内蒙古通威高纯晶硅有限公司光伏硅材料制造项目（二期6万吨高纯晶硅项目补充验收）

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内蒙古通威高纯晶硅有限公司光伏硅材料制造项目（二期6万吨高纯晶硅项目补充验收）

更新时间	2024年10月21日
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关键信息	光伏
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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0203MA0NFKQ26T	张习松
渠茂莹	******区
内****工园区范围内西侧，新材料、化工产业、高新技术产业功能区内，现有一期项目东侧

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

****光伏硅材料制造项目（二期6万吨高纯晶硅项目补充验收）

2021版本:060-耐火材料制品制造；石墨及其他非金属矿物制品制造	C3099-C3099-其他非金属矿物制品制造
	自治区市区内**工园区范围内西侧，新材料、化工产业、高新技术产业功能区内，现有一期项目东侧
经度:109.**66944 纬度: 40.**69444	****环境局
	2021-06-18
包环管字〔2021〕76号	****
	413600
6527	****
****0203MA0NFKQ26T	广炫**公司
****0291MA0Q1KBT87	******公司
911********9721506	2022-08-31

2024-09-11	2024-10-15
	建设项目环境信息公示平台，公示链接为https://www.**.com/gs/detail/2?id=40911mZc3K

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

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规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

建设规模为年产5万吨太阳能级多晶硅	实际建设规模为年产6万吨太阳能级多晶硅
经与企业核实，本期项目实施后，年工作小时按全年365天，每天24小时连续生产考虑，为8760h，故增大了产能

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

氢化料精馏生产工艺氢化料精馏系统主要包括四氯化硅分离、二氯二氢硅分离、脱高一塔、脱低塔和脱高二塔等工序。（1）四氯化硅分离塔外购的粗品三氯氢硅，冷氢化、反歧化及渣浆处理产生的粗三氯氢硅首先进入四氯化硅分离塔，通过塔分离后，四氯化硅以及少量重组分从分离塔的塔釜采出，作为冷氢化原料，塔顶气经过循环水冷凝器冷凝后，变成液态氯硅烷，进入高位回流罐，再通过回流泵输送，一部分作为塔顶回流，一部分作为产品采出，采出组分含约 98%三氯氢硅和 2%二氯二氢硅，去二氯二氢硅分离塔进一步分离。（2）二氯二氢硅分离塔四氯化硅分离塔塔顶采出产品组分为三氯氢硅和二氯二氢硅，进入二氯二氢硅分离塔，经过塔分离后，塔顶气为二氯二氢硅，经过循环水冷凝器冷凝后，变成液态二氯二氢硅，进入高位回流罐，再通过回流泵输送，一部分作为塔顶回流，一部分二氯二氢硅作为塔顶产品采出去反歧化装置。塔底采出组分为三氯氢硅，塔底产品经过加压至 1.3MPa.G 后送往脱高一塔进行进一步提纯。（3）脱高一塔二氯二氢硅分离塔塔底产品进入脱高一塔，进行脱高处理，经过分离后，脱高一塔塔顶产品为脱高后的三氯氢硅，送往脱低一塔进行进一步提纯。塔底产品为含高沸物的三氯氢硅，这部分三氯氢硅送至四氯化硅分离塔，再次进行分离。（4）脱低一塔脱高一塔塔顶产品进入脱低一塔，进行脱低处理，经过分离后，塔底产品为脱低后的三氯氢硅，送往脱高二塔进行进一步提纯。塔顶产品为含低沸物的三氯氢硅，这部分三氯氢硅返回四氯化硅分离塔循环利用。（5）脱高二塔脱低一塔塔底产品进入脱高二塔，进行脱高处理，经过分离后，塔顶产品为脱高后的三氯氢硅，作为氢化料精馏最终产品送至还原工段。塔底产品为含高沸物的三氯氢硅，这部分三氯氢硅返回脱高1塔塔循环利用。3.7.2.2 四氯化硅冷氢化生产工艺本工段的目的是为了消化多晶硅生产过程副产的SiCl4，使之与硅粉、氢气反应生成三氯氢硅而加以利用。本期项目3座冷氢化车间，每座车间设2条生产线，共设6条STC处理能力为20万吨/年的冷氢化生产线。四氯化硅主要来源于还原反应单元，经精馏处理后进入罐区暂存。自罐区来的四氯化硅由四氯化硅输送泵加压至3.7MPa.G，送至四氯化硅热交换器与净化后的粗三氯氢硅气体进行换热，再至四氯化硅预热器。还原尾气回收装置来的氢气与来自后续冷凝系统产生的不凝气（主要含氢气）经循环氢气压缩机加压至3.2MPa.G 后混合，送至氢气预热器预热至约 170~185℃，预热后的氢气与预热后的四氯化硅液体经静态混合器充分混合，依次通过四氯化硅汽化器（采用蒸汽加热）、过热器、热交换器（与冷氢化反应后高温尾气换热）以及电加热器加热至约600℃，送入流化床反应器。外购硅粉采用热氮气在硅粉干燥器进行除湿，并输送至缓冲罐。热氮气采用电加热方式制取，除湿后的硅粉由自氢气预热器来的氢气推送进流化床反应器。同时还原尾气回收车间盐酸解析塔得到的氯化氢气体，以及氢化料精馏塔各塔不凝气、还原再生尾气及回收精馏各塔塔顶不凝气经深冷回收装置回收氯硅烷后的不凝气（主要含氢气）经加压后一并送入流化床反应器。在流化床反应器中，四氯化硅、氢气和硅粉在450~600℃、1.5~3Mpa条件下进行反应，生成三氯氢硅；同时氯化氢与硅粉反应生成三氯氢硅和四氯化硅。反应合成气为含有三氯氢硅、二氯二氢硅和未反应的四氯化硅、氢气、副反应产物及硅粉等的混合气体，与原料四氯化硅和氢气混合料换热后，先经过旋风分离器，回收混合气中夹带的硅粉重新回到流化床内参加反应，再通过精密硅粉过滤器（过滤精度≤5μm）将尾气中的硅粉过滤，过滤的硅粉定期排入过滤器下方的硅粉放空槽过滤器，并用氮气将硅粉中夹带的少量氯硅烷和氢气置换干净，收集的硅粉外售。不含固体的反应气再进入洗涤塔，用后端的氯硅烷冷凝液对尾气进行洗涤降温，洗涤液后的残液主要含四氯化硅以及少量副反应产物等，送渣浆回收车间。净化后的气体为粗三氯氢硅（含四氯化硅、二氯二氢硅），进入冷凝系统，首先与原料四氯化硅和循环氢气进行热交换，再用循环水降温，之后经深冷冷凝后液相进入粗TCS缓冲罐，通过压差连续送入氢化高纯TCS中间罐区。冷凝不凝气主要含氢气，经循环氢压缩机加压后，再次返回流化床反应器循环使用。冷氢化装置正常生产时无废气排出，开停车时采用氮气和氢气对炉内残余气体进行吹扫置换，产生的置换气主要含氮气、氢气、少量氯硅烷以及氯化氢等，送工艺废气处理车间。该工段流化床反应器以及触体罐需要定期置换，年置换次数10次，以氮气进行置换，置换废气量100980nm3/h，主要污染物为氢气及少量粉尘。反歧化工艺流程精馏装置分离出的二氯二氢硅（DCS）和四氯化硅（STC）进入反歧化原料罐。为了使DCS最大化转化为三氯氢硅（TCS），反应器进料摩尔比控制为4：1（STC：DCS）。将混合液、催化剂加入反歧化反应器，该反应使用树脂催化剂DOWEXM-43 以促进反应。