芯源微临港研发及产业化项目
1、建设项目基本信息
企业基本信息
**** | 建设单位代码类型:|
****0000MA1H3K4W2B | 建设单位法人:崔晓微 |
陈周银 | 建设单位所在行政区划:**市自贸区临港新片区 |
**市**区临港新片区飞渡路1388号 |
建设项目基本信息
芯源微临港研发及产业化项目 | 项目代码:|
建设性质: | |
2021版本:070-采矿、冶金、建筑专用设备制造;化工、木材、非金属加工专用设备制造;食品、饮料、烟草及饲料生产专用设备制造;印刷、制药、日化及日用品生产专用设备制造;纺织、服装和皮革加工专用设备制造;电子和电工机械专用设备制造;农、林、牧、渔专用机械制造;医疗仪器设备及器械制造;环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造 | 行业类别(国民经济代码):C3562-C3562-半导体器件专用设备制造 |
建设地点: | **市自贸区临港新片区 飞渡路1388号 |
经度:121.80734 纬度: 30.87646 | ****机关:中国(**)自由贸易****管理委员会 |
环评批复时间: | 2021-12-17 |
沪自贸临管环保许评〔2021〕113号 | 本工程排污许可证编号:无 |
项目实际总投资(万元): | 64000 |
1201 | 运营单位名称:/ |
/ | 验收监测(调查)报告编制机构名称:**** |
****0000MA1H3K4W2B | 验收监测单位:****集团****公司,通标标准技术****公司 |
913********281069C,913********465707Q | 竣工时间:2024-03-15 |
2024-04-15 | 调试结束时间:2024-09-10 |
2024-09-19 | 验收报告公开结束时间:2024-10-21 |
验收报告公开载体: | https://e2.****.cn/jsp/view/jsxmInfo_edit.jsp?id=3E2B849AEAC743C8A3B8E9A3B026954D |
2、工程变动信息
项目性质
本项目为**项目,主要从事设备研发、生产、销售与服务 | 实际建设情况:本项目为**项目,主要从事设备研发、生产、销售与服务 |
无 | 是否属于重大变动:|
规模
项目生产涂胶显影机、单片式化学清洗机各12台/年,研发内容主要包括产品验证和工艺研发,用于获得更优的设备参数,为设备生产所服务 | 实际建设情况:项目生产单片式化学清洗机12台/年,研发内容主要包括产品验证和工艺研发,用于获得更优的设备参数,为设备生产所服务 |
由于发展规划调整,项目建设规模减小,取消涂胶显影****研发部分内容,并减小化学清洗机设备工艺研发规模 | 是否属于重大变动:|
生产工艺
本项目包括涂胶显影机、单片式化学清洗机的制造和研发,均在生产厂房南区开展,生产厂房北区主要为预留生产车间。本项目生产的涂胶显影机、化学清洗机应用于集成电路制造,对洁净度要求很高,设备组装、调试及研发实验过程均在无尘室中进行。 本项目设备制造生产模式是机械-电气-电子-软件一体化的组装与调试,所有零部件和元器件散件都是外协加工或直接采购,经过物理检测后,经过组装、软件控制、系统调试与检验,形成产品。本项目工艺研发实验在生产厂房南区二层新品车间和工艺间内进行。研发实验采用自主生产的设备,通过模拟在客户现场生产加工晶圆的过程,调整及尝试设备运行的各项工艺参数,对处理后的晶圆进行性能检测,以验证实验方案条件下设备参数是否合适。 | 实际建设情况:本项目包括单片式化学清洗机的制造和研发,均在生产厂房南区开展,生产厂房北区主要为预留生产车间。本项目生产的化学清洗机应用于集成电路制造,对洁净度要求很高,设备组装、调试及研发实验过程均在无尘室中进行。 本项目设备制造生产模式是机械-电气-电子-软件一体化的组装与调试,所有零部件和元器件散件都是外协加工或直接采购,经过物理检测后,经过组装、软件控制、系统调试与检验,形成产品。本项目工艺研发实验在生产厂房南区二层新品车间和工艺间内进行。研发实验采用自主生产的设备,通过模拟在客户现场生产加工晶圆的过程,调整及尝试设备运行的各项工艺参数,对处理后的晶圆进行性能检测,以验证实验方案条件下设备参数是否合适。 |
