年产20亿只集成电路生产线建设项目(先行)
1、建设项目基本信息
企业基本信息
**** | 建设单位代码类型:|
913********899004J | 建设单位法人:解文晴 |
徐洪祥 | 建设单位所在行政区划:**省**市越** |
**路81号 |
建设项目基本信息
**** | 项目代码:**** |
建设性质: | |
2021版本:080-电子器件制造 | 行业类别(国民经济代码):C3973-C3973-集成电路制造 |
建设地点: | **省**市越** **路81号 |
经度:120.65902 纬度: 29.98752 | ****机关:****环境局 |
环评批复时间: | 2021-11-22 |
绍市环越备〔2021〕21号 | 本工程排污许可证编号:913********899004J001Z |
2023-07-26 | 项目实际总投资(万元):19000 |
250 | 运营单位名称:**** |
913********899004J | 验收监测(调查)报告编制机构名称:**** |
913********899004J | 验收监测单位:******公司 |
913********588842H | 竣工时间:2023-09-30 |
2023-10-01 | 调试结束时间:2024-05-10 |
2024-08-29 | 验收报告公开结束时间:2024-09-26 |
验收报告公开载体: | http://haodahuanbao.com/newsdetail_****603.html |
2、工程变动信息
项目性质
** | 实际建设情况:** |
无 | 是否属于重大变动:|
规模
年产20亿只集成电路 | 实际建设情况:年产集成电路12亿只 |
先行验收 | 是否属于重大变动:|
生产工艺
贴片:使用自动粘片机将圆晶粒通过无铅锡丝、导电胶等与引线框架粘合成一体,此工序会有贴片废气产生,贴片废气经收集处理后高空排放。 打线:通过打线机将金线、铜线等连接晶片与引线框架,使其电特性导通。 烧结:打线后的晶粒进入电子隧道烧结机,在高温及氮氛围下,使锡膏熔化,完成焊接。烧结工序使用的氮气主要为液氨经氨分解炉分解制得。氨分解炉在800-850℃环境下,经镍基催化剂将氨分解为75%H2、25%N2,随后经氧化铜还原区还原,去除H2。经干燥、分子筛吸附纯化器,气体的露点可降至-60℃以下,残余氨可降至3PPM 以下。该工序有少量氨气、废催化剂、废分子筛产生。 塑封:将完成烧结的工件放入模具中,以冲压的方式将EMC塑封料注入模具中,在175℃温度下完成塑封,达到保护工件的作用。塑封废气经集气罩收集后进入废气处理装置进行处理。 老化:塑封后的半成品经充氮烘箱加热至170℃,在氮氛围下进行老化。老化工序使用的氮气为制氮机制得,制氮机采用分子筛空分法(PSA),可获得纯度较高的氮气。该工序有废分子筛产生。 电镀:老化后的工件需外协进行电镀加工,本项目不涉及。 切筋:切除框架外引脚之间的堤坝以及在框架带上连在一起的地方,将整片引线框架切割成为单个产品,并且将引脚弯成一定的形状,以配合装配的需要。该工序会有废边角料产生。 激光打标:利用激光在塑封体表面打印产品型号。 测试:对产品进行检验以及电特性测试,以判定产品是否符合规格和要求,此工序有不合格产品产生。 包装入库:对产品外观尺寸进行检测并按照要求将产品密封在卷带料管中,并包装入库。 | 实际建设情况:贴片:使用自动粘片机将圆晶粒通过无铅锡丝、导电胶等与引线框架粘合成一体,此工序会有贴片废气产生,贴片废气经收集处理后高空排放。 打线:通过打线机将金线、铜线等连接晶片与引线框架,使其电特性导通。 烧结:打线后的晶粒进入电子隧道烧结机,在高温及氮氛围下,使锡膏熔化,完成焊接。烧结工序使用的氮气主要为液氨经氨分解炉分解制得。氨分解炉在800-850℃环境下,经镍基催化剂将氨分解为75%H2、25%N2,随后经氧化铜还原区还原,去除H2。经干燥、分子筛吸附纯化器,气体的露点可降至-60℃以下,残余氨可降至3PPM 以下。该工序有少量氨气、废催化剂、废分子筛产生。 塑封:将完成烧结的工件放入模具中,以冲压的方式将EMC塑封料注入模具中,在175℃温度下完成塑封,达到保护工件的作用。塑封废气经集气罩收集后进入废气处理装置进行处理。 