控制反应参数：温度60℃、压力0.6MPa.G、反应时间2h，反应产物主要为TCS，极少量未反应的DCS以及过量的STC等，回收至反歧化粗产品缓冲罐后送氢化料精馏系统进行精馏提纯。三氯氢硅还原生产工艺本期项目还原装置主要包括三氯氢硅汽化器、三氯氢硅过热器、进气加热器、尾气换热器、还原炉、尾气冷却器、热能利用系统、停炉冷却系统、底盘冷却系统、电极调功冷却系统、配电系统等。三氯氢硅还原装置采用改良西门子工艺。三氯氢硅、氢气配比自动调节，设有硅棒温度红外监测，事故时自动切断三氯氢硅及氢气进料。来自精馏工段的高纯三氯氢硅，在完成必要的分析和达到规定要求之后，将其送入三氯氢硅汽化器，在操作压力为1.0MPa.G的压力下利用0.2MPa.G蒸汽汽化，再进入过热器用1.0MPa.G蒸汽加热至145~160℃，再同电解制氢产生的新鲜氢气及还原尾气回收氢气在静态混合器中进行混合，通过流量计控制调节三氯氢硅气体和氢气的进料摩尔比，混合气经过进气加热器被蒸汽加热至150℃后由喷嘴进入还原炉，还原炉内安装有硅芯，在炉内通电的高温硅芯（硅棒）的表面，温度1050~1100℃，三氯氢硅被氢气还原成晶体硅沉积于硅芯（硅棒）表面，使硅棒直径不断长大，直至达到规定的尺寸。正常生产下还原炉出来的尾气温度约 600~700℃，组成为：H260.81%、TCS20%、SiCl415.19%、SiH2Cl23.8%、HCl0.2%以及少量的硅粉，经尾气换热器同部分循环水换热至约150℃出还原装置进还原尾气回收车间，循环水去闪蒸器。当还原炉内硅棒达到规定尺寸，利用氢气和循环水对还原炉进行降温后，开炉卸出多晶硅棒，安装硅芯。多晶硅棒送去后处理车间进行破碎、清洗、包装。三氯氢硅还原车间正常生产时产生的还原尾气送还原尾气回收车间，卸出的多晶硅棒送后处理车间。在还原炉开停车时，采用氮气、氢气对炉内残余气体进行吹扫置换，产生的置换气主要含氮气和氢气，以及少量氯硅烷和氯化氢等，送工艺废气处理车间。该工段还原炉需要定期进行置换，年置换次数75次，以氮气置换，需要氮气量500Nm3/a，排放污染物主要为氯硅烷、氢气等。还原尾气回收工艺还原尾气回收装置主要是将还原装置送来的含有四氯化硅、三氯氢硅、氯化氢、二氯二氢硅、氢气和少量硅粉的还原尾气进行分离、净化、回收，得到的高纯氢气返回还原车间，氯化氢送冷氢化及渣浆处理单元，氯硅烷送回收精馏装置，过滤出的硅粉外售。（1）还原尾气冷却还原尾气首先进入硅粉过滤器，硅粉过滤器内设置有高精度滤芯，过滤精度≤4μm，可将还原尾气中夹带的硅粉全部过滤，去除硅粉后的还原尾气依次经过7℃ 冷却器、-10℃冷却器冷却后进入氯硅烷分离罐，冷却下来的氯硅烷与氯化氢吸收塔塔底出的氯硅烷（富液）混合后送入后续氯化氢解析塔，冷凝后从分离罐出来的不凝气主要含氢气以及氯化氢，压力0.4MPa.G，与还原尾气换热、升温后送入氢气压缩机。过滤下的硅粉定期排入过滤器下方的硅粉收集罐，利用氮气将硅粉收集罐置换干净，置换后的硅粉袋装外售，置换后的尾气进入废气淋洗装置。（2）氢气压缩还原尾气冷却分离出的不凝气，先进入氢气压缩机吸入罐，经缓冲后进入氢气压缩机压缩，压缩气压力 0.9MPa.G、100℃，经氢气压缩机排出罐送至氯化氢吸收塔。（3）氯化氢吸收被氢气压缩机压缩后的气体，组分：H290%、SiHCl38%、SiH2Cl22%、HCl 0.2%，依次经过氯化氢吸收塔塔顶进料冷却器和深冷器冷却后，温度降至约-60℃，进入氯化氢吸收塔底部。经氯化氢解析塔解析后的氯硅烷（贫液，组分：三氯氢硅60%、四氯化硅35%、二氯二氢硅5%）经过冷却后作为吸收液进入氯化氢吸收塔塔顶。利用氯硅烷（贫液）吸收尾气中的HCl，得到的99.9%氢气经氯化氢吸收塔塔顶进料冷却器，与压缩的进料尾气换热后，进入氢气吸附塔。来自塔底氯硅烷（富液，组分：三氯氢硅59.9%、四氯化硅34.9%、二氯二氢硅4.9%、氯化氢0.3%）与还原尾气冷却工序冷凝下来的氯硅烷混合后一同进入氯化氢精馏工序。（4）氯化氢精馏来自氯化氢吸收塔釜的氯硅烷（富液）和来自还原尾气冷却工序的氯硅烷冷凝液混合后，与氯化氢解析塔塔釜的贫液换热后进入氯化氢解析塔。氯化氢解析塔塔顶气相经冷凝器冷却后送入塔顶气液分离罐气液分离，分离罐分离出的冷凝液回流到氯化氢解析塔，HCl气体自塔顶气液分离罐出料，经HCl压缩机压缩后送至冷氢化车间使用。氯化氢解析塔塔底出来的氯硅烷（贫液）进入氯化氢解析塔换热器与氯硅烷（富液）换热，再经解析塔塔底冷却器循环水冷却和低温制冷剂冷却后，氯硅烷（贫液）部分作为吸收液去氯化氢吸收塔，剩余氯硅烷送至罐区氯硅烷还原料罐暂存，去回收精馏系统，作吸收液和去精馏系统的氯硅烷比例为2:1。（5）氢气吸附工序来自氯化氢吸收塔的 99.9%氢气经换热后进入氢气吸附塔，经吸附后的氢气纯度达99.9999%，其中一部分经过氢气加热器、利用蒸汽加热后作为再生气进入吸附塔，另一部分返回还原车间。再生尾气主要含HCl、氯硅烷、H2，与精馏系统产生的不凝气一并经深冷回收氯硅烷后，返回冷氢化车间，回收氯硅烷送氢化料精馏系统。回收精馏生产工艺回收料即通过还原尾气回收系统回收的氯硅烷，回收精馏系统主要包括回收料四氯化硅、二氯二氢硅和三氯氢硅分离等工序，具体描述如下。 ①回收物料四氯化硅分离塔回收的氯硅烷首先进入四氯化硅分离塔，通过塔分离后，塔底采出四氯化硅，作为冷氢化和反歧化的原料，塔顶气经过循环水冷凝器冷凝后，变成液态氯硅烷，进入高位回流罐，再通过回流泵输送，一部分作为塔顶回流，一部分作为产品采出，采出组分主要为三氯氢硅和少量二氯二氢硅。 ②回收料二氯二氢硅分离塔采出液三氯氢硅进入二氯二氢硅分离塔，经过塔分离后，塔顶气经过循环水冷凝器冷凝后，变成液态二氯二氢硅，进入高位回流罐，再通过回流泵输送，一部分作为塔顶回流，一部分二氯二氢硅作为塔顶产品采出去反歧化装置。塔底采出组分为三氯氢硅，经过加压后送往脱高塔进行进一步提纯。 ③回收料三氯氢硅脱高塔二氯二氢硅分离塔塔底采出的三氯氢硅进入三氯氢硅脱高塔，采用2塔并联，经过分离，塔顶气经过循环水冷凝器冷凝后，变成液态三氯氢硅，进入高位回流罐，再通过回流泵输送，一部分作为塔顶回流，一部分作为产品三氯氢硅去还原车间。塔底采出组分为少量杂质的三氯氢硅，经过加压返回四氯化硅分离塔循环使用。项目回收精馏系统各冷凝器产生的不凝气含氢气、氯化氢和少量氯硅烷，统一收集（与氢化料精馏不凝气、还原再生尾气、四氯化硅脱高沸塔塔顶不凝气一起），送工艺废气回收装置区单独设置的深冷装置冷凝回收氯硅烷后，不凝气（主要含氢气、氯化氢）加压后送冷氢化装置使用，回收的氯硅烷送氢化料精馏系统。后处理工艺流程从还原炉卸出的多晶硅棒，在整理车间内经破碎、分选、清洗、包装等过程，得到合格的多晶硅产品。具体生产工艺如下：从还原工序送来的成品硅棒经专门的硅棒转运车运至破碎准备间，首先采用专用金属榔头去除石墨头，再将硅棒放至破碎间的抗冲击操作台上，其表面采用塑料板设防震措施，周边有50～100mm围堰，自带抽风除尘装置且一端设分选筛并有10°的倾斜，以确保破碎的多晶硅块全部自重进入分选筛。采用榔头对硅棒进行破碎，完成破碎的硅块人工推入分选筛中，使硅块的线长在6～100mm，不合格的硅块返回前端重新破碎。完成分选后的合格多晶硅块，根据下游客户需求进行清洗，项目按50%多晶硅块需清洗计，硅块送入硅料清洗机，经超纯水洗涤、烘干处理，送至包装工序，处理站处理。破碎过程产生的粉尘经自带抽风除尘装置（布袋除尘器）处理后并入空调净化系统经净化后进入车间通风系统，不外排。渣浆回收工艺流程本期项目建设四套渣浆处理系统，单条处理能力0.9t/h。