高纯电子气体及半导体前驱体项目（二期）

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高纯电子气体及半导体前驱体项目（二期）

更新时间	2024年10月08日
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关键信息	电子气体半导体
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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
912********147165A	裴凯
郑学德	省市金普新区
省金普新****开发区纬一街7号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

高纯电子气体及半导体前驱体项目（二期）

2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造	C3985-C3985-电子专用材料制造
	省市金普新区 ****开发区纬一街7号
经度:121.7331 纬度: 39.41534	****环境局
	2022-06-02
大环评准字〔2022〕000025号	****
2024-08-22	20000
325	****
912********147165A	优然**公司
****0202MA0YM4HL9D	******公司
****0213MA11ACXD3M	2024-01-10
2024-01-12	2024-08-28
2024-08-30	2024-09-27
	https://gongshi.****.com/h5public-detail?id=412667

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

改扩建	改扩建
无变动

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

高纯电子气体（包括高纯氦、高纯氩、高纯氮、高纯三氟碘甲烷、高纯乙炔、高纯二氧化硫、高纯硫化氢、高纯一氧化氮、高纯三氟化硼11、乙硼烷混合气、硅磷烷混合气和氢锗烷混合气） 416.832t/a、半导体前驱体（包括高纯四甲基硅烷、高纯三甲基铝、高纯三硅基氨和高纯二氯硅烷）325t/a，其中高纯一氧化氮为扩产，其他产品均为新增	高纯电子气体（包括高纯氦、高纯氩、高纯氮、高纯三氟碘甲烷、高纯乙炔、高纯二氧化硫、高纯硫化氢、高纯一氧化氮、高纯三氟化硼11、乙硼烷混合气、硅磷烷混合气和氢锗烷混合气） 416.832t/a、半导体前驱体（包括高纯四甲基硅烷、高纯三甲基铝、高纯三硅基氨和高纯二氯硅烷）325t/a，其中高纯一氧化氮为扩产，其他产品均为新增
无变动

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

高纯氦：吸附→检测→充装；高纯氩：气化→吸附→检测→充装；高纯氮：气化→吸附→检测→充装；高纯三氟碘甲烷：过滤→脱轻精馏→脱重精馏→检测→充装；高纯乙炔：过滤→吸附→检测→充装；高纯二氧化硫：过滤→脱轻精馏→脱重精馏→检测→充装；高纯硫化氢：吸附→过滤→压缩→检测→充装；高纯一氧化氮：配置→合成→碱洗→干燥→常温吸附→深冷吸附→过滤→检测→充装；高纯三氟化硼11：冷凝1→冷凝2→检测→充装；乙硼烷混合气：合成→冷凝1→冷凝2→检测→充装；硅磷烷混合气：计量、混合；氢锗烷混合气：计量、混合；高纯三甲基铝：精馏→检测→充装；高纯三硅基氨：合成→过滤→一级精馏→二级精馏→三级精馏→检测→充装；高纯二氯硅烷：一级精馏→二级精馏→检测→充装；高纯四甲基硅烷：一级精馏→二级精馏→检测→充装。	乙硼烷混合气：合成→冷凝1→冷凝2→检测→充装；高纯三硅基氨：合成→过滤→一级精馏→二级精馏→三级精馏→检测→充装；其它产品工艺流程与环境影响报告书及其审批部门审批决定要求一致。
乙硼烷混合气合成工序取消了氦气置换，无置换废气产生；高纯三硅基氨溶剂回收工序进行了微调，甲苯由第三级精馏调整为第一级精馏工序回收再利用。在排污许可证重新申请过程中进行了论证，这两个产品生产工艺的变动不属于重大变动。