老化:塑封后的半成品经充氮烘箱加热至170℃,在氮氛围下进行老化。老化工序使用的氮气为制氮机制得,制氮机采用分子筛空分法(PSA),可获得纯度较高的氮气。该工序有废分子筛产生。 电镀:老化后的工件需外协进行电镀加工,本项目不涉及。 切筋:切除框架外引脚之间的堤坝以及在框架带上连在一起的地方,将整片引线框架切割成为单个产品,并且将引脚弯成一定的形状,以配合装配的需要。该工序会有废边角料产生。 激光打标:利用激光在塑封体表面打印产品型号。 测试:对产品进行检验以及电特性测试,以判定产品是否符合规格和要求,此工序有不合格产品产生。 包装入库:对产品外观尺寸进行检测并按照要求将产品密封在卷带料管中,并包装入库。 |
无 | 是否属于重大变动:|
环保设施或环保措施
项目厂区实行雨污分流,污废分流。雨水经收集后排入工业区雨水管网;项目生活污水中粪便污水经化粪池处理、含油废水经隔油处理后和其他生活污水一并进入污水管网,最终送至绍****公司处理至达标后排放。项目贴片、塑封、烧结工序产生的废气经收集后进入两级活性炭吸附净化处理装置处理达标后通过屋顶20米高排气筒高空排放。职工食堂厨房应安装油烟净化装置,油烟废气经治理后通过15m高排气筒排放。(1)在设计和设备采购阶段,应选用先进的、低噪声、低能耗和高效设备; (2)合理布置生产车间,把生产设备集中设置在生产车间的中间,厂界四周布置仓库等辅助用房对项目噪声进行阻隔; (3)选用螺杆型空压机,空压机单独设间,墙体敷设隔声、吸声材料;各管道采用软性连接,风机口加装消声器; (4)对生产设备的传动装置做好润滑,加强设备的维护保养,使设备处在最佳工作状态,避免因不正常运行所导致的噪声增大,从源头上削减噪声源强。项目各类危险废物收集后均委托有资质单位处置,危险废物转移应严格执行危险废物转移联单制度。 废边角料、不合格产品、废一般包装材料等一般固废经收集后出售综合利用。 生活垃圾收集袋装后委托当地环卫部门统一清运处置。 | 实际建设情况:项目厂区实行雨污分流,污废分流,雨水经收集后排入工业区雨水管网。项目产生的废水主要为员工生活污水。项目厕所粪便污水经化粪池预处理、食堂含油废水经隔油池预处理后与其他生活污水一起汇集达标后排入市政污水管网,最终送绍****公司处理。项目贴片废气、塑封废气和烧结废气经集气罩收集后通过两级活性炭吸附装置处理后通过20m排气筒达标排放。项目对生产车间设有通风换气设施,保证车间空气质量。项目噪声主要来自粘片机、键合机、塑封液压机、空压机等生产设备正常运行产生的噪声。企业对项目合理安排厂房布局,对高噪声的设备进行安装减震垫、加固等措施;对风机进出口安装匹配消声器;建立设备定期维护、保养的管理制度,保持厂界噪声达标排放。企业在厂区设有较为规范的一般固废暂存处和危废暂存间,对各类工业固废须进行分类收集和妥善处置。 项目废边角料、不合格产品、废一般包装材料****公司综合利用;废活性炭、废催化剂、废分子筛和废液压油经收集后分类暂存于厂区危废暂存间,并委托****清运处置;生活垃圾经****办事处清运处置。 |
无 | 是否属于重大变动:|
其他
项目实施后污染物排放量控制为:生活污水量1.08万吨/年、CODcr0.43吨/年、NH3-N0.03吨/年、VOCs0.06吨/年。 | 实际建设情况:项目废水排放总量为3916.8t/a,化学需氧量排放总量为0.47t/a,氨氮排放总量为0.119t/a。 符合环评总量控制要求:生活污水量1.08万吨/年、CODcr3.24吨/年(排环境量0.43吨/年)、NH3-N0.32吨/年(排环境量0.03吨/年)。 经计算,项目VOCs(非甲烷总烃)排放总量为0.0387t/a。 符合环评总量控制要求:VOCs≤0.06吨/年。 |
无 | 是否属于重大变动:|
3、污染物排放量
0 | 0.39 | 1.08 | 0 | 0 | 0.39 | 0.39 | |
0 | 0.47 | 3.24 | 0 | 0 | 0.47 | 0.47 | |
0 | 0.119 | 0.32 | 0 | 0 | 0.119 | 0.119 | |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0.0387 | 0.06 | 0 | 0 | 0.039 | 0.039 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