化学清洗机工艺研发方案优化:(1)清洗药剂调整:根据对工艺研发方案的优化与细化设计,化学清洗机工艺研发使用的原辅料用量及种类均有不同程度减少,取消硝酸、磷酸、丙酮、缓蚀液BOE、显影液、光刻胶去除剂等物料的使用。 (2)管路冲洗工艺调整:原环评中使用化学品冲洗管路的过程改为使用纯水进行管路冲洗,使用的原辅料用量相应减小,此部分纯水管路冲洗水排入含氟废水处理系统处理后排放,不新增废水污染物种类,仅新增水量。 (3)研发设备型号变化,新机型设备废气排放方式不设置三通阀,合并排放,由此新增1台水洗式本地废气处理装置:由于市场需求变化,为匹配市场需求,研发设备其中1台型号调整(以下简称“客户机”),该机型废气排放仅一路去向,不同于其他机型三通阀切换方式(酸、碱、有机废气分别进入对应废气系统)。考虑该机型研发工艺大部分以酸为主,少量使用氨水和异丙醇,比例约为:99%酸(硫酸、氢氟酸、盐酸)、0.5%异丙醇、0.5%氨水,故新增1套水洗式本地废气处理设施(使用纯水),对使用异丙醇、氨水过程中挥发产生的有机废气、碱性废气进行针对性处理后,接入酸性废气处理系统进一步处理后通过DA002排气筒排放。该机型研发实验过程产生的废水去向与原环评一致,水洗式本地废气处理设施排水接入酸碱废水处理系统处理后排放。 | 是否属于重大变动:|
环保设施或环保措施
废气:生产厂房南区: 有机废气处理系统,二级活性炭吸附塔,设计处理能力32500 m3/h,通过25m高DA001排气筒排放;酸性废气处理系统,两级碱洗塔,设计处理能力39000 m3/h,通过25m高DA002排气筒排放;碱性废气处理系统,两套两级酸洗塔,单套处理能力分别为39000 m3/h和13000 m3/h,合并通过1根25m高DA003排气筒排放; 食堂油烟废气经油烟净化器处理后,通过专用排油烟井道排放至屋顶25m高DA004排气筒排放; 应急柴油发电机废气配套1根15m高排气筒。 废水: 研发实验过程产生废水、废气洗涤塔废水经厂内废水站处理后,纳管排放。其他生产废水总排口处纳管排放。废水站共设置3套废水处理系统:氨氮废水处理系统,采用吹脱法,处理能力1.5 m3/h; 含氟废水处理系统,采用氟化钙化学沉淀法,处理能力2.5 m3/h; 酸碱废水处理系统,采用酸碱中和法,处理能力8 m3/h。 生活污水:经格栅池处理后,总排口纳管排放。 食堂含油污水:经隔油池处理后,总排口纳管排放。 | 实际建设情况:废气:生产厂房南区: 有机废气处理系统,二级活性炭吸附塔,设计处理能力32500 m3/h,通过25m高DA001排气筒排放; 酸性废气处理系统,两级碱洗塔,设计处理能力39000 m3/h,通过25m高DA002排气筒排放; 碱性废气处理系统,两级酸洗塔,处理能力为39000 m3/h,通过1根25m高排气筒DA003排放; 食堂油烟废气经2套油烟净化器处理后,分别通过专用排油烟井道排放至屋顶15m高DA004、DA005排气筒排放; 应急柴油发电机废气配套1根15m高排气筒。 废水: 研发实验过程产生废水、废气洗涤塔废水经厂内废水站处理后,纳管排放。其他生产废水总排口处纳管排放。废水站共设置3套废水处理系统:氨氮废水处理系统,采用吹脱法,处理能力1 m3/h; 含氟废水处理系统,采用氟化钙化学沉淀+折点加氯法,处理能力1.5 m3/h; 酸碱废水处理系统,采用酸碱中和法,处理能力8 m3/h。 生活污水:经格栅池处理后,总排口纳管排放。 食堂含油污水:经隔油池处理后,总排口纳管排放。 |
