取样平台。本项目产生的酸性废气经碱喷淋装置处理、碱性废气经酸液喷淋处理、有机废气经沸石转轮浓缩焚烧系统处理、工艺尾气经POU净化装置+碱液喷淋处理、废水处理站废气经碱液喷淋处理,锅炉采用低氮燃烧装置,项目废气排放执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)、《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)、《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)、《锅炉大气污染物排放标准》(GB13271-2014)等标准要求,具体限值按“报告表”要求进行控制。3.落实固废污染防治措施。规范设置危险废物和一般固废暂存库。做好危险废物的入库、存放、出库记录,并设置危险废物识别标志,做好防雨、防渗、防漏等工作。项目产生的各类废酸、废有机溶剂等危险废物须委托有相应危险度物处理资质的单位进行安全妥善处置。委托处置危险废物的,须按照有关规定办理危险废物转移报批手续。危险废物在厂区内暂存按《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)执行。一般固废贮存和处置必须符合《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》(GB18599-2020)等相关要求。4.落实噪声污染防治措施。项目应合理布局,选用低噪声设备,同时采取必要的隔音、消声、减振降噪措施;合理安排操作时间,加强设备的日常维护和保养,加强车辆运输过程噪声控制,确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中相关限制要求。 | 实际建设情况:1.本项目厂区采用清污分流、雨污分流排水体制。①W2含氨废水和W4-3碱性废气洗涤塔排水经含氨废水处理系统(空气吹脱+酸洗吸收)处理后,与W1含氟废水、W4-1酸性废气洗涤塔排水、W4-2POU洗涤塔排水一并进入含氟废水处理系统(混凝沉淀)进行处理;W3酸碱废水、W5纯水制备系统排水、W7POU回收水系统排水和W8清洗水回收系统排水与含氟废水处理系统出水一并进入综合废水中和系统(酸碱中和)处理达标后排入污水总排口纳管排放。②W6工艺冷却系统排水直接排入污水总排口纳管排放。③生活污水经预处理设施(格栅、隔油池)处理达标后排入污水总排口纳管排放。④雨水经厂区雨水管道收集后排入市政雨水管网。根据监测结果,本项目废水总排放口(★8#)中污染物的监测结果均符合《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1****器件行业的间接排放限值、**省《电镀水污染物排放标准》(DB33/2260-2020)表1中的其他地区间接排放限值、**省地方标准《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》(DB33/887-2013)中“其他企业”的规定和《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4中的三级排放标准。2.本项目新增的G4工艺尾气通过POU净化装置处理后与G1酸性废气和G6废水处理站****处理站废气)一并经过1套酸性废气处理系统(碱液喷淋)处理后通过1根35m排气筒高空排放;G2碱性废气经过1套碱性废气处理系统(酸液喷淋)处理后通过1根35m排气筒高空排放;G3有机废气经过3套有机废气处理系统(2套沸石转轮浓缩焚烧系统及1套活性炭吸附装置)处理后通过3根35m排气筒高空排放,其中1套有机废气处理系统(活性炭吸附装置+1根35m排气筒)作为备用。根据监测结果,本项目生产废气处理装置出口中氟化物、氯化氢、氯气、硫酸雾、颗粒物、异丙醇(按非甲烷总烃评价)和丙酮(按非甲烷总烃评价)的监测结果均符合《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2新污染源大气污染物排放标准中的二级标准;氨、硫化氢和臭气浓度(无量纲)的监测结果均符合《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2中的恶臭污染物排放标准值;VOCS的监测结果符合**省《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3中的大气污染物排放限值。食堂油烟的监测结果符合《饮食业油烟排放标准(试行)》(GB18483-2001)中的大型规模排放限值。3.本项目固体废物包括一般固体废物、危险废物及职工生活垃圾。本项目依托芯联集成原有的1处危废仓库(面积约200m2);在芯联集成A2模组生产厂房一层已建废液收集罐区**了1处危废暂存间(面积约50m2)和1个废液收集罐(容积为13m3),在废酸碱间内新增了3个废液储罐(容积为5m3/个);污泥暂存区依托芯联越州污泥暂存****处理站内,面积约400m2)及一般固废间(依托芯联越州化学品库内已建独立一般固废暂存间,面积约200m2),用于暂存项目产生的各类危险废物及一般固体废物。危废堆场地面均进行了硬化、防渗处理,危险废物储存区均严格按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)建设,建有“浙固码”系统,危险废物分类分区堆放,设置有相应的标识牌,危废台账完整,满足规范化建设要求。本项目所有固体废物均分类收集,妥善处置。4.本项目生产设备位于洁净厂房内,声级较小,新增产噪设备主要为废气处理设备及风机等动力设备,企业生产依托现有厂区,通过合理规划厂区布局、将废气处理装置布置于楼顶上、高噪声设备安装基础减震、管道进出口配置气流消声器、加强设备维护、加强职工环保意识教育、增加厂区绿化等措施,确保厂界噪声满足环评中的噪声防治要求。根据监测结果,本项目厂界东、北侧噪声监测结果均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348-2008)3类标准;南、西侧噪声监测结果均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348-2008)2类标准。 |