1 | 生活污水处理设施 | 《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4中的三级排放标准,其中氨氮、总磷执行**省地方标准DB33/887-2013《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》中“其它企业”的规定35mg/L、8mg/L,总氮执行《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)表1规定45mg/L。 | 项目厂区实行雨污分流,污废分流,雨水经收集后排入工业区雨水管网。项目产生的废水主要为员工生活污水。项目厕所粪便污水经化粪池预处理、食堂含油废水经隔油池预处理后与其他生活污水一起汇集达标后排入市政污水管网,最终送绍****公司处理。 | pH、CODcr、总氮、氨氮、总磷、SS,4次/天,监测2天 |
表2 大气污染治理设施
1 | 贴片、烧结、塑封废气处理设施 | 《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)中新污染源大气污染物排放限值中的二级标准要求 | 项目贴片废气、塑封废气和烧结废气经集气罩收集后通过两级活性炭吸附装置处理后通过20m排气筒达标排放。 | 非甲烷总烃、锡,3次/天,监测2天 | |
2 | 食堂油烟废气处理设施 | 《饮食业油烟排放标准(试行)》(GB18483-2001)中的中型油烟最高允许排放浓度标准要求 | 项目食堂油烟废气经集气罩收集后通过油烟净化器处理后通过20m排气筒达标排放。 | 油烟,5次/天,监测2天 |
表3 噪声治理设施
1 | 厂界噪声治理措施 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348-2008)中3类标准限值要求 | 项目噪声主要来自粘片机、键合机、塑封液压机、空压机等生产设备正常运行产生的噪声。企业对项目合理安排厂房布局,对高噪声的设备进行安装减震垫、加固等措施;对风机进出口安装匹配消声器;建立设备定期维护、保养的管理制度,保持厂界噪声达标排放。 | 昼间、夜间厂界噪声,1次/天,监测2天 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
1 | 项目各类危险废物收集后均委托有资质单位处置,危险废物转移应严格执行危险废物转移联单制度。 废边角料、不合格产品、废一般包装材料等一般固废经收集后出售综合利用。 生活垃圾收集袋装后委托当地环卫部门统一清运处置。 | 企业在厂区设有较为规范的一般固废暂存处和危废暂存间,对各类工业固废须进行分类收集和妥善处置。 项目废边角料、不合格产品、废一般包装材料****公司综合利用;废活性炭、废催化剂、废分子筛和废液压油经收集后分类暂存于厂区危废暂存间,并委托****清运处置;生活垃圾经****办事处清运处置。 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
环保搬迁
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
区域削减
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
生态恢复、补偿或管理
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
功能置换
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
其他
无 | 验收阶段落实情况:无 |
/ |
6、工程建设对项目周边环境的影响
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7、验收结论
1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
不存在上述情况 | |
验收结论 | 合格 |
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