6万吨/年芯片用超高纯电子级化学品项目(2万吨/年电子级蚀刻液装置)
1、建设项目基本信息
企业基本信息
**** | 建设单位代码类型:|
914********782802W | 建设单位法人:李少平 |
陈文铭 | 建设单位所在行政区划:******区 |
**市**区**大道66-3号 |
建设项目基本信息
6万吨/年芯片用超高纯电子级化学品项目(2万吨/年电子级蚀刻液装置) | 项目代码:|
建设性质: | |
2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造 | 行业类别(国民经济代码):C3985-C3985-电子专用材料制造 |
建设地点: | **省**市**区 兴发集团**新材料产业园 |
经度:111.42552 纬度: 30.56328 | ****机关:****环境局 |
环评批复时间: | 2020-04-22 |
宜市环审〔2020〕17号 | 本工程排污许可证编号:**** |
2023-09-14 | 项目实际总投资(万元):25680 |
240 | 运营单位名称:**兴福****公司 |
914********782802W | 验收监测(调查)报告编制机构名称:**华正****公司 |
914********708234C | 验收监测单位:**华正****公司 |
914********708234C | 竣工时间:2024-06-11 |
调试结束时间: | |
2024-09-10 | 验收报告公开结束时间:2024-10-14 |
验收报告公开载体: | https://www.****.com/gs/detail/2?id=40910JyhkH |
2、工程变动信息
项目性质
扩建 | 实际建设情况:扩建 |
无 | 是否属于重大变动:|
规模
电子级蚀刻液20000t/a(年产1万吨HFP蚀刻液和1万吨BOE蚀刻液) | 实际建设情况:电子级蚀刻液20000t/a(年产5000HFP蚀刻液和15000吨BOE蚀刻液) |
项目根据市场情况调整了各蚀刻液型号产量,总产能不变 | 是否属于重大变动:|
生产工艺
原料检验、混合调配、过滤、制程检验、分装、出货等工序 | 实际建设情况:原料检验、混合调配、过滤、制程检验、分装、出货等工序 |
无 | 是否属于重大变动:|
环保设施或环保措施
1、废水主要来源于装置、包材清洗废水,经工****处理站进行处理,与工业级双氧水装置废水排入有机硅污水处理装置进行生化处理,****处理厂;2、混配废气及电子级蚀刻液罐区废气经活性炭吸附塔处理后由15m高排气筒排放 | 实际建设情况:1、废水主要来源于装置、包材清洗废水,项目依托C****处理站集中处****处理厂2、混配废气及电子级蚀刻液罐区废气采用碱洗+水洗+21m排气筒 |
1、依托污水处理装置发生变化,均属于间接排放口,不增加废水污染物排放种类及排放量,不属于重大变动;2、废气处理设施发生变化,排气筒高度增加。废气污染物为氟化物,采用两级洗涤塔处理后进一步减少污染物的排放,不属于重大变动 | 是否属于重大变动:|
其他
1、建设BOE蚀刻液成品罐2个5m3;HFP蚀刻液成品罐3个20m3;2、建设磷酸储罐3个50m3;氟化铵储罐2个50m3;氢氟酸储罐2个20m3;添加剂储罐2个10m3;表面活性剂储罐2个5m3;3、依托电子级配方型化学品原料仓库 | 实际建设情况:1、项目HFP桶装贮存在丙类仓库5#库房;BOE桶装贮存在丙类仓库5#库房;2、建设了磷酸储罐1个50m3;氢氟酸储罐1个50m3;氟化铵储罐1个50m3;添加剂桶装贮存在丙类仓库4#库房;3、建设了2个化学品库(甲类、丙类)和1个丁类仓库 |
1、蚀刻液储存位置及储存方式发生变化,减少了储罐无组织排放废气,不属于重大变动;2、减少了磷酸储罐、氟化铵储罐数量;氢氟酸储罐由2个20m3变更为1个50m3;添加剂储存位置及储存方式发生变化;无表面活性剂储罐。变动后不增加储罐无组织排放废气,不属于重大变动;3、目前已建仓库的储存能力不够,**了配套设施,不改变项目性质、规模,不新增废水、废气污染物,本项目物料储存总量不增加,不属于重大变动 | 是否属于重大变动:|
3、污染物排放量
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4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
1 | 污水处理设施 | 《污水综合排放标准》(GB8978-1996)中三****处理厂接管标准 | 本项目储罐及设备清洗废水、尾气洗涤塔废水依托C****处理站集中处****处理厂 | 本次验收对项目C****处理站排口进行了监测 |
表2 大气污染治理设施
