光刻机(Nikon NSR 1505G6
****2024年11月政府采购意向-光刻机(Nikon NSR 1505G6 详细情况
光刻机(Nikon NSR 1505G6 | |
项目所在采购意向: | ****2024年11月政府采购意向 |
采购单位: | **** |
采购项目名称: | 光刻机(Nikon NSR 1505G6 |
预算金额: | 180.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****0300 |
采购需求概况 : | 本项目拟采购1台光刻机:分辨率0.8μm、套刻精度150nm、Stepping精度110nm。 经过详细调研与反复确认尼康 NSR1505G6型光刻机,具有完备的系统组成,包含了整机框架与控制体、曝光光学系统、掩膜台、掩膜传输、工件台、工件、对准、调焦调平、减震、环境等完整的功能子集,在性能上也具备了优秀的精度和稳定性表现,****学校的培训与培养需求。 |
预计采购时间: | 2024-11 |
备注: |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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