（1）精馏回收氯硅烷来自冷氢化车间洗涤液，在冷氢化车间已经硅粉过滤器过滤掉硅粉，主要含四氯化硅和少量三氯氢硅，聚氯硅烷，首先进入四氯化硅脱高沸塔进行四氯化硅脱重，塔顶采出的四氯化硅和三氯氢硅经冷凝后送氢化料精馏车间，不凝气进入工艺废气处理单元，以深冷回收的方式回收利用。塔釜剩余的四氯化硅、聚氯硅烷等混合物送入搅拌冷却罐。（2）冷却、沉降分离四氯化硅脱高沸塔塔釜液进入搅拌冷却罐，用循环水将其冷却至常温，冷却之后将渣浆输送至沉降罐，利用自然沉降将氯硅烷絮状物分开，沉降后的絮状物排至渣浆蒸发机，上清液去高沸裂解工序。（3）渣浆蒸发回收氯硅烷、水洗从沉降罐下部排出的沉降物进入渣浆蒸发机，用蒸汽将随着沉淀物带出来的氯硅烷完全蒸干，蒸发的氯硅烷气体经过冷凝后送至氢化料精馏装置，不凝气进入渣浆回收装置单独配套的废气洗涤塔洗涤后经25m排气筒排放。蒸干后剩余的干粉（夹带由少量聚氯硅烷）则通过气力输送的方式送至水洗罐进行水洗，产生的处理站处理，水洗中氯硅烷分解的氯化氢被水吸收，少量未吸收的氯化氢气体送废气洗涤塔。（4）高沸裂解从沉降罐上部采出的含有四氯化硅和高沸物的澄清液送至高沸裂解搅拌罐，从高沸裂解罐的底部通入来自还原尾气回收车间解析出的部分氯化氢气体，并定期向高沸裂解罐中加入裂解催化剂，聚氯硅烷（Si2Cl6）在催化剂的作用下，与氯化氢气反应生成三氯氢硅和四氯化硅，聚氯硅烷反应生成的三氯氢硅和四氯化硅后由于沸点降低，经裂解罐外的夹套加热将其气化，气化的氯硅烷气体返回四氯化硅脱高沸塔进行回收。高沸裂解催化剂失效后需定期更换，作为危废物外送处理。本项目四氯化硅回收利用率可做到近100%。工艺废气处理原理（1）深冷原理本期项目工艺废气涉及到深冷，利用各物质的冷凝点不同，将废气中的氯硅烷冷凝成液体，在装置底部暂存，顶部气体再经管道送至废气洗涤装置。深冷回收装置中的液体氯硅烷定期经底部泵输送至暂存罐中，返回生产系统使用。（2）水洗原理采用三级水洗处理方式，是利用水与氯硅烷反应生成二氧化硅和氯化氢，氯化氢再被水吸收成酸性废水，处理站进行处理。反应方程式： SiH2Cl2+3H2O=H2SiO3+2HCl+2H2↑ SiHCl3+3H2O=H2SiO3+3HCl+H2↑ SiCl4+3H2O=H2SiO3+4HCl H2SiO3=SiO2↓+H2O 3.7.8.2 工艺废气处理工艺工艺废气首先经深冷处理，冷凝出的氯硅烷进入精馏装置进一步分离回用，废气进入缓冲罐，再去工艺废气洗涤装置。废气洗涤装置区采用三塔串联洗涤，保证洗涤废气达标排放，同时考虑到项目实施地水源的缺乏，采用自循环洗涤，即回用水先进入三级洗涤塔，作为洗涤喷淋液，出塔底洗涤液通过自流方式到二级洗涤塔，作为二级洗涤塔的置换液，二级洗涤塔通过自流形式到一级洗涤塔，作为一级洗涤塔的置换液；出一级洗涤塔的酸性废液直排至污水处理单元进行后处理。洗涤后的废气主要含氢气、氮气和和少量HCl等，引入液封槽，后经28m排气筒达标排放。电解制氢生产工艺年产50000吨多晶硅装置正常氢气消耗量约1250Nm3/h。选用2套生产能力为800Nm3/h电解制氢装置，满足年产50000吨多晶硅生产需求。本工序由水电解制氢系统和氢气纯化系统两部分组成，水电解制氢系统生产纯度为99.999%的H2。（1）水电解制氢工艺本系统主要由电解槽，氢、氧气体系统，电解液循环系统，加水（碱）系统，配碱系统等组成。 ① 电解槽电解槽为压滤式双极性串联结构，是制氢系统的核心，水在此被电解成氢气和氧气。中间端极框下部有进液管，上部有氢、氧气液出口管；电解液在电解槽内直流电的作用下分解，在电极表面析出氢气与氧气，经各自通道分别进入气液系统。电解槽温度由氧和氢两侧分别监控。 ②氢、氧气体系统从电解槽出来的氢气和碱液混合物一起通过极框上阴极侧的出气孔流过氢气道，从中间负极框流出，汇集后导入氢气液分离器，经内部安装的碱液换热器进行热交换冷却，在重力作用下进行气液分离，分离出的氢气导入氢气液分离器上部的氢气洗涤冷却器进一步洗涤冷却，从而最大限度减少气体中的含碱量和含水量，经洗涤器、气水分离器进行气水分离后，最终经氢气薄膜调节阀排出，进入贮罐备用或放空。氧气处理过程与上述过程基本相同。 ③电解液循环系统氢、氧分离器中的电解液经连通管汇集，经碱液过滤器除去机械杂质后，由循环泵经流量开关打入电解槽，形成闭环系统，保证连续运行。 ④加水（碱）系统去离子水分别进入水碱箱。水箱中的去离子水经过加水泵注入氢（氧）分离器上部的氢（氧）洗涤器部分。送水管路上设有防止回阀以防止去离子水回流。若系统需要补碱，则由经加水泵将配置好的电解液注入碱液过滤器。 ⑤配碱系统该系统将气液处理器与水碱箱连接在一起，配置碱液时，启动循环泵，使碱箱中的去离子水，形成循环，再由碱箱的投料口加入固态碱，从而完成碱液的配置。（2）氢气纯化工艺氢气纯化系统由氢气脱氧系统、氢气干燥再生系统等组成；氢气纯化设备采用原料氢气再生方式无氢气放空。 ①氢气脱氧系统本装置采用催化脱氧、冷却去湿、吸附干燥的方法清除杂质，纯化氢气。原料氢气经气水分离器滤除游离水后进入脱氧器，气水分离器中的游离水经排水阀定期自动排出系统；脱氧器内装有常温即可催化反应进行的高效催化剂，氧和氢经催化剂作用生成水，氧气被去除，生成的水被氢气带出脱氧器，进入冷却器，经冷却器冷凝后随氢气进入气水分离器，游离水在气水分离器内被滤除并经排水阀排出系统，含有饱和水蒸气的氢气则进入干燥器（状态不同时进入干燥塔的顺序不同），水蒸气在干燥器内被分子筛吸附，高纯度的氢气最终再经过过滤器滤尘后流出纯化装置。 ②氢气干燥再生系统干燥器内装有吸附容量大、耐温性好的干燥剂。干燥器交替工作、再生、吸附，以实现整套装置工作的连续性。脱盐水站（1）生产工艺本期项目脱盐水正常需要量为80m3/h，最大需要量为73m3/h，由已建脱盐水站供给。脱盐水站设置脱盐水系统一套，制水能力为80m3/h；采用两级反渗透水处理工艺。脱盐水主要为工艺装置、高纯水站、电解制氢、7℃冷冻水系统和循环水站补充用水。高纯水站（1）生产工艺本期项目配套一套高纯水处理系统。高纯水站水处理能力30.0m3/h。采用EDI+抛光混床+超滤的处理工艺；设置15.0m3脱盐水箱一个，作为系统原水箱。高纯水系统原水为脱盐水，来自本项目**脱盐水站，通过全厂脱盐水外管网供给。循环冷却水系统（1）生产工艺本期项目循环水系统设计规模20000m3/h。采用空冷窜接闭式循环冷却系统，设置空冷塔18座（单塔处理水量1200m3/h），水冷塔20座（单塔处理水量1000m3/h），根据出水温度可调整水冷却的运行台数，以减小水耗。配套离心式供水泵3台（2开1备），单泵性能Q=6000m3/h；H=25m，其中1台泵设置为变频泵。配套外喷淋离心式供水泵3台（2开1备），单泵性能Q=10000m3/h；H=20m。为保持外喷淋水质稳定，外喷淋设置过滤器2套，单台处理能力Q=800m3/h；设置阻垢剂及缓蚀剂加药装置2套；循环水回水采用余压上塔，循环水泵露天布置。冷却水循环系统循环到一定频次后，需要排水，会产生废水。高纯氮制备（1）工艺简介本期项目氮气正常需求用量为6750Nm3/h，最大需要量7500Nm3/h。选用制氮设备一套，其处理量为8000Nm3/h，可满足本项目要求。制氮装置使用碳分子筛，磨损后需定期更换，会产生废碳分子筛。空压机房（1）工艺简介本期项目仪表空气和装置空气正常需求用量为2000Nm3/h，最大需要量为2400Nm3/h，选用螺杆式空压机设备一套，其处理量为2500Nm3/h，可满足本项目要求。主要供给自动控制、仪表等环节。