废水处理系统优化调整:(1)增加高浓度废水分质收集槽:变动后本项目生产废水主要来自化学清洗机研发实验过程,考虑到研发实验产污的不稳定性,企业对废水收集方案进行优化调整,新增6个高浓度废水收集槽:包括新增1个500L高浓度酸碱废水收集槽、2个2500L高浓度含氟废水收集槽、3个2000L高浓度含氨废水收集槽,对高浓度、低浓度废水进行分质分流收集。各废水去向废水处理系统与原环评一致,仅废水处理系统新增高浓度废水缓冲罐。 各废水处理系统均和池设置浓度监测仪表进行监测,避免突发情况下实验废水浓度过高对废水系统造成冲击。高浓度含氟废水收集槽和高浓度含氨废水收集槽设置委外泵,当发生废水处理系统故障等应急状态下高浓度废水收集槽内废水由泵排出作为危废处置。 (2)废水处理系统规模调整:对原废水处理系统方案重新评估后进行调整,含氟、氨氮废水处理系统均和池原设计为5m3,考虑前端实验排水冲击负荷的影响,扩大含氟、氨氮废水处理系统均和池容积,实际建设含氟、氨氮废水处理系统均和池容积均为10m3,同时结合各类废水量进行评估,氨氮废水处理系统处理能力由1.5 m3/h调整为1 m3/h,含氟废水处理系统处理能力由2.5 m3/h调整为1.5 m3/h,各废水处理系统的处理工艺与原环评一致,无变化,变动后废水处理系统仍能满足现阶段废水处理需求,分析详见表 3.1 4。 (3)氨氮废水处理系统新增折点加氯工艺:考虑含氟废水中的氨氮没有经过氨氮废水处理系统处理,为保证含氟废水处理系统出水氨氮达标,在含氟废水处理系统末端新增一道折点加氯工艺作为保障措施,去除废水中的氨氮,新增废水加药药剂次氯酸钠的使用。 | 是否属于重大变动:|
其他
按照排污许可管理有关规定,纳入排污许可管理的单位,应当在启动生产设施或者在实际排污之前申请或变更排污许可证。 | 实际建设情况:本项目属于排污登记管理,已填报并提交排污登记表(登记编号****)。 |
1、化学品周转桶由原厂家回收 原环评中本项目产生的危险废物中废化学品包装最大年产生量为50吨,计划将化学品的200L周转桶交由原厂家回收,再次盛装相同化学品发往客户,已与化学品供应商签订周转桶回收协议。参考中华人民**国生态环境部关于产品周转桶是否属于固体废物的咨询函的回复(https://www.****.cn/hdjl/hfhz/202001/t****0116_759697.shtml),“在企业具备产品周转桶清洗能力的前提下,沾染了微量产品的周转桶可以认为是“不需要修复和加工即可用于其原始用途的物质”,即不作为固体废物管理”。 2、取消有机废气排气筒自动监测装置 原环评根据《**市固定污染源挥发性有机物在线监测体系建设方案》(沪环保总[2018]231号),由于有机废气系统排口风量为25000m3/h,大于1万m3/h,对本项目DA001有机废气排气筒提出安装VOCs自动监测装置的要求。 我司目前未被纳入重点排污单位,结合现行法律法规,不属于《**市固定污染源自动监控系统建设、联网、运维和管理有关规定》(沪环规〔2022〕4号)适用范围,无需提出DA001有机废气排气筒提出安装VOCs自动监测装置的要求。后续若纳入大气重点排污单位名录,将按照有关要求开展VOCs自动监测装置的建设、联网、运维等工作。 3、调整食堂油烟排口高度并新增1套油烟净化器 我司食堂规划调整,分隔2个区域进行烹饪,规模与原环评一致,最大容纳就餐人数仍为300人,食堂油烟由环评通过1套油烟净化器后由1根25m高排气筒排放,变更为2个区域的食堂油烟分别通过1套油烟净化器及1根15m高的排气筒排放。 4、蒸汽供热形式调整 ****园区建设的蒸汽管网提供蒸汽进行供热,由于园区蒸汽管网未建成,通过企业**锅炉项目提供蒸汽进行供热。我司**锅炉项目单独立项,对照《〈建设项目环境影响评价分类管理名录〉**市实施细化规定(2021年版)》(沪环规[2021]11号),锅炉为环评手续豁免,**锅炉项目不在本项目验收范围内。 | 是否属于重大变动:|
3、污染物排放量
0 | 2.94 | 3.45 | 0 | 0 | 2.94 | 2.94 | |
0 | 0.41 | 7.995 | 0 | 0 | 0.41 | 0.41 | |
0 | 0.006 | 0.418 | 0 | 0 | 0.006 | 0.006 | |
0 | 0.007 | 0.01 | 0 | 0 | 0.007 | 0.007 | |
0 | 0.23 | 0.26 | 0 | 0 | 0.23 | 0.23 | |
0 | 6500 | 13975 | 0 | 0 | 6500 | 6500 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0.011 | 0.445 | 0 | 0 | 0.011 | 0.011 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