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

废水：新钢瓶清洗废水、地面清洁废水及经化粪池腐化的员工生活污水一起**处理站进行处理，处理后的尾水纯水制备浓水一起经厂区污水总排口排入市政污水管网，最处理厂进行集中处理。废气：高纯氦、高纯氩和高纯氮吸附剂再生废气收集后经15m高DA014排气筒排放；高纯二氧化硫不凝气采用“冷凝+一级碱液吸收”净化，净化后的尾气由15m高DA009排气筒排放；高纯三氟化硼11不凝气采用二级碱液吸收净化，净化后的尾气后由15m高DA009排气筒排放；高纯一氧化氮吸附剂再生废气采用“氧化+二级碱液吸收”净化，净化后的尾气后由15m高DA010排气筒排放；混合气置换废气依托现有项目混合气废气处理装置进行净化处理，净化后的尾气由15m高DA006排气筒排放；高纯三氟碘甲烷不凝气采用冷凝回收净化，净化后的尾气后由15m高DA011排气筒排放；高纯硫化氢吸附剂再生废气采用二级碱液吸收净化，净化后的尾气由15m高DA012排气筒排放；高纯三甲基铝采用“冷凝+活性炭吸附”净化，净化后的尾气后由15m高DA013排气筒排放；高纯二氯硅烷不凝气采用二级碱液吸收净化，净化后的尾气后由15m高DA013排气筒排放；高纯四甲基硅烷不凝气采用“冷凝+活性炭吸附”净化，净化后的尾气后由15m高DA013排气筒排放；乙硼烷混合气置换废气、气化废气和不凝气采用“焚烧(720℃，采用电加热)+一级碱液”净化，净化后的尾气由15m高DA014排气筒排放；高纯乙炔吸附剂再生废气和高纯三硅基氨不凝气采用“焚烧(720℃，采用电加热)+一级水吸收”净化，净化后的尾气后由15m高DA014排气筒排放。噪声：选用低噪声设备，设置隔振垫、减振器，设置隔声罩壳，设置独立封闭的真空泵房，厂房隔声，柔性连接及消音器等。一般工业固体废物：废干燥剂、废研磨石、废塑料膜和废包装袋等收集后暂存于厂区一般工业固废暂存间(位于固废库)，废干燥剂及废研磨石拟定垃圾场进行处理，污泥定期**处理厂家进行处理，其他一般工业固体废物定期出售给物资回收企业。按照国家规定的危险废物鉴别标准和鉴别方法予以认定的废物：废吸附剂和废滤芯经鉴别具有危险特性的，属于危险废物，应当根据其主要有害成分和危险特性确定所属废物类别，并按代码“900-000-XX”（XX为危险废物类别代码）进行归类管理。经鉴别不具有危险特性的，不属于危险废物，按照一般工业固体废物进行管理。鉴别之前按危险废物管理。危险废物：增设1台三效蒸发器用于处理本项目废液(包括高纯二氧化硫、高纯一氧化氮、高纯三氟化硼11、高纯硫化氢和高纯二氯硅烷产生的废吸收液和合成釜残)和现有项目废液(包括高纯一氧化氮和高纯氧硫化碳产生的废吸收液和合成釜残)；废吸收液(包括乙硼烷混合气和高纯三硅基氨)、精馏釜残、废碱液、废滤布、废活性炭、废滤饼、废盐、废母液、废机油和废油抹布等收集后暂存于厂区固废库，定期交由有资质单位进行无害化处置。	废水：新钢瓶清洗废水、地面清洁废水及经化粪池腐化的员工生活污水一起**处理站进行处理，处理后的尾水纯水制备浓水一起经厂区污水总排口排入市政污水管网，最处理厂进行集中处理。