污水处理站（1）工艺简介本期项目已建1座120t/d污水处理站，处理工艺为中和+沉淀+固液分离，需添加石灰，石灰上料过程会产生粉尘。	氢化料精馏生产工艺氢化料精馏系统主要包括四氯化硅分离、二氯二氢硅分离、脱高一塔、脱低塔和脱高二塔等工序。（1）四氯化硅分离塔外购的粗品三氯氢硅，冷氢化、反歧化及渣浆处理产生的粗三氯氢硅首先进入四氯化硅分离塔，通过塔分离后，四氯化硅以及少量重组分从分离塔的塔釜采出，作为冷氢化原料，塔顶气经过循环水冷凝器冷凝后，变成液态氯硅烷，进入高位回流罐，再通过回流泵输送，一部分作为塔顶回流，一部分作为产品采出，采出组分含约 98%三氯氢硅和 2%二氯二氢硅，去二氯二氢硅分离塔进一步分离。（2）二氯二氢硅分离塔四氯化硅分离塔塔顶采出产品组分为三氯氢硅和二氯二氢硅，进入二氯二氢硅分离塔，经过塔分离后，塔顶气为二氯二氢硅，经过循环水冷凝器冷凝后，变成液态二氯二氢硅，进入高位回流罐，再通过回流泵输送，一部分作为塔顶回流，一部分二氯二氢硅作为塔顶产品采出去反歧化装置。塔底采出组分为三氯氢硅，塔底产品经过加压至 1.3MPa.G 后送往脱高一塔进行进一步提纯。（3）脱高一塔二氯二氢硅分离塔塔底产品进入脱高一塔，进行脱高处理，经过分离后，脱高一塔塔顶产品为脱高后的三氯氢硅，送往脱低一塔进行进一步提纯。塔底产品为含高沸物的三氯氢硅，这部分三氯氢硅送至四氯化硅分离塔，再次进行分离。（4）脱低一塔脱高一塔塔顶产品进入脱低一塔，进行脱低处理，经过分离后，塔底产品为脱低后的三氯氢硅，送往脱高二塔进行进一步提纯。塔顶产品为含低沸物的三氯氢硅，这部分三氯氢硅返回四氯化硅分离塔循环利用。（5）脱高二塔脱低一塔塔底产品进入脱高二塔，进行脱高处理，经过分离后，塔顶产品为脱高后的三氯氢硅，作为氢化料精馏最终产品送至还原工段。塔底产品为含高沸物的三氯氢硅，这部分三氯氢硅返回脱高1塔塔循环利用。3.7.2.2 四氯化硅冷氢化生产工艺本工段的目的是为了消化多晶硅生产过程副产的SiCl4，使之与硅粉、氢气反应生成三氯氢硅而加以利用。本期项目3座冷氢化车间，每座车间设2条生产线，共设6条STC处理能力为20万吨/年的冷氢化生产线。四氯化硅主要来源于还原反应单元，经精馏处理后进入罐区暂存。自罐区来的四氯化硅由四氯化硅输送泵加压至3.7MPa.G，送至四氯化硅热交换器与净化后的粗三氯氢硅气体进行换热，再至四氯化硅预热器。还原尾气回收装置来的氢气与来自后续冷凝系统产生的不凝气（主要含氢气）经循环氢气压缩机加压至3.2MPa.G 后混合，送至氢气预热器预热至约 170~185℃，预热后的氢气与预热后的四氯化硅液体经静态混合器充分混合，依次通过四氯化硅汽化器（采用蒸汽加热）、过热器、热交换器（与冷氢化反应后高温尾气换热）以及电加热器加热至约600℃，送入流化床反应器。外购硅粉采用热氮气在硅粉干燥器进行除湿，并输送至缓冲罐。热氮气采用电加热方式制取，除湿后的硅粉由自氢气预热器来的氢气推送进流化床反应器。同时还原尾气回收车间盐酸解析塔得到的氯化氢气体，以及氢化料精馏塔各塔不凝气、还原再生尾气及回收精馏各塔塔顶不凝气经深冷回收装置回收氯硅烷后的不凝气（主要含氢气）经加压后一并送入流化床反应器。在流化床反应器中，四氯化硅、氢气和硅粉在450~600℃、1.5~3Mpa条件下进行反应，生成三氯氢硅；同时氯化氢与硅粉反应生成三氯氢硅和四氯化硅。反应合成气为含有三氯氢硅、二氯二氢硅和未反应的四氯化硅、氢气、副反应产物及硅粉等的混合气体，与原料四氯化硅和氢气混合料换热后，先经过旋风分离器，回收混合气中夹带的硅粉重新回到流化床内参加反应，再通过精密硅粉过滤器（过滤精度≤5μm）将尾气中的硅粉过滤，过滤的硅粉定期排入过滤器下方的硅粉放空槽过滤器，并用氮气将硅粉中夹带的少量氯硅烷和氢气置换干净，收集的硅粉外售。不含固体的反应气再进入洗涤塔，用后端的氯硅烷冷凝液对尾气进行洗涤降温，洗涤液后的残液主要含四氯化硅以及少量副反应产物等，送渣浆回收车间。净化后的气体为粗三氯氢硅（含四氯化硅、二氯二氢硅），进入冷凝系统，首先与原料四氯化硅和循环氢气进行热交换，再用循环水降温，之后经深冷冷凝后液相进入粗TCS缓冲罐，通过压差连续送入氢化高纯TCS中间罐区。冷凝不凝气主要含氢气，经循环氢压缩机加压后，再次返回流化床反应器循环使用。冷氢化装置正常生产时无废气排出，开停车时采用氮气和氢气对炉内残余气体进行吹扫置换，产生的置换气主要含氮气、氢气、少量氯硅烷以及氯化氢等，送工艺废气处理车间。该工段流化床反应器以及触体罐需要定期置换，年置换次数10次，以氮气进行置换，置换废气量100980nm3/h，主要污染物为氢气及少量粉尘。反歧化工艺流程精馏装置分离出的二氯二氢硅（DCS）和四氯化硅（STC）进入反歧化原料罐。为了使DCS最大化转化为三氯氢硅（TCS），反应器进料摩尔比控制为4：1（STC：DCS）。将混合液、催化剂加入反歧化反应器，该反应使用树脂催化剂DOWEXM-43 以促进反应。控制反应参数：温度60℃、压力0.6MPa.G、反应时间2h，反应产物主要为TCS，极少量未反应的DCS以及过量的STC等，回收至反歧化粗产品缓冲罐后送氢化料精馏系统进行精馏提纯。三氯氢硅还原生产工艺本期项目还原装置主要包括三氯氢硅汽化器、三氯氢硅过热器、进气加热器、尾气换热器、还原炉、尾气冷却器、热能利用系统、停炉冷却系统、底盘冷却系统、电极调功冷却系统、配电系统等。三氯氢硅还原装置采用改良西门子工艺。三氯氢硅、氢气配比自动调节，设有硅棒温度红外监测，事故时自动切断三氯氢硅及氢气进料。来自精馏工段的高纯三氯氢硅，在完成必要的分析和达到规定要求之后，将其送入三氯氢硅汽化器，在操作压力为1.0MPa.G的压力下利用0.2MPa.G蒸汽汽化，再进入过热器用1.0MPa.G蒸汽加热至145~160℃，再同电解制氢产生的新鲜氢气及还原尾气回收氢气在静态混合器中进行混合，通过流量计控制调节三氯氢硅气体和氢气的进料摩尔比，混合气经过进气加热器被蒸汽加热至150℃后由喷嘴进入还原炉，还原炉内安装有硅芯，在炉内通电的高温硅芯（硅棒）的表面，温度1050~1100℃，三氯氢硅被氢气还原成晶体硅沉积于硅芯（硅棒）表面，使硅棒直径不断长大，直至达到规定的尺寸。正常生产下还原炉出来的尾气温度约 600~700℃，组成为：H260.81%、TCS20%、SiCl415.19%、SiH2Cl23.8%、HCl0.2%以及少量的硅粉，经尾气换热器同部分循环水换热至约150℃出还原装置进还原尾气回收车间，循环水去闪蒸器。当还原炉内硅棒达到规定尺寸，利用氢气和循环水对还原炉进行降温后，开炉卸出多晶硅棒，安装硅芯。多晶硅棒送去后处理车间进行破碎、清洗、包装。三氯氢硅还原车间正常生产时产生的还原尾气送还原尾气回收车间，卸出的多晶硅棒送后处理车间。在还原炉开停车时，采用氮气、氢气对炉内残余气体进行吹扫置换，产生的置换气主要含氮气和氢气，以及少量氯硅烷和氯化氢等，送工艺废气处理车间。该工段还原炉需要定期进行置换，年置换次数75次，以氮气置换，需要氮气量500Nm3/a，排放污染物主要为氯硅烷、氢气等。还原尾气回收工艺还原尾气回收装置主要是将还原装置送来的含有四氯化硅、三氯氢硅、氯化氢、二氯二氢硅、氢气和少量硅粉的还原尾气进行分离、净化、回收，得到的高纯氢气返回还原车间，氯化氢送冷氢化及渣浆处理单元，氯硅烷送回收精馏装置，过滤出的硅粉外售。（1）还原尾气冷却还原尾气首先进入硅粉过滤器，硅粉过滤器内设置有高精度滤芯，过滤精度≤4μm，可将还原尾气中夹带的硅粉全部过滤，去除硅粉后的还原尾气依次经过7℃ 冷却器、-10℃冷却器冷却后进入氯硅烷分离罐，冷却下来的氯硅烷与氯化氢吸收塔塔底出的氯硅烷（富液）混合后送入后续氯化氢解析塔，冷凝后从分离罐出来的不凝气主要含氢气以及氯化氢，压力0.4MPa.G，与还原尾气换热、升温后送入氢气压缩机。