探针及探针卡产品研发及产业化项目
1、建设项目基本信息
企业基本信息
**** | 建设单位代码类型:|
****0100MA4L04HY0P | 建设单位法人:刘荣华 |
彭兰 | 建设单位所在行政区划:**省****开发区 |
****开发区流芳园南路22号 |
建设项目基本信息
探针及探针卡产品研发及产业化项目 | 项目代码:**** |
建设性质: | |
2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造 | 行业类别(国民经济代码):C3989-C3989-其他电子元件制造 |
建设地点: | **省**市**区 流芳园南路22号 |
经度:114.4576 纬度: 30.46085 | ****机关:****生态环境局 |
环评批复时间: | 2023-05-12 |
武新环告〔2023〕46号 | 本工程排污许可证编号:****0100MA4L04HY0P001X |
2023-06-19 | 项目实际总投资(万元):1700 |
55 | 运营单位名称:**** |
****0100MA4L04HY0P | 验收监测(调查)报告编制机构名称:**君邦****公司 |
914********422574W | 验收监测单位:****公司 |
****0100MAC1UEK33A | 竣工时间:2024-05-31 |
2024-06-03 | 调试结束时间:2024-07-26 |
2024-08-29 | 验收报告公开结束时间:2024-09-27 |
验收报告公开载体: | https://www.****.com/gs/detail/2?id=40829Zidhy |
2、工程变动信息
项目性质
扩建 | 实际建设情况:与环评一致 |
未变动 | 是否属于重大变动:|
规模
本项目实施后,主要产品为探针和探针卡,项目建成后包括面板部分相关高端探针和半导体探针卡生产两条生产线,实现年产8000万PCS探针及1500套探针卡的生产规模 | 实际建设情况:与环评一致 |
无变动 | 是否属于重大变动:|
生产工艺
本项目建成后包括面板部分相关高端探针和半导体探针卡生产两条生产线,其中面板部分相关高端探针生产线主要工序包括清洗、溅射、光刻 、金属生长、湿法刻蚀等,半导体探针卡生产线主要工序包括弯针、摆针、焊接、磨针和调针等。 | 实际建设情况:与环评一致 |
无变动 | 是否属于重大变动:|
环保设施或环保措施
1、废水:主要包括生活污水、食堂废水和纯水设备浓水。废水依托租赁厂房现有排水管网及污水治理设施,食堂废水经隔油池处理后,与生活污水、制纯水废水一起排入化粪池,处理达到《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1“间接排放”后排入市政污水管网,最****处理厂。 2、废气:本项目产生的各股废气经收集后通过新增一套“一级酸性喷淋+一级碱性喷淋+活性炭处理装置”处理后通过25m高排气筒排放。 3、噪声:选用低噪声设备,采取隔声、减振、消声等降噪措施。 4、固废:①生活垃圾:定期由环卫部门统一收**全处置,食堂餐厨垃圾及废油脂由食堂承包单位委托给相关资质单位回收利用。②一般工业固体废物:厂区一般固体废物主要为不合格品(不合格探针及不合格探针卡)、纯水制备反渗透膜、废靶材和废砂纸,产生的一般工业固体废物收集暂存于厂内一般工业固体废弃物暂存间,不合格品进行回收外售,其他一般固废委托其他单位处置。③危险废物:本项目产生的危险废物主要包括清洗废液、废显影液、废金属生长液、废腐蚀液、废光刻胶、废活性炭、废棉签、废烟雾净化滤芯和废喷淋液,均储存在专用容器内。本项目依托******公司已建危废暂存间(总面积15m2)部分区域用于本项目危废的暂存。 | 实际建设情况:与环评一致 |
无变动 | 是否属于重大变动:|
其他
项目环评阶段溅射工序采用铜靶材,用量28kg/a。 | 实际建设情况:实际生产过程新增使用钛靶材,钛靶材年用量为0.2kg/a。 铜靶材实际年用量为1kg/a。 |
实际生产过程中因为客户需求,项目溅射工序新增使用钛靶材,年用量约为0.2kg/a,溅射工序使用钛靶材不会导致新增污染物,且项目不新增其他涉及产污的原辅材料的类别,因此,不涉及污染物排放的增加。也不会导致废水第一类污染物排放增加。 | 是否属于重大变动:|
3、污染物排放量
0 | 0.0482 | 0 | 0 | 0 | 0.048 | 0.048 | |
0 | 0.024 | 0.031 | 0 | 0 | 0.024 | 0.024 | |
0 | 0.0024 | 0.0031 | 0 | 0 | 0.002 | 0.002 | |
0 | 0.0002 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
0 | 0.0072 | 0 | 0 | 0 | 0.007 | 0.007 | |
0 | 768 | 0 | 0 | 0 | 768 | 768 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0.302 | 0.851 | 0 | 0 | 0.302 | 0.302 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