废气：高纯氦、高纯氩和高纯氮吸附剂再生废气收集后经15m高DA014排气筒排放；高纯二氧化硫不凝气采用“冷凝+一级碱液吸收”净化，净化后的尾气由15m高DA012排气筒排放；高纯三氟化硼11不凝气采用二级碱液吸收净化，净化后的尾气后由15m高DA012排气筒排放；高纯一氧化氮吸附剂再生废气采用“氧化+二级碱液吸收”净化，净化后的尾气后由15m高DA010排气筒排放；混合气置换废气依托现有项目混合气废气处理装置进行净化处理，净化后的尾气由15m高DA006排气筒排放；高纯三氟碘甲烷不凝气采用冷凝回收净化，净化后的尾气后由15m高DA008排气筒排放；高纯硫化氢吸附剂再生废气采用二级碱液吸收净化，净化后的尾气由17m高DA011排气筒排放；高纯三甲基铝采用“冷凝+活性炭吸附”净化，净化后的尾气后由17m高DA013排气筒排放；高纯二氯硅烷不凝气采用二级碱液吸收净化，净化后的尾气后由17m高DA013排气筒排放；高纯四甲基硅烷不凝气采用“冷凝+活性炭吸附”净化，净化后的尾气后由17m高DA013排气筒排放；乙硼烷混合气置换废气、气化废气和不凝气采用“二级碱液”净化，净化后的尾气由17m高DA015排气筒排放；高纯乙炔吸附剂再生废气依托现有混合气废气处理装置，采用“焚烧(720℃，采用电加热)+一级水吸收”净化，净化后的尾气后由15m高DA006排气筒排放；高纯三硅基氨不凝气采用“一级冷凝+二级碱吸收+一级酸吸收+一级水吸收”处理，处理后的尾气由17m高DA009排气筒排放。噪声：选用低噪声设备，设置隔振垫、减振器，设置隔声罩壳，设置独立封闭的真空泵房，厂房隔声，柔性连接及消音器等。一般工业固体废物：废干燥剂、废研磨石、废塑料膜和废包装袋等收集后暂存于厂区一般工业固废暂存间(位于固废库)，废干燥剂及废研磨石拟定垃圾场进行处理，污泥定期**处理厂家进行处理，其他一般工业固体废物定期出售给物资回收企业。按照国家规定的危险废物鉴别标准和鉴别方法予以认定的废物：废吸附剂和废滤芯做为危险废物收集后暂存于厂区固废库，定期交由有资质单位进行无害化处置。危险废物：废吸收液(包括乙硼烷混合气和高纯三硅基氨)、精馏釜残、废碱液、废滤布、废活性炭、废滤饼、废盐、废母液、废机油和废油抹布等收集后暂存于厂区固废库，定期交由有资质单位进行无害化处置。
DA011、DA013排气筒编号及排气筒高度增加，不属于重大变动。DA015排气筒高度发生变化，因工艺调整，生产装置无需进置换，废气中不产生非甲烷总烃，因此无需进行燃烧，对于氯化氢，碱液吸收装置由一级调整为二级，排气筒高度增加，不属于重大变动。高纯乙炔吸附再生废气依托现有混合气废气处理装置，净化后的尾气后由15m高DA006排气筒排放，处理工艺仍为“焚烧+一级水吸收”。高纯三硅基氨不凝气改由“一级冷凝+二级碱吸收+一级酸吸收+一级水吸收”，处理效率未发生变化，排气筒增加，不属于重大变动。污染治理措施调整说明见附件。需鉴别的废吸附剂和废滤芯做为危险废物收集、处置，未排入环境，不属于重大变动。三效蒸发器暂未建设，废液作危废进行处理，未排入环境，不属于重大变动。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