过滤下的硅粉定期排入过滤器下方的硅粉收集罐，利用氮气将硅粉收集罐置换干净，置换后的硅粉袋装外售，置换后的尾气进入废气淋洗装置。（2）氢气压缩还原尾气冷却分离出的不凝气，先进入氢气压缩机吸入罐，经缓冲后进入氢气压缩机压缩，压缩气压力 0.9MPa.G、100℃，经氢气压缩机排出罐送至氯化氢吸收塔。（3）氯化氢吸收被氢气压缩机压缩后的气体，组分：H290%、SiHCl38%、SiH2Cl22%、HCl 0.2%，依次经过氯化氢吸收塔塔顶进料冷却器和深冷器冷却后，温度降至约-60℃，进入氯化氢吸收塔底部。经氯化氢解析塔解析后的氯硅烷（贫液，组分：三氯氢硅60%、四氯化硅35%、二氯二氢硅5%）经过冷却后作为吸收液进入氯化氢吸收塔塔顶。利用氯硅烷（贫液）吸收尾气中的HCl，得到的99.9%氢气经氯化氢吸收塔塔顶进料冷却器，与压缩的进料尾气换热后，进入氢气吸附塔。来自塔底氯硅烷（富液，组分：三氯氢硅59.9%、四氯化硅34.9%、二氯二氢硅4.9%、氯化氢0.3%）与还原尾气冷却工序冷凝下来的氯硅烷混合后一同进入氯化氢精馏工序。（4）氯化氢精馏来自氯化氢吸收塔釜的氯硅烷（富液）和来自还原尾气冷却工序的氯硅烷冷凝液混合后，与氯化氢解析塔塔釜的贫液换热后进入氯化氢解析塔。氯化氢解析塔塔顶气相经冷凝器冷却后送入塔顶气液分离罐气液分离，分离罐分离出的冷凝液回流到氯化氢解析塔，HCl气体自塔顶气液分离罐出料，经HCl压缩机压缩后送至冷氢化车间使用。氯化氢解析塔塔底出来的氯硅烷（贫液）进入氯化氢解析塔换热器与氯硅烷（富液）换热，再经解析塔塔底冷却器循环水冷却和低温制冷剂冷却后，氯硅烷（贫液）部分作为吸收液去氯化氢吸收塔，剩余氯硅烷送至罐区氯硅烷还原料罐暂存，去回收精馏系统，作吸收液和去精馏系统的氯硅烷比例为2:1。（5）氢气吸附工序来自氯化氢吸收塔的 99.9%氢气经换热后进入氢气吸附塔，经吸附后的氢气纯度达99.9999%，其中一部分经过氢气加热器、利用蒸汽加热后作为再生气进入吸附塔，另一部分返回还原车间。再生尾气主要含HCl、氯硅烷、H2，与精馏系统产生的不凝气一并经深冷回收氯硅烷后，返回冷氢化车间，回收氯硅烷送氢化料精馏系统。回收精馏生产工艺回收料即通过还原尾气回收系统回收的氯硅烷，回收精馏系统主要包括回收料四氯化硅、二氯二氢硅和三氯氢硅分离等工序，具体描述如下。 ①回收物料四氯化硅分离塔回收的氯硅烷首先进入四氯化硅分离塔，通过塔分离后，塔底采出四氯化硅，作为冷氢化和反歧化的原料，塔顶气经过循环水冷凝器冷凝后，变成液态氯硅烷，进入高位回流罐，再通过回流泵输送，一部分作为塔顶回流，一部分作为产品采出，采出组分主要为三氯氢硅和少量二氯二氢硅。 ②回收料二氯二氢硅分离塔采出液三氯氢硅进入二氯二氢硅分离塔，经过塔分离后，塔顶气经过循环水冷凝器冷凝后，变成液态二氯二氢硅，进入高位回流罐，再通过回流泵输送，一部分作为塔顶回流，一部分二氯二氢硅作为塔顶产品采出去反歧化装置。塔底采出组分为三氯氢硅，经过加压后送往脱高塔进行进一步提纯。 ③回收料三氯氢硅脱高塔二氯二氢硅分离塔塔底采出的三氯氢硅进入三氯氢硅脱高塔，采用2塔并联，经过分离，塔顶气经过循环水冷凝器冷凝后，变成液态三氯氢硅，进入高位回流罐，再通过回流泵输送，一部分作为塔顶回流，一部分作为产品三氯氢硅去还原车间。塔底采出组分为少量杂质的三氯氢硅，经过加压返回四氯化硅分离塔循环使用。项目回收精馏系统各冷凝器产生的不凝气含氢气、氯化氢和少量氯硅烷，统一收集（与氢化料精馏不凝气、还原再生尾气、四氯化硅脱高沸塔塔顶不凝气一起），送工艺废气回收装置区单独设置的深冷装置冷凝回收氯硅烷后，不凝气（主要含氢气、氯化氢）加压后送冷氢化装置使用，回收的氯硅烷送氢化料精馏系统。后处理工艺流程从还原炉卸出的多晶硅棒，在整理车间内经破碎、分选、清洗、包装等过程，得到合格的多晶硅产品。具体生产工艺如下：从还原工序送来的成品硅棒经专门的硅棒转运车运至破碎准备间，首先采用专用金属榔头去除石墨头，再将硅棒放至破碎间的抗冲击操作台上，其表面采用塑料板设防震措施，周边有50～100mm围堰，自带抽风除尘装置且一端设分选筛并有10°的倾斜，以确保破碎的多晶硅块全部自重进入分选筛。采用榔头对硅棒进行破碎，完成破碎的硅块人工推入分选筛中，使硅块的线长在6～100mm，不合格的硅块返回前端重新破碎。完成分选后的合格多晶硅块，根据下游客户需求进行清洗，项目按50%多晶硅块需清洗计，硅块送入硅料清洗机，经超纯水洗涤、烘干处理，送至包装工序，处理站处理。破碎过程产生的粉尘经自带抽风除尘装置（布袋除尘器）处理后并入空调净化系统经净化后进入车间通风系统，不外排。渣浆回收工艺流程本期项目建设四套渣浆处理系统，单条处理能力0.9t/h。（1）精馏回收氯硅烷来自冷氢化车间洗涤液，在冷氢化车间已经硅粉过滤器过滤掉硅粉，主要含四氯化硅和少量三氯氢硅，聚氯硅烷，首先进入四氯化硅脱高沸塔进行四氯化硅脱重，塔顶采出的四氯化硅和三氯氢硅经冷凝后送氢化料精馏车间，不凝气进入工艺废气处理单元，以深冷回收的方式回收利用。塔釜剩余的四氯化硅、聚氯硅烷等混合物送入搅拌冷却罐。（2）冷却、沉降分离四氯化硅脱高沸塔塔釜液进入搅拌冷却罐，用循环水将其冷却至常温，冷却之后将渣浆输送至沉降罐，利用自然沉降将氯硅烷絮状物分开，沉降后的絮状物排至渣浆蒸发机，上清液去高沸裂解工序。（3）渣浆蒸发回收氯硅烷、水洗从沉降罐下部排出的沉降物进入渣浆蒸发机，用蒸汽将随着沉淀物带出来的氯硅烷完全蒸干，蒸发的氯硅烷气体经过冷凝后送至氢化料精馏装置，不凝气进入渣浆回收装置单独配套的废气洗涤塔洗涤后经25m排气筒排放。蒸干后剩余的干粉（夹带由少量聚氯硅烷）则通过气力输送的方式送至水洗罐进行水洗，产生的处理站处理，水洗中氯硅烷分解的氯化氢被水吸收，少量未吸收的氯化氢气体送废气洗涤塔。（4）高沸裂解从沉降罐上部采出的含有四氯化硅和高沸物的澄清液送至高沸裂解搅拌罐，从高沸裂解罐的底部通入来自还原尾气回收车间解析出的部分氯化氢气体，并定期向高沸裂解罐中加入裂解催化剂，聚氯硅烷（Si2Cl6）在催化剂的作用下，与氯化氢气反应生成三氯氢硅和四氯化硅，聚氯硅烷反应生成的三氯氢硅和四氯化硅后由于沸点降低，经裂解罐外的夹套加热将其气化，气化的氯硅烷气体返回四氯化硅脱高沸塔进行回收。高沸裂解催化剂失效后需定期更换，作为危废物外送处理。本项目四氯化硅回收利用率可做到近100%。工艺废气处理原理（1）深冷原理本期项目工艺废气涉及到深冷，利用各物质的冷凝点不同，将废气中的氯硅烷冷凝成液体，在装置底部暂存，顶部气体再经管道送至废气洗涤装置。深冷回收装置中的液体氯硅烷定期经底部泵输送至暂存罐中，返回生产系统使用。（2）水洗原理采用三级水洗处理方式，是利用水与氯硅烷反应生成二氧化硅和氯化氢，氯化氢再被水吸收成酸性废水，处理站进行处理。反应方程式： SiH2Cl2+3H2O=H2SiO3+2HCl+2H2↑ SiHCl3+3H2O=H2SiO3+3HCl+H2↑ SiCl4+3H2O=H2SiO3+4HCl H2SiO3=SiO2↓+H2O 3.7.8.2 工艺废气处理工艺工艺废气首先经深冷处理，冷凝出的氯硅烷进入精馏装置进一步分离回用，废气进入缓冲罐，再去工艺废气洗涤装置。