1 | 氨氮废水处理系统 | 《污水综合排放标准》(DB31/199-2018)三级标准 | 处理工艺为“两级吹脱”,设计处理能力为1m3/h | 氨氮废水处理系统对氨氮的去除率为81.1%~91.8%,对总氮的去除率为77.9%~91.4%,对pH有调节效果。氨氮废水处理系统监测的两天氨氮日均出口浓度分别为37.9mg/L与38.7mg/L,满足原设计控制氨氮废水处理系统氨氮出水浓度≤45mg/L的要求。 | |
2 | 含氟废水处理系统 | 《污水综合排放标准》(DB31/199-2018)三级标准 | 处理工艺为“混凝沉淀+折点加氯”,设计处理能力为1.5m3/h | 含氟废水处理系统对氟化物的去除率为99.9%,对pH有调节效果。含氟废水处理系统监测的两天氟化物日均出口浓度分别为0.204mg/L、0.196mg/L,满足原设计控制含氟废水处理系统氟化物出水浓度≤20mg/L的要求。 | |
3 | 酸碱废水处理系统 | 《污水综合排放标准》(DB31/199-2018)三级标准 | 处理工艺为“酸碱中和”,设计处理能力为40m3/h | 酸碱废水处理系统对pH有调节效果。酸碱废水处理系统监测的两天pH出口范围为7.5~8,满足原设计酸碱废水处理系统pH出水控制在6~9的要求。 |
表2 大气污染治理设施
1 | 有机废气处理系统 | 《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015) | 处理工艺为“两级活性炭”,设计处理规模为32500m3/h | 排气筒DA001处非甲烷总烃、异丙醇排放满足**市《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015) | |
2 | 酸性废气处理系统 | 《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)、《恶臭(异味)污染物排放标准》(DB31/1025-2016) | 处理工艺为“两级碱喷淋”,设计处理规模为39000m3/h | 酸性废气治理设施监测了氟化物、硫酸雾、氯化物、氨的进出口浓度,对氨的处理效率为48.4%~53.8%,酸性废气治理设施主要处理对象不是氨,原环评中未对氨提出处理效率要求;酸性废气治理设施氟化物、硫酸雾进出口浓度均未检出,无法评价;酸性废气治理设施氯化氢进口浓度均未检出,除第1次出口浓度检出为0.21 mg/m3外均未检出,氯化氢检出限为0.2 mg/m3,由于进出口采样时间跨度与流速等对进出口检测结果对应情况的偏差影响,不对氯化氢处理效率进行评价。排气筒DA002处氯化氢、氟化物、硫酸雾、异丙醇、非甲烷总烃排放,DA001、DA002等效排气筒非甲烷总烃排放速率均满足**市《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015),排气筒DA002处氨、臭气浓度排放,DA002、DA003等效排气筒氨排放速率均满足《恶臭(异味)污染物排放标准》(DB31/1025-2016) | |
3 | 碱性废气处理系统 | 《恶臭(异味)污染物排放标准》(DB31/1025-2016) | 处理工艺为“两级酸喷淋”,设计处理规模为39000m3/h | 碱性废气治理设施监测了氨的进出口浓度,对氨的的处理效率为3.2%~52.3%,由于监测期间碱性废气治理设施氨进口浓度范围为0.31~0.86mg/L,对比原环评氨预计进口浓度为30mg/L,监测期间氨进口浓度较低,故未达到原环评设计处理效率。排气筒DA003处氨、臭气浓度排放,DA002、DA003等效排气筒氨排放速率均满足《恶臭(异味)污染物排放标准》(DB31/1025-2016) | |
4 | 油烟净化器 | 《餐饮业油烟排放标准》(DB31/844-2014) | 共2套,单套设计处理规模为35000m3/h | 排气筒DA004、DA005处餐饮油烟满足《餐饮业油烟排放标准》(DB31/844-2014)。 |