无 | 是否属于重大变动:|
其他
无 | 实际建设情况:无 |
无 | 是否属于重大变动:|
3、污染物排放量
0 | 188.51 | 299.34 | 0 | 0 | 188.51 | 188.51 | |
0 | 207.36 | 239.47 | 0 | 0 | 207.36 | 207.36 | |
0 | 15.04 | 29.93 | 0 | 0 | 15.04 | 15.04 | |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
4.08 | 0.175 | 11.485 | 0 | 0 | 4.255 | 0.175 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
1 | 含氟废水处理系统(混凝沉淀)、含氨废水处理系统(空气吹脱+酸洗吸收)、综合废水中和系统(酸碱中和)、化粪池 | 总铬在预处理设施出口,其他因子在废水总排口废水执行《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1****器件行业的间接排放限值;NH3-N执行**省地方标准《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》(DB33/887-2013)中“其他企业”的规定35mg/L;BOD5、动植物油和甲醛执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4中的三级排放标准;总铬在预处理设施出口,其他因子在废水总排口执行《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1****器件行业的间接排放限值;总镍在预处理设施出口、总氰化物、总铅、总铜在废水总排口执行**省《电镀水污染物排放标准》(DB33/2260-2020)表1中的其他地区间接排放限值。 | 本项目厂区采用清污分流、雨污分流排水体制。①W2含氨废水和W4-3碱性废气洗涤塔排水经含氨废水处理系统(空气吹脱+酸洗吸收)处理后,与W1含氟废水、W4-1酸性废气洗涤塔排水、W4-2POU洗涤塔排水一并进入含氟废水处理系统(混凝沉淀)进行处理;W3酸碱废水、W5纯水制备系统排水、W7POU回收水系统排水和W8清洗水回收系统排水与含氟废水处理系统出水一并进入综合废水中和系统(酸碱中和)处理达标后排入污水总排口纳管排放。②W6工艺冷却系统排水直接排入污水总排口纳管排放。③生活污水经预处理设施(格栅、隔油池)处理达标后排入污水总排口纳管排放。④雨水经厂区雨水管道收集后排入市政雨水管网。 | 本项目废水总排放口(★8#)中pH值范围、CODCr、SS、氟化物、TP、TN、总铬、TOC和LAS的排放浓度的最大日均值均符合《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1****器件行业的间接排放限值;总镍、总铅、总铜和总氰化物的排放浓度的最大日均值均符合**省《电镀水污染物排放标准》(DB33/2260-2020)表1中的其他地区间接排放限值;NH3-N的排放浓度的最大日均值符合**省地方标准《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》(DB33/887-2013)中“其他企业”的规定35mg/L;BOD5、动植物油和甲醛的排放浓度的最大日均值均符合《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4中的三级排放标准。 |
表2 大气污染治理设施
1 | 酸性废气处理系统(碱液喷淋) | 本项目酸性废气排放口中氟化物、氯化氢、氯气、硫酸雾和颗粒物的排放执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2新污染源大气污染物排放标准中的二级标准;氨、硫化氢和臭气浓度的排放执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2中的恶臭污染物排放标准值。 | 本项目产生的G4工艺尾气通过POU净化装置处理后与G1酸性废气和G6废水处理站****处理站废气)一并经过1套酸性废气处理系统(碱液喷淋)处理后通过1根35m排气筒高空排放。 | 本项目酸性废气处理装置出口(◎1#)中氟化物、氯化氢、氯气、硫酸雾和颗粒物的最大排放浓度和最大排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2新污染源大气污染物排放标准中的二级标准;氨和硫化氢的最大排放速率、臭气浓度(无量纲)的监测结果最大值均符合《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2中的恶臭污染物排放标准值。 | |