废气洗涤装置区采用三塔串联洗涤，保证洗涤废气达标排放，同时考虑到项目实施地水源的缺乏，采用自循环洗涤，即回用水先进入三级洗涤塔，作为洗涤喷淋液，出塔底洗涤液通过自流方式到二级洗涤塔，作为二级洗涤塔的置换液，二级洗涤塔通过自流形式到一级洗涤塔，作为一级洗涤塔的置换液；出一级洗涤塔的酸性废液直排至污水处理单元进行后处理。洗涤后的废气主要含氢气、氮气和和少量HCl等，引入液封槽，后经28m排气筒达标排放。电解制氢生产工艺年产50000吨多晶硅装置正常氢气消耗量约1250Nm3/h。选用2套生产能力为800Nm3/h电解制氢装置，满足年产50000吨多晶硅生产需求。本工序由水电解制氢系统和氢气纯化系统两部分组成，水电解制氢系统生产纯度为99.999%的H2。（1）水电解制氢工艺本系统主要由电解槽，氢、氧气体系统，电解液循环系统，加水（碱）系统，配碱系统等组成。 ① 电解槽电解槽为压滤式双极性串联结构，是制氢系统的核心，水在此被电解成氢气和氧气。中间端极框下部有进液管，上部有氢、氧气液出口管；电解液在电解槽内直流电的作用下分解，在电极表面析出氢气与氧气，经各自通道分别进入气液系统。电解槽温度由氧和氢两侧分别监控。 ②氢、氧气体系统从电解槽出来的氢气和碱液混合物一起通过极框上阴极侧的出气孔流过氢气道，从中间负极框流出，汇集后导入氢气液分离器，经内部安装的碱液换热器进行热交换冷却，在重力作用下进行气液分离，分离出的氢气导入氢气液分离器上部的氢气洗涤冷却器进一步洗涤冷却，从而最大限度减少气体中的含碱量和含水量，经洗涤器、气水分离器进行气水分离后，最终经氢气薄膜调节阀排出，进入贮罐备用或放空。氧气处理过程与上述过程基本相同。 ③电解液循环系统氢、氧分离器中的电解液经连通管汇集，经碱液过滤器除去机械杂质后，由循环泵经流量开关打入电解槽，形成闭环系统，保证连续运行。 ④加水（碱）系统去离子水分别进入水碱箱。水箱中的去离子水经过加水泵注入氢（氧）分离器上部的氢（氧）洗涤器部分。送水管路上设有防止回阀以防止去离子水回流。若系统需要补碱，则由经加水泵将配置好的电解液注入碱液过滤器。 ⑤配碱系统该系统将气液处理器与水碱箱连接在一起，配置碱液时，启动循环泵，使碱箱中的去离子水，形成循环，再由碱箱的投料口加入固态碱，从而完成碱液的配置。（2）氢气纯化工艺氢气纯化系统由氢气脱氧系统、氢气干燥再生系统等组成；氢气纯化设备采用原料氢气再生方式无氢气放空。 ①氢气脱氧系统本装置采用催化脱氧、冷却去湿、吸附干燥的方法清除杂质，纯化氢气。原料氢气经气水分离器滤除游离水后进入脱氧器，气水分离器中的游离水经排水阀定期自动排出系统；脱氧器内装有常温即可催化反应进行的高效催化剂，氧和氢经催化剂作用生成水，氧气被去除，生成的水被氢气带出脱氧器，进入冷却器，经冷却器冷凝后随氢气进入气水分离器，游离水在气水分离器内被滤除并经排水阀排出系统，含有饱和水蒸气的氢气则进入干燥器（状态不同时进入干燥塔的顺序不同），水蒸气在干燥器内被分子筛吸附，高纯度的氢气最终再经过过滤器滤尘后流出纯化装置。 ②氢气干燥再生系统干燥器内装有吸附容量大、耐温性好的干燥剂。干燥器交替工作、再生、吸附，以实现整套装置工作的连续性。脱盐水站（1）生产工艺本期项目脱盐水正常需要量为80m3/h，最大需要量为73m3/h，由已建脱盐水站供给。脱盐水站设置脱盐水系统一套，制水能力为80m3/h；采用两级反渗透水处理工艺。脱盐水主要为工艺装置、高纯水站、电解制氢、7℃冷冻水系统和循环水站补充用水。高纯水站（1）生产工艺本期项目配套一套高纯水处理系统。高纯水站水处理能力30.0m3/h。采用EDI+抛光混床+超滤的处理工艺；设置15.0m3脱盐水箱一个，作为系统原水箱。高纯水系统原水为脱盐水，来自本项目**脱盐水站，通过全厂脱盐水外管网供给。循环冷却水系统（1）生产工艺本期项目循环水系统设计规模20000m3/h。采用空冷窜接闭式循环冷却系统，设置空冷塔18座（单塔处理水量1200m3/h），水冷塔20座（单塔处理水量1000m3/h），根据出水温度可调整水冷却的运行台数，以减小水耗。配套离心式供水泵3台（2开1备），单泵性能Q=6000m3/h；H=25m，其中1台泵设置为变频泵。配套外喷淋离心式供水泵3台（2开1备），单泵性能Q=10000m3/h；H=20m。为保持外喷淋水质稳定，外喷淋设置过滤器2套，单台处理能力Q=800m3/h；设置阻垢剂及缓蚀剂加药装置2套；循环水回水采用余压上塔，循环水泵露天布置。冷却水循环系统循环到一定频次后，需要排水，会产生废水。高纯氮制备（1）工艺简介本期项目氮气正常需求用量为6750Nm3/h，最大需要量7500Nm3/h。选用制氮设备一套，其处理量为8000Nm3/h，可满足本项目要求。制氮装置使用碳分子筛，磨损后需定期更换，会产生废碳分子筛。空压机房（1）工艺简介本期项目仪表空气和装置空气正常需求用量为2000Nm3/h，最大需要量为2400Nm3/h，选用螺杆式空压机设备一套，其处理量为2500Nm3/h，可满足本项目要求。主要供给自动控制、仪表等环节。污水处理站（1）工艺简介本期项目已建1座120t/d污水处理站，处理工艺为中和+沉淀+固液分离，需添加石灰，石灰上料过程会产生粉尘。
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

四氯化硅冷氢化工段硅粉上料过程产生含硅粉尘，硅粉上料废气经金属烧结过滤器处理，经排气筒排放，确保颗粒物排放浓度及速率达到《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)二级标准。后处理工段破碎工段产生粉尘，经集气罩收集后通过布袋除尘器处理，经排气筒排放，确保颗粒物排放浓度和速率达到《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)二级标准。渣浆处理工段不凝气及水洗废气主要含氯化氢，经两级水洗涤塔处理后，经排气筒排放，确保氯化氢排放浓度和速率达到《大气污染物综合排放标准》 (GB16297-1996)二级标准。工艺废气处理工段废气经深冷回收加三级水洗塔处理后，经排气筒排放，确保氧化氢排放浓度和速率达到《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)二级标准。石灰装卸过程产生的粉尘经布袋除尘器处理后，以无组织形式外排。燃气锅炉采用低氮燃烧技术，确保产生的颗粒物、二氧化硫、氮氧化物达到《锅炉污染物排放标准》(GB13271-2014)中燃气锅炉标准。食堂油烟配套油烟净化设施，经排气筒排放，确保污染物排放达到《饮食业油烟排放标准》(GB18483-2001)标准。确保厂界颗粒物和氯化氢达到《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)无组织排放监控浓度限值。严格按照环评落实和优化各项水污染防治措施，提高水回用率。1**处理站，处理规模为240立方米/小时，采用中和加沉淀工艺，主要处理渣浆处理废水、工艺废气洗涤废水等，处理后的废水部分回用于渣浆处理单元，处理站处理；1**处理站，处理规模为200立方米/小时，采用电絮凝加UF加RO双膜工艺，主要处理部分循环冷却水排水、高纯水站排水、电解制氢排水等，处理后的废水部分回用于循环水系统，处理站处理；1**处理站，处理规模为75 立方米/小时，采用RO膜过滤加MVR蒸发加双效逆流蒸发结晶工艺，处理站处理站尾水，处理后的冷凝水全部回用于循环水系统，确保生产废水不外排。1**处理站，处理规模为15立方米/小时，主要处理生活污水，采用一体化处理设施，确保外接生活废水达到《污水综合排放标准)(GB8978-1996)三级标准，经园区处理厂。