1 | “隔油池+化粪池”(依托现有厂区) | 《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020) | 与环评一致 | 监测点位:厂区生产废水总排口;监测因子:pH、COD、SS、总氮、氨氮、总磷、动植物油;监测频次:4次/天×2天 |
表2 大气污染治理设施
1 | 新增一套“一级酸性喷淋+一级碱性喷淋+活性炭吸附”处理装置 | NMHC执行(武政规〔2022〕10号)中电子工业VOCs排放限值,即“NMHC50mg/m3”;氨执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93);硫酸雾、苯胺执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996) | 与环评一致 | 监测点位:废气排气筒出口;监测因子:NMHC、氨、硫酸雾、苯胺;监测频次:3次/天×2天 | |
2 | 油烟净化器(依托现有厂区) | 《饮食业油烟排放标准(试行)》(GB18483-2001) | 与环评一致 | 监测点位:食堂油烟排气筒;监测因子:油烟;监测频次:5次/天×2天 |
表3 噪声治理设施
1 | 基础减震、厂房隔声 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008) | 与环评一致 | 监测点位:厂界四周;监测因子:等效A声级;监测频次:昼间、夜间各监测1次,监测2天 |
表4 地下水污染治理设施
1 | 化学品在贮存、转运过程等环节需做好防风、防水、防渗措施,避免有害物质流失,禁止随意弃置、堆放原料; 涉及化学品物料储存的危险废物暂存间,污染防治措施均采取严格的硬化及防渗处理,与天然土壤隔离,以防止土壤环境污染; 对厂区采取污染控制和分区防渗措施。坚持“源头控制、分区防治、污染监控、应急响应”原则,采取主动控制和被动控制相结合,一旦发生渗漏等非正常情况,立即采取应急处理措施,切断污染源。 | 与环评一致 |
表5 固废治理设施
1 | 生活垃圾:定期由环卫部门统一收**全处置,食堂餐厨垃圾及废油脂由食堂承包单位委托给相关资质单位回收利用。 一般工业固体废物:厂区一般固体废物主要为不合格品(不合格探针及不合格探针卡)、纯水制备反渗透膜、废靶材和废砂纸,产生的一般工业固体废物收集暂存于厂内一般工业固体废弃物暂存间,不合格品进行回收外售,其他一般固废委托其他单位处置。 危险废物:本项目产生的危险废物主要包括清洗废液、废显影液、废金属生长液、废腐蚀液、废光刻胶、废活性炭、废棉签、废烟雾净化滤芯和废喷淋液,均储存在专用容器内。本项目依托******公司已建危废暂存间(总面积15m2)部分区域用于本项目危废的暂存,该区域纳入******公司管理范围,然后委托有资质单位安全处置,不对外排放,不会对周边环境产生影响 | 与环评一致 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
1 | 做好日常火灾风险防范 | 与环评一致 |
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
1、废水:本项目实施后废水主要包括生活污水、食堂废水和纯水设备浓水。废水依托租赁厂房现有排水管网及污水治理设施,食堂废水经隔油池处理后,与生活污水、制纯水废水一起排入化粪池,处理达到《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1“间接排放”后排入市政污水管网,最****处理厂。 2、固体废物:本项目生活垃圾依托项目租赁的******公司园区垃圾桶进行收集,最终由环卫部门统一清运;一般工业固废收集依托厂区内一般固废暂存间,****回收部门;危险废物分类、分区依托厂区内危废暂存间内,定期交由有资质的单位进行安全处置。 | 验收阶段落实情况:与环评一致 |
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环保搬迁
不涉及 | 验收阶段落实情况:不涉及 |
/ |
区域削减
不涉及 | 验收阶段落实情况:不涉及 |
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生态恢复、补偿或管理
不涉及 | 验收阶段落实情况:不涉及 |
/ |
功能置换
不涉及 | 验收阶段落实情况:不涉及 |
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其他
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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6、工程建设对项目周边环境的影响
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7、验收结论
1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
不存在上述情况 | |
验收结论 | 合格 |
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