深圳大学激光直写光刻机意向公开
****激光直写光刻机意向公开
| 采购单位: | **** |
| 项目名称: | 激光直写光刻机 |
| 预算金额（元）: | 4,900,000.000 |
| 采购品目: | 激光仪器 |
| 采购需求概况: | 激光直写光刻机需具备405nm 和375nm 两种激光光源，最小曝光结构尺寸需达到300nm，同时配备不少于三种曝光分辨率书写模式如600nm、900nm以及5um用于快速完成不同细节要求的结构；为满足多层结构加工需求，正面套刻需要保证对位精度，套刻精度不大于250nm；此外灰度曝光能力不低于4096阶，实现精细控制灰度曝光精度；可加工的尺寸应满足八寸片且向下兼容；售后需提供3年维保。 |
| 联系人: | 刘老师 |
| 联系电话: | 150****0059 |
| 预计采购时间: | 2024-10 |
| 备注: | 无 |
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