生活垃圾：生活垃圾采取袋装化，由当地环卫部门进行清运。事故池：厂区北部，地下池，有效容积479m3。初期雨水池：厂区北部，地下池，有效容积200m3。	生活垃圾：生活垃圾采取袋装化，由当地环卫部门进行清运。事故池：厂区北部，地下池，有效容积479m3。初期雨水池：厂区北部，地下池，有效容积200m3。
无变动

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）甲苯(吨/年)

0.1828	0.3707	0.5535	0.553	0.371
0.08	0.0825	0.7981	0.163	0.083
0.026	0.0234	0.1013	0.049	0.023
0	0	0	0	0
0	0	0	0	0
0	0	0	0	0	/
0	0	0	0	0	/
0.002	6	0.015	0.0033	6	/
0	0	0	0	0	/
0.0036	0.0094	0.488	0.0131	0.009	/
0	0.0019	0.0572	0.0019	0.002	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

污水处理站

《无机化学工业污染物排放标准》（GB 31573-2015）和《**省污水综合排放标准》（DB 21/1627-2008）

新钢瓶清洗废水、地面清洁废水及经化粪池腐化的员工生活污水一起****处理站进行处理，处理后的尾水纯水制备浓水一起经厂区污水总排口排入市政污水管网，最****处理厂进行集中处理

验收监测期间，项目排放废水中pH、COD、BOD5、SS、NH3-N、TN和氯化物的日均排放浓度最大值均能达到《无机化学工业污染物排放标准》（GB 31573-2015）间接排放限值和《**省污水综合排放标准》（DB 21/1627-2008****处理厂的水污染最高允许排放浓度限值中较严格的标准限值。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	高纯二氧化硫冷凝不凝气吸收装置	排放浓度执行《无机化学工业污染物排放标准》（GB 31573-2015），排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）	高纯二氧化硫不凝气采用“冷凝+一级碱液吸收”净化，净化后的尾气由15m高DA012排气筒排放	二氧化硫的排放浓度满足《无机化学工业污染物排放标准》（GB 31573-2015）限值，排放速率满《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）限值要求
2	高纯三氟化硼11尾气吸收装置	排放浓度执行《无机化学工业污染物排放标准》（GB 31573-2015），排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）	高纯三氟化硼11不凝气采用二级碱液吸收净化，净化后的尾气后由15m高DA012排气筒排放	二氧化硫和氟化物的排放浓度满足《无机化学工业污染物排放标准》（GB 31573-2015）限值，排放速率满《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）
3	高纯一氧化氮吸收塔	排放浓度执行《无机化学工业污染物排放标准》（GB 31573-2015），排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）	高纯一氧化氮吸附剂再生废气采用“氧化+二级碱液吸收”净化，净化后的尾气后由15m高DA010排气筒排放；	氮氧化物的排放浓度满足《无机化学工业污染物排放标准》（GB 31573-2015）限值，排放速率满《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）
4	混合气尾气处理装置	排放浓度执行《无机化学工业污染物排放标准》（GB 31573-2015），排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）	混合气置换废气依托现有项目混合气废气处理装置进行净化处理，净化后的尾气由15m高DA006排气筒排放	氯化氢的排放浓度满足《无机化学工业污染物排放标准》（GB 31573-2015）限值，排放速率满《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）
5	高纯三氟碘甲烷尾气冷凝器	排放浓度及速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）	高纯三氟碘甲烷不凝气采用冷凝回收净化，净化后的尾气后由15m高DA008排气筒排放	氟化物排放浓度及速率满《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）
6	高纯硫化氢吸收塔	排放浓度执行《无机化学工业污染物排放标准》（GB 31573-2015），排放速率执行《恶臭污染物排放标准》（GB 14554-93）	高纯硫化氢吸附剂再生废气采用二级碱液吸收净化，净化后的尾气由17m高DA011排气筒排放	硫化氢排放浓度满足《无机化学工业污染物排放标准》（GB 31573-2015）限值，排放速率满《恶臭污染物排放标准》（GB 14554-93）限值
7	高纯三甲基铝/高纯四甲基硅烷尾气吸附装置	排放浓度及排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）	高纯三甲基铝采用“冷凝+活性炭吸附”净化，净化后的尾气后由17m高DA013排气筒排放	非甲烷总烃的排放浓度及排放速率满《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）
8	高纯二氯硅烷尾气吸收装置	排放浓度执行《无机化学工业污染物排放标准》（GB 31573-2015），排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）	高纯二氯硅烷不凝气采用二级碱液吸收净化，净化后的尾气后由17m高DA013排气筒排放	氯化氢排放浓度满足《无机化学工业污染物排放标准》（GB 31573-2015）限值，排放速率满《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）
9	高纯四甲基硅烷尾气吸收装置	排放浓度及排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）	高纯四甲基硅烷不凝气采用“冷凝+活性炭吸附”净化，净化后的尾气由17m高DA013排气筒排放	非甲烷总烃排放浓度及排放速率满《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）
10	乙硼烷混合气尾气吸收措施	排放浓度执行《无机化学工业污染物排放标准》（GB 31573-2015），排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）	乙硼烷混合气置换废气、气化废气和不凝气采用“二级碱液”净化，净化后的尾气由17m高DA015排气筒排放	氯化氢的排放浓度满足《无机化学工业污染物排放标准》（GB 31573-2015）限值，排放速率满《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）
11	混合气尾气处理装置	排放浓度及排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）	高纯乙炔吸附剂再生废气依托现有混合气废气处理装置，采用“焚烧(720℃，采用电加热)+一级水吸收”净化，净化后的尾气后由15m高DA006排气筒排放	非甲烷总烃排放浓度及排放速率满《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）
12	高纯三硅基氨尾气处理装置	氯化氢排放浓度执行《无机化学工业污染物排放标准》（GB 31573-2015），排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）；甲苯的排放浓度及排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）；氨的排放浓度执行《无机化学工业污染物排放标准》（GB 31573-2015），排放速率执行《恶臭污染物排放标准》（GB 14554-93）	高纯三硅基氨不凝气采用“一级冷凝+二级碱吸收+一级酸吸收+一级水吸收”处理，处理后的尾气由17m高DA009排气筒排放	氯化氢的排放浓度满足《无机化学工业污染物排放标准》（GB 31573-2015）限值，排放速率满《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）限值；甲苯的排放浓度及排放速率满《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）；氨的排放浓度满足《无机化学工业污染物排放标准》（GB 31573-2015）限值，排放速率满《恶臭污染物排放标准》（GB 14554-93）限值。