严格落实声环境保护措施。优化高噪声设备布局，优先选用低噪声设备，采取消声、隔声、减振等降噪措施，确保厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准限值要求。严格落实固体废物污染防治措施。废反歧化催化剂、废吸附剂、废高沸裂解催化剂、废机油等危险废物由专用容器置于厂区现有危险废物暂存库内，定期委托有资质机构处置。废硅粉、废陶瓷件、废电解隔膜、废制氮分子筛、废反渗透膜属于一般工业固体废弃物收集后综合利用，其中废硅粉依托厂区现有废硅粉库暂存，其他一般工业固废依托厂区现有一般固废暂存间暂存。污水处理站产生的污泥、处理站产生的含水氯化钙、结晶盐需进行属性鉴定，依据鉴果，按相关要求进行处置，在鉴定之前，按照危险废物进行管理。1座废渣库，处理站产生的污泥、处理站产生的结晶盐。2座250立方米储罐，**处理站产生的含水氯化钙，建设标准需满足《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)(2013年修订)。按规范设置自动监测、报警、紧急切断及紧急停车系统，可燃气体、有毒气体监测报警系统和在线分析系统，以及防火、防爆、防中毒等事故处理系统。储罐设置高、低液位报警，装置区设置围堰，罐区设置防火堤，设置初期雨水收集池、全厂事故水收集池在内的事故水污染防控系统，确保有效截留未经处理的废水和事故水。按照《建设项目环境风险评价技术导则》(HJ169-2018)相关要求，明确识别环境风险因子，完成一期工程的风险评估，在二期工程投产前，完成包括一期、二期工程和全厂《突发环境事件应息预案》及《危险废物意外事故防范措施和应急预案)》的编制，分局备案。按照“分类管理、分级响应、区域联动”的原则，园区、政府及有关部门的环境风险应急三级联动机制，定期开展突发环境事件应急演练，提升区域环境风险防范能力，有效防控由安全生产事故引发的环境风险。严格按照报告书要求，对重点污染防治区、一般污染防治区等采取分区防渗措施，进一步强化管道、污水、事故水收集池防渗要求，加强防渗设施的日常维护，对出现破损的防渗设施应及时修复和加固，确保防渗设施牢全。加强隐蔽工程泄漏检测，一旦发现泄漏，应立即采取补救措施，防止污染地下水和土壤。建立完善的地下水和土壤监测制度。根据重点污染防治区平面布置、地下水流向和环境保护目标，合理设置地下水和土壤监测点，严格落实地下水和土壤监测计划。	已落实，四氯化硅冷氢化上料废气：本期项目共设6条冷氢化上料生产线，每条上料系统产生的含硅粉尘分别经1套金属烧结过滤器处理，再经1根45m排气筒达标排放，处理后的废气满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）二级标准要求。后处理车间破碎废气：破碎过程产生的粉尘经集气罩收集后，由装置自带的抽风除尘装置（布袋除尘器）处理后并入空调净化系统经净化后进入车间通风系统，以无组织形式排放。渣浆处理装置水洗废气：本期项目设有2个渣浆回收装置，每个装置冷凝器产生的不凝气和水洗罐产生的水洗废气主要含氯化氢，收集后经2套二级洗涤塔洗涤处理，再经2根33m排气筒达标排放，净化后的废气满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）二级标准要求。工艺废气处理尾气：本期项目设有10组工艺废气处理设备，7用3备，各工艺产生的废气，收集后一并送工艺废气处理装置，经“压缩+深冷+三级水洗喷淋”工艺处理，再经10根28m排气筒排放，处理后的废气满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）二级标准要求。污水处理站石灰装卸废气：污水处理站石灰装卸过程中产生的石灰粉尘通过布袋除尘器处理后，以无组织形式外排。燃气锅炉废气：本期项目运行初期需启用一期燃气锅炉和电锅炉为系统提供蒸汽，系统运行稳定后其自身产生的蒸汽可满足项目使用需求，不再启用锅炉供汽。锅炉采用低氮燃烧技术，依托一期25m排气筒排放，颗粒物、SO2和NOx的排放浓度满足《锅炉大气污染物排放标准》（GB13271-2014）中燃气锅炉排放限值要求，本次验收阶段系统已稳定运行，燃气锅炉未启用。生产装置区废气：生产装置区主要考虑设备密封不严而产生的HCl等气体，以无组织的形式外排。由检测报告知，工艺废气处理尾气中DA018、DA019、DA020、DA022、DA023、DA025、DA028、DA031、DA033、DA034排气筒排放的废气中氯化氢的最大排放浓度为32mg/m3，最大排放速率为0.0245kg/h，低于《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）新污染源二级标准要求（100mg/m3，1.2kg/h）；四氯化硅冷氢化上料废气中 DA021、DA024、DA027、DA030、DA032、DA035排气筒排放的废气中颗粒物的最大排放浓度别为6.3mg/m3，最大排放速率为0.00018kg/h，低于《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）新污染源二级标准要求（120mg/m3，49.5kg/h）；渣浆处理装置水洗废气中DA026、DA029排气筒排放的不凝气及水洗废气中氯化氢的最大排放浓度为31mg/m3，最大排放速率为0.0202kg/h，低于《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）新污染源二级标准要求（100mg/m3，1.2kg/h）。厂界无组织排放的颗粒物的最大排放浓度为0.272mg/m3＜1mg/m3；厂界无组织排放的氯化氢的最大排放浓度为0.144mg/m3 <0.20mg/m3，颗粒物和氯化氢浓度满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297－1996）表2新污染源无组织废气排放浓度限值。已落实，本项目1处理站，处理规模为240立方米/小时，采用中和加沉淀工艺，主要处理渣浆处理废水、工艺废气洗涤废水等，处理后的废水部分回用于渣浆处理单元，处理站处理；1**处理站，处理规模为200立方米/小时，采用膜软化加阳床加RO双膜工艺，主要处理电解制氢排水、循环冷却水排水等，处理后的废水部分回用于高纯水站和循环水站，处理站处理；1**处理站，1#线处理规模为37立方米/小时，采用“MVR+三效逆流蒸发结晶”工艺，处理站尾水，处理后的冷凝水全部回用于循环水系统，不外排。2#线和3#线（1用1备）处理规模为34立方米/小时，采用“MVR+冷冻结晶+三效逆流蒸发结晶”工艺，处理站尾水和高纯水站尾水，处理后的冷凝水全部回用于循环水系统，不外排。1 **处理站，处理规模为15立方米/小时，经格栅、风机降解COD处理站处理，处理后的水回用于生产，不外排。由检测报告知，处理站处理后，水质均满足《城市污水再生利用工业用水水质》（GB/T 19923-2024）洗涤用水标准。已落实，本项目通过优化高噪声设备布局，优先选用低噪声设备，采取消声、隔声、减振等降噪措施，由检测报告知，监测期间本项目厂界噪声值昼间最大值为63.7dB(A)，夜间最大值为54.6dB(A)，满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准要求。