2 | 碱性废气处理系统(酸液喷淋) | 本项目碱性废气排放口中颗粒物的排放执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2新污染源大气污染物排放标准中的二级标准;氨的排放执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2中的恶臭污染物排放标准值。 | G2碱性废气经过1套碱性废气处理系统(酸液喷淋)处理后通过1根35m排气筒高空排放。 | 碱性废气处理装置出口(◎2#)中颗粒物的最大排放浓度和最大排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2新污染源大气污染物排放标准中的二级标准;氨的最大排放速率符合《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2中的恶臭污染物排放标准值。 | |
3 | 有机废气处理系统(2套沸石转轮浓缩焚烧系统+1套备用活性炭吸附装置) | 本项目有机废气排放口中颗粒物、异丙醇(按非甲烷总烃评价)和丙酮(按非甲烷总烃评价)的排放执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2新污染源大气污染物排放标准中的二级标准;VOCS的排放执行**省《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3中的大气污染物排放限值。 | G3有机废气经过3套有机废气处理系统(2套沸石转轮浓缩焚烧系统及1套活性炭吸附装置)处理后通过3根35m排气筒高空排放,其中1套有机废气处理系统(活性炭吸附装置+1根35m排气筒)作为备用。G7食堂油烟依托芯联越州已建食堂油烟净化装置处理后达标排放。 | 有机废气处理装置出口(◎3#、◎4#)中颗粒物、异丙醇(按非甲烷总烃评价)和丙酮(按非甲烷总烃评价)的最大排放浓度和最大排放速率均符合《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2新污染源大气污染物排放标准中的二级标准;VOCS的最大排放浓度符合**省《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3中的大气污染物排放限值。 |
表3 噪声治理设施
1 | 基础减振 | 本项目厂界噪声东、北侧执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348-2008)3类标准;南、西侧执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348-2008)2类标准。 | 本项目生产设备位于洁净厂房内,声级较小,新增产噪设备主要为废气处理设备及风机等动力设备,企业生产依托现有厂区,通过合理规划厂区布局、将废气处理装置布置于楼顶上、高噪声设备安装基础减震、管道进出口配置气流消声器、加强设备维护、加强职工环保意识教育、增加厂区绿化等措施,确保厂界噪声满足环评中的噪声防治要求。 | 本项目厂界东、北侧噪声监测结果均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348-2008)3类标准;南、西侧噪声监测结果均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348-2008)2类标准。 |
表4 地下水污染治理设施
1 | 无 | 项目地下水检测的大部分因子(除耗氧量、氨氮外)均满足《地下水质量标准》(GB/T 14848-2017)中的Ⅳ类标准和《**市建设用地土壤污染状况调查、风险评估、风险管控与修复方案编制、风险管控与修复效果评估工作的补充规定(试行)》中第二类用地筛选值。根据项目环评内容,地下水耗氧量、氨氮指标未满足《地下水质量标准》(GB/T 14848-2017)中的Ⅳ类标准,主要原因为与区域背景值有关。 |
表5 固废治理设施
1 | 落实固废污染防治措施。规范设置危险废物和一般固废暂存库。做好危险废物的入库、存放、出库记录,并设置危险废物识别标志,做好防雨、防渗、防漏等工作。项目产生的各类废酸、废有机溶剂等危险废物须委托有相应危险度物处理资质的单位进行安全妥善处置。委托处置危险废物的,须按照有关规定办理危险废物转移报批手续。危险废物在厂区内暂存按《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)执行。一般固废贮存和处置必须符合《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》(GB18599-2020)等相关要求。 | 本项目固体废物包括一般固体废物、危险废物及职工生活垃圾。本项目依托芯联集成原有的1处危废仓库(面积约200m2);在芯联集成A2模组生产厂房一层已建废液收集罐区**了1处危废暂存间(面积约50m2)和1个废液收集罐(容积为13m3),在废酸碱间内新增了3个废液储罐(容积为5m3/个);污泥暂存区依托芯联越州污泥暂存****处理站内,面积约400m2)及一般固废间(依托芯联越州化学品库内已建独立一般固废暂存间,面积约200m2),用于暂存项目产生的各类危险废物及一般固体废物。危废堆场地面均进行了硬化、防渗处理,危险废物储存区均严格按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)建设,建有“浙固码”系统,危险废物分类分区堆放,设置有相应的标识牌,危废台账完整,满足规范化建设要求。本项目所有固体废物均分类收集,妥善处置。 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