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

减振、隔声

《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)

选用低噪声设备，设置隔振垫、减振器，设置隔声罩壳，设置独立封闭的真空泵房，厂房隔声，柔性连接及消音器等。

验收监测期间，本项目各厂界昼间和夜间噪声均达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中3类声环境功能区标准

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

一般工业固体废物：废干燥剂、废研磨石、废塑料膜和废包装袋等收集后暂存于厂区一般工业固废暂存间(位于固废库)，废干燥剂及废研磨石拟定****垃圾场进行处理，污泥定期****处理厂家进行处理，其他一般工业固体废物定期出售给物资回收企业。按照国家规定的危险废物鉴别标准和鉴别方法予以认定的废物：废吸附剂和废滤芯经鉴别具有危险特性的，属于危险废物，应当根据其主要有害成分和危险特性确定所属废物类别，并按代码“900-000-XX”（XX为危险废物类别代码）进行归类管理。经鉴别不具有危险特性的，不属于危险废物，按照一般工业固体废物进行管理。鉴别之前按危险废物管理。危险废物：增设1台三效蒸发器用于处理本项目废液(包括高纯二氧化硫、高纯一氧化氮、高纯三氟化硼11、高纯硫化氢和高纯二氯硅烷产生的废吸收液和合成釜残)和现有项目废液(包括高纯一氧化氮和高纯氧硫化碳产生的废吸收液和合成釜残)。

一般工业固体废物：废干燥剂、废研磨石、废塑料膜和废包装袋等收集后暂存于厂区一般工业固废暂存间(位于固废库)，废干燥剂及废研磨石拟定****垃圾场进行处理，污泥定期****处理厂家进行处理，其他一般工业固体废物定期出售给物资回收企业。按照国家规定的危险废物鉴别标准和鉴别方法予以认定的废物：废吸附剂和废滤芯做为危险废物收集后暂存于厂区固废库，定期交由有资质单位进行无害化处置。危险废物：废吸收液(包括乙硼烷混合气和高纯三硅基氨)、精馏釜残、废碱液、废滤布、废活性炭、废滤饼、废盐、废母液、废机油和废油抹布等收集后暂存于厂区固废库，定期交由有资质单位进行无害化处置。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

事故池：厂区北部，地下池，有效容积479m3 初期雨水池：厂区北部，地下池，有效容积200m3

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程