1 | 碱洗塔+水洗塔废气 | 《大气污染综合排放标准》(GB16297-1996)表2二级及无组织排放监控浓度标准 | 本项目安装了1套碱洗塔+水洗塔废气处理装置,混合调配过程的氟化物废气经收集处理后通过21m排气筒排放 | 本次验收对有组织排放废气(电子级蚀刻液废气排气筒)及无组织排放废气(围绕项目区域上风向设置1个监测点位,下风向设置3个监测点位)进行了监测 |
表3 噪声治理设施
1 | 隔声减振措施 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)表1中3类 | 本噪声主要为各类生产设备及风机、泵、冷却塔等设备运行过程中产生的噪声。通过①选用优质、低噪的生产设备;②通过隔声、吸声、消声及减振等降噪;③合理进行总体布局,利用建筑物、构筑物隔声等方式进行降噪 | 围绕厂界四周共布设4个监测点位 |
表4 地下水污染治理设施
1 | 加强土壤、地下水污染防治。厂区应采取严格的分区防渗措施﹐项目厂区重点防渗区和一般防渗区应按规范建设防渗工程。其中重点防渗区包括生产车间、化学品原辅材料贮存、污水收集、处理及输送系统、危废暂存间等。建立地下水环境监测管理体系,项目投入运营后应按计划做好土壤、地下水等周边环境质量监测工作,并依法向社会公开 | 项目采取了分区防渗措施,生产车间、灌装站、危化品库为重点防渗区,采用了1.5m厚粘土层(渗透系数≤10-7cm/s)等效的防渗处理;丁类仓库等为一般防渗区,采用了中粗砂、碎石或混凝土垫层。项目制定了监测计划,委托有资质检测单位对厂区土壤、地下水进行跟踪监测。 |
表5 固废治理设施
1 | 严格落实固体废物污染防治措施。按照“**化、减量化、无害化”的处理处置原则,落实各项固体废物污染防治措施。废滤膜、废树脂、废滤芯、废活性炭等危险废物应委托具有相应资质的单位安全妥善处置,并严格执行危险废物申报登记和转移联单制度。危险废物临时贮存场所建设必须符合《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)标准规范及其修改单相关要求 | 项目依托C区危险废物暂存间,废滤芯经收集后交有资质单位处置,执行了危险废物申报登记和转运联单制度 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
1 | 落实环境风险防范各项措施。重点针对厂内生产设施、三氧化硫、硫酸、磷酸贮运等可能产生的有毒有害物质泄漏、大气污染物的产生与扩散以及可能引发的事故风险,建立健全风险防控体系和事故排放污染物收集系统,确保事故情况下污染物不排入外环境。储罐周边设置围堰和导流设施,围堰外设置阀门切换井,项目事故水池依托厂区现有事故应急池,以满足项目事故废水的收集要求。制定突发环境事件应急预案并备案,定期开展环境风险应急防范预案演练,****政府建立应急联动机制,杜绝环境污染事故发生 | 项目依托C区3000m3事故水池;项目设置了消防沙池,配备了灭火器材,开展了企业环境风险评估和环境应急**调查,编制了突发环境事件应急预案并备案,定期开展演练 |
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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环保搬迁
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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区域削减
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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生态恢复、补偿或管理
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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功能置换
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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其他
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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6、工程建设对项目周边环境的影响
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7、验收结论
1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
不存在上述情况 | |
验收结论 | 合格 |
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