1 | 落实环境风险防范与应急措施。按要求完善企业突发环境事件应急预案,在项目投运前报生态环境部门备案并按规定向社会发布,定期开展应急演习,设置足够容量的环境应急事故池。项目污染防治设施及危废贮存场所等,须与主体工程一起按照安全生产要求设计,并纳入本项目安全预评价,经相关职能部门审批同意后方可实施。有效防范因污染物事故排放或安全生产事故可能引发的环境风险,确保周边环境安全。 | 企业动力厂房2设有2个无机废水事故应急池(容积分别为1200m3及1500m3),****处理站下方设有1个的事故应急池(容积为5000m3),1个850m3的事故应急池可作为生产废水事故应急使用,动力厂房负一层设有2个的消防水池(容积为2400m3)。厂区设置雨水截止阀,并设置收集系统。 企业已编制突发环境污染事件应急预案,已于2023年4月25****环境局**分局备案(备案号:330****023013M)。公司的废水、废气处理设施有专门的管理人员进行管理,建立安全生产责任制,落实安全责任人,实行安全生产检查制度,且严格执行,不定期进行安全培训。 |
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
①本项目租用芯联集成现有已建生产厂房(A2模组生产厂房1)闲置区域实施生产。②本项目依托芯联集成部分辅助工程:常温循环冷却水系统、冷冻水系统、备用发电系统、锅炉系统和大宗气体供应。③本项目依托芯联越州部分储运工程:甲类库2和化学品库2;依托芯联集成部分储运工程:硅烷站和柴油罐区。④本项目依托芯联越州部分环保工程:含氟废水处理系统、含氨废水处理系统、综合废水中和系统和生活污水处理设施。⑤本项目依托芯联集成部分废气处理系统:锅炉烟气排风系统;依托芯联越州部分废气处理系统:废水处理站废气处理系统、食堂油烟处理系统。⑥本项目依托芯联越州已建一般固废暂存间和污泥仓库;⑦本项目依托芯联集成和芯联越州事故应急池;⑧本项目依****电站、依托芯联集成天然气调压装置、依托芯联越州市政供水管网。⑨本项目办公楼依托芯联越州已有办公楼、食堂依托芯联越州已有食堂、门卫依托芯联集成已有门卫、绿化建设依托芯联集成现有。 | 验收阶段落实情况:①本项目租用芯联集成现有已建生产厂房(A2模组生产厂房1)闲置区域实施生产。②本项目依托芯联集成部分辅助工程:常温循环冷却水系统、冷冻水系统、备用发电系统、锅炉系统和大宗气体供应。③本项目依托芯联越州部分储运工程:甲类库2和化学品库2;依托芯联集成部分储运工程:硅烷站和柴油罐区。④本项目依托芯联越州部分环保工程:含氟废水处理系统、含氨废水处理系统、综合废水中和系统和生活污水处理设施。⑤本项目依托芯联集成部分废气处理系统:锅炉烟气排风系统;依托芯联越州部分废气处理系统:废水处理站废气处理系统、食堂油烟处理系统。⑥本项目依托芯联越州已建一般固废暂存间和污泥仓库;⑦本项目依托芯联集成和芯联越州事故应急池;⑧本项目依****电站、依托芯联集成天然气调压装置、依托芯联越州市政供水管网。⑨本项目办公楼依托芯联越州已有办公楼、食堂依托芯联越州已有食堂、门卫依托芯联集成已有门卫、绿化建设依托芯联集成现有。 |
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环保搬迁
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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区域削减
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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生态恢复、补偿或管理
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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功能置换
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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其他
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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6、工程建设对项目周边环境的影响
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7、验收结论
1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
不存在上述情况 | |
验收结论 | 合格 |
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