清华大学2024年5至7月政府采购意向
****2024年5至7月政府采购意向
发布时间：2024-10-09 11:56:47 次
政府采购意向公告
********
2024
年
5
至
7
月政府采购意向
政府
采购意向
为便****政府采购信息
，
根据
《
财政部关于开展政
府采购意向公开工作的通知
》
（
财库
〔
2020
〕
10
号
）
等有关规定
，
现
将
****
清华大
学
202
4
年
5
至
7
月政府采购意向
采购意向公开如
下：
序
号
采
购
项
目
名
称
采购品目
采购需求概况
预算
金额
（万
元）
预计采
购时间
备注
1
氧
化
炉
A****069
9
其他试验仪
器及装置
一、采购需求概况应当包括：
1.
采
购标的名称：氧化炉
2.
采购标的需
实现的主要功能或者目标：氧化扩散
设备
，
薄膜厚度
：
5000A
3.
采购标的
数量：
1
4.
采购标的需满足的质量
、
服务、安全、时限等要求：质保期至
少
1
年
。
售后服务响应不超过
24
小时
（不区分工作日和节假日）
450
2024-08
2
介
质
干
A****069
9
其他试验仪
器及装置
一、采购需求概况应当包括：
1.
采
购标的名称：介质干法刻蚀机
2.
采
购标的需实现的主要功能或者目标
：
8
500
2024-08
法
刻
蚀
机
英寸向下兼容，介质刻蚀速率
≥
350nm/min
3.
采购标的数量：
1
4.
采购标的需满足的质量、服务、安
全、时限等要求：质保期至少
1
年。
售后服务响应不超过
24
小时
（
不区分
工作日和节假日）
3
金
属
干
法
刻
蚀
机
A****069
9
其他试验仪
器及装置
一、采购需求概况应当包括：
1.
采
购标的名称：金属干法刻蚀机
2.
采
购标的需实现的主要功能或者目标
：
8
英 寸 向 下 兼 容 ，
Al
刻 蚀 速 率
≥
600nm/min
3.
采购标的数量：
1
4.
采购标的需满足的质量、服务、安
全、时限等要求：质保期至少
1
年。
售后服务响应不超过
24
小时
（
不区分
工作日和节假日）
550
2024-08
4
金
属
氧
化
物
化
学
气
A****069
9
其他试验仪
器及装置
一、采购需求概况应当包括：
1.
采
购标的名称：金属氧化物化学气相沉
积
2.
采购标的需实现的主要功能或
者目标：化合物半导体生长工艺，沉
积速率
:
20nm/min
3.
采购标的数量
：
1
4.
采购标的需满足的质量、服务
、
安全
、
时限等要求
：
质保期至少
1
年
。
售后服务响应不超过
24
小时
（
不区分
850
2024-08
相
沉
积
工作日和节假日）
5
单
片
清
洗
机
A****069
9
其他试验仪
器及装置
一、采购需求概况应当包括：
1.
采
购标的名称：单片清洗机
2.
采购标
的需实现的主要功能或者目标：高温
工艺前清洗
，
CMP
之后清洗
3.
采购标
的数量：
1
4.
采购标的需满足的质
量、服务、安全、时限等要求：质保
期至少
1
年。售后服务响应不超过
2
4
小时（不区分工作日和节假日）
700
2024-08
6
槽
式
清
洗
系
统
A****069
9
其他试验仪
器及装置
一、采购需求概况应当包括：
1.
采
购标的名称：槽式清洗系统
2.
采购
标的需实现的主要功能或者目标
：
RC
A
标准清洗，沉积前清洗，深
层
Trench/Via
清洗
3.
采购标的数量
：
1
4.
采购标的需满足的质量、服务、
安全
、
时限等要求
：
质保期至少
1
年
。
售后服务响应不超过
24
小时
（
不区分
工作日和节假日）
450
2024-08
7
多
腔
室
A****069
9
其他试验仪
器及装置
一、采购需求概况应当包括：
1.
采
购标的名称：多腔室溅射系统
2.
采
购标的需实现的主要功能或者目标：
1100
2024-08
溅
射
系
统
多种金属薄膜的物理气相沉积
3.
采
购标的数量
：
1
4.
采购标的需满足的
质量、服务、安全、时限等要求：质
保期至少
1
年。售后服务响应不超
过
24
小时（不区分工作日和节假日）
8
原
子
层
沉
积
A****069
9
其他试验仪
器及装置
一、采购需求概况应当包括：
1.
采
购标的名称：原子层沉积
2.
采购标
的需实现的主要功能或者目标：氮化
物薄膜沉积
3.
采购标的数量
：
1
4.
采购标的需满足的质量
、
服务
、
安全
、
时限等要求：质保期至少
1
年。售后
服务响应不超过
24
小时
（
不区分工作
日和节假日）
250
2024-08
本次公开的****政府采购工作的初步安排
，
具体采
购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
****
2024-10-09
附件下载：
招标导航更多>>
工程建筑
交通运输
环保绿化
医疗卫生
仪器仪表
水利水电
能源化工
弱电安防
办公文教
通讯电子
机械设备
农林牧渔
市政基建
政府部门
换一批
换一批