表3 噪声治理设施
1 | 降噪措施 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的3类区 | 选用低噪声设备、设置减振基础、采用柔性连接、建筑隔声等 | 验收监测期间,四周厂界昼夜噪声能够达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的3类区排放限值要求。 |
表4 地下水污染治理设施
1 | 采取分区防渗。地下废水池防渗等级满足《环境影响评价技术导则 地下水环境》(HJ610-2016)中一般防渗区防渗技术要求(等效粘土防渗层Mb≥1.5m,渗透系数K≤1×10-7cm/s;或参照GB16889执行),其他生产区域满足一般防渗区防渗技术要求(一般地面硬化)。 | 厂区已按环评要求落实分区防渗。 |
表5 固废治理设施
1 | 固体废物分类收集贮存,配建库房内设置固废库、危废库各1间。 一般工业固废:委托专业物资单位回收处理; 危险废物:委托相关危废资质单位外运处置; 生活垃圾:由环卫部门清运。 | 固体废物分类收集贮存,配建库房内设置固废库、危废库各1间。各固体废物去向与环评要求一致。 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
1 | 1、水环境风险防范措施 (1)截流措施 配建仓库化学品贮存区域(包括有机库、碱类库、酸类库),及生产车间化学品存放区、废液收集间、废水处理区域、纯水系统区域等房间内设置托盘、地沟,储罐周边设置围堰,配备应急泵。 针对废液储罐设置液位侦测器,一旦检测液位变化异常可立即报警,并可通过系统设置执行相关联锁控制动作。 厂区两个雨水排放口均拟设置闸板阀。 (2)事故废水收集措施 本项目在配建库房地下设置有1个350m3应急事故水池,可用于收集配建仓库发生事故状态下产生的事故废水、消防废水等。 2、大气环境风险防范措施 本项目涉及异丙醇、丙酮、光刻胶、光刻胶稀释剂等易燃、可燃有机化学品,在上述有机化学品存放区域均设置可燃气体报警仪。配建仓库化学品贮存区域(包括有机库、碱类库、酸类库)及生产厂房相关区域设置事故排风系统,正常情况下每小时换气6次,事故状态下每小时换风12次。 3、应急措施 在配建库房、生产厂房各危险单元内配置适量的应急物资,如废液收集桶、吸附棉、应急泵等应急处理物资,防化服、防毒面罩等个人防护物质等。 要求工作人员持证上岗,在日常生产运营中对操作人员进行相关培训,降低因人员操作失误导致化学品泄漏的可能性,并定期开展应急演练,保障事故状态下可迅速反应开展应急处置。 | 厂区已按环评要求落实各项风险防范措施。 |
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
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环保搬迁
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区域削减
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生态恢复、补偿或管理
/ | 验收阶段落实情况:/ |
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功能置换
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其他
/ | 验收阶段落实情况:/ |
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6、工程建设对项目周边环境的影响
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7、验收结论
1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
不存在上述情况 | |
验收结论 | 合格 |
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