高真空控制系统
| 申购单主题： | 高真空控制系统 | 申购单位： | **** | 报价类型： | 国内含税价 |
| 使用币种： | 人民币 | 公示时间： | 2024-09-24 11:59:46 | ||
| 申购备注： |
| 高真空控制系统 | 中环电炉 | KS-200 | 1 | 厂家人员上门安装调试，现场施工及真空管路安装。故障及维护等24h内提供上门服务； |
| 规格 |
| 1. 极限真空度（冷态）：≤6.67x10-4 Pa； 2. 前级泵BSV60：真空度可达≤10 Pa（连接载体）； 3. 扩散泵KT200：真空度可达≤6.67x10-3 Pa（连接载体）； 4. 真空测量系统：复合真空计（含电阻硅和电离硅）； 5. 控制方式：可与其他设备联线，通过PLC触摸屏多点自动控制； 6. 其他配置：真空压差阀DDC-JQ50（防止因突然停电、机械泵油倒灌）一个、机械泵排气口接口一套，高真空挡板阀LJQ-200一件及Ф50真空挡板阀LJQ-50两件、电动充放气阀GDC-5/16KF两套、真空压力表DP-101A一个； 7. 真空管道与泵采用金属波纹软管快速接头联接； 8. 软件编程：可以工艺需求，现场编辑软件程序； |
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