已落实，①废硅粉、废陶瓷件、废石墨件、除尘灰、废电解隔膜、废制氮分子筛、废膜、污泥属于一般工业固体废物，废硅粉依托厂区现有废硅粉库暂存，定期外售给峨市**公司；废陶瓷件定期外售给省**公司；废石墨件定期外售给河公司；除尘灰回用于生产；废电解隔膜、废制氮分子筛、废膜产生后由生产厂家回收，不落地处置；污泥经康达**公司对进行了属性鉴定，最终结果为不属于危险废物，属于一般固体废物，委托溢凯**公司处理。 ②含水氯化钙、硫酸钠和氯化钠经**公司对其进行了属性鉴定，最终结果为均不属于危险废物，均属于一般固体废物，定期外售给蓝**公司。 ③废反歧化催化剂、废吸附剂、废高沸裂解催化剂、废机油、废树脂属于危险废物，由专用容器收集后依托厂区现有危险废物暂存间暂存，废反歧化催化剂、废吸附剂、废高沸裂解催化剂、废树脂委托夏江（**公司进行处置；废机油委托昱**公司进行处置。 ④生活垃圾经垃圾箱集中收集后委托包公司进行清运处理。本项目已按规范要求设置了自动监测、报警、紧急切断及紧急停车系统，可燃气体和有毒气体监测报警系统，以及防火、防爆、防中毒等事故处理系统。储罐设置了高、低液位报警，装置区设置了围堰，罐区设置了防火堤，设置了初期雨水池、事故废水池，确保有效截留未经处理的废水和事故水。公司目前完成了包括一期、二期工程《突发环境事件应息预案》的编制，环境局分局备案，备案编号分别为150203-2021-048-H和150203-2022-019-H。球罐区、初期雨水池、事故水池、冷氢化车间 A/B/C、精馏及反歧化车间、还原车间A/B/C、还原尾气回收装置、渣浆回收车间、工艺废气处理装置、污水处理站、高盐废水回收装置、处理站、**处理站和废渣库均为重点防渗区，采用200厚C30抗渗钢筋混凝土浇筑，抗渗等级为P8，渗透系数≤1.0×10-10cm/s，满足重点防渗要求；制氢车间、循环水站、脱盐水站、高纯水站、制冷站、废硅粉库、硅粉库房、成品库房和均为一般防渗区，采用100厚C30抗渗钢筋混凝土浇筑，抗渗等级为P6，渗透系数≤1.0×10-7cm/s，满足一般防渗要求；空压站、制氮站均为简单防渗区，进行简单地面硬化。本期项目建立了完善的地下水和土壤监测制度，根据重点污染防治区平面布置、地下水流向和环境保护目标，设有3个地下水监测点和3个土壤监测点，定期对地下水和土壤进行监测。本期项目验收期间未启用锅炉，无二氧化硫和氮氧化物排放；本期项目生产、生活污水全部回用不外排，无COD和氨氮排放，因此，验收期间主要污染物排放总量未超过总量批复文件的要求。
①实际建设1座工艺废气处理装置，内设10套“压缩+冷凝+三级水洗喷淋+28m排气筒”（7用3备），用于处理生产工艺废气、冷氢化置换废气、还原炉开停车置换气、硅粉接受罐置换气、氯硅烷储罐泄压废气以及事故排气等废气实际建设阶段比环评设计阶段多了压缩工序，压缩工序可以增加废气的压力，有助于提高深冷和后续水洗的效率，从而更有效地去除废气中的污染物，故工艺废气处理尾气的环保设施数量比环评设计值少，故加了压缩工序后现有的10套（7用3备）环保设施就可以处理工艺废气处理尾气。该工序每天工作8h（冷氢化置换、还原炉开停车置、硅粉接受罐置换、氯硅烷储罐泄压以，上述过程每天最大运行时间为8h），每年工作350d（每月会进行检修）。排气筒DA018氯化氢平均排放速率为0.0206kg/h；排气筒DA019氯化氢平均排放速率为0.0241kg/h，该排气筒氯化氢年排放量为0.068t；排气筒DA020氯化氢平均排放速率为0.0151kg/h，该排气筒氯化氢年排放量为0.043t；排气筒DA022氯化氢平均排放速率为0.0244kg/h，该排气筒氯化氢年排放量为0.069t；排气筒DA023氯化氢平均排放速率为0.013kg/h，该排气筒氯化氢年排放量为0.037t；排气筒DA025氯化氢平均排放速率为0.0251kg/h，该排气筒氯化氢年排放量为0.071t；排气筒DA028氯化氢平均排放速率为0.0274kg/h，该排气筒氯化氢年排放量为0.077t；排气筒DA031氯化氢平均排放速率为0.0239kg/h，该排气筒氯化氢年排放量为0.067t；排气筒DA033氯化氢平均排放速率为0.0256kg/h；排气筒DA034氯化氢平均排放速率为0.0262kg/h；工艺废气处理过程中氯化氢年排放总量为0.432t（其中DA018、DA033、DA034属于3套备用环保设施及其排气筒，正常情况下不启用，常用的出现故障后才启用，故环保设施及排气筒运行的总量为7套），环评设计量为0.564t，氯化氢实际排放量减少。 ②实际建设1个后处理/包装车间，后处理车间破碎产生的废气经集气罩收集后，由装置自带的抽风除尘装置（布袋除尘器）处理后并入空调净化系统经净化后进入车间通风系统，以无组织形式排放本项目后处理车间设空调净化系统，破碎过程产生的粉尘由装置自带的抽风除尘装置处理后并入空调净化系统全部回用，排放方式由有组织排放变为无组织排放，厂界颗粒物无组织平均排放浓度为0.27mg/m3，本项目占地面积334148m2，无组织排放平均高度为6m，无组织排放的颗粒物量为0.0005t，环评设计量为0.504t，实际无组织排放的颗粒物量减少。 ③渣浆处理车间水洗废气进入渣浆回收配套处理系统，共设置2套“两级水洗+33m排气筒”，经处理后外排至大气该工序每天工作24h，每年工作350d（每月会进行检修）。排气筒DA026氯化氢平均排放速率为0.0173kg/h，该排气筒氯化氢年排放量为0.145t；该工序排气筒DA029氯化氢平均排放速率为0.0146kg/h，该排气筒氯化氢年排放量为0.123t；渣浆处理过程中氯化氢年排放总量为0.268t，环评设计量为0.256t，氯化氢实际排放量增加了4.7%＜10%。 ④四氯化硅冷氢化上料过程产生含硅粉尘，共设置6套“金属烧结过滤器+45m排气筒”，经处理后外排至大气环评阶段设计3座冷氢化车间，每座车间设置2条冷氢化上料线，各自安装有相应的金属烧结过滤器处理，处理后每座车间2条冷氢化上料线以1根排气筒排放；实际建设过程中，处理后每座车间2条冷氢化上料线经各自的排气筒排放，故排气筒数量变为6根。该工序每天工作8h，每年工作350d（每月会进行检修）。该工序排气筒DA021颗粒物平均排放速率为0.216g/h，该排气筒颗粒物年排放量为0.605kg；该工序排气筒DA024颗粒物平均排放速率为0.274g/h，该排气筒颗粒物年排放量为0.767kg；该工序排气筒DA027颗粒物平均排放速率为0.309g/h，该排气筒颗粒物年排放量为0.86kg；该工序排气筒DA030颗粒物平均排放速率为0.303g/h，该排气筒颗粒物年排放量为0.848kg；该工序排气筒DA032颗粒物平均排放速率为0.216g/h，该排气筒颗粒物年排放量为0.879kg；该工序排气筒DA035颗粒物平均排放速率为0.153g/h，该排气筒颗粒物年排放量为0.428kg；四氯化硅冷氢化工段硅粉上料过程中颗粒物年产生量为4.687kg，环评设计量为252kg，颗粒物实际排放量减少。 ⑤1座生活污水预处理装置，处理规模为15m3/h，生活污水经格栅截留悬浮物、风机降解COD处理站处理后回用，不外排实际运行过程中，每人每天的用水量比设计值小，生活污水的产生量为2.83m3/h，处理站的处理规模；生活污水经格栅截留悬浮物、风机降解COD**处理站处理后回用，不外排，减少了污染物的排放。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

按规范设置自动监测、报警、紧急切断及紧急停车系统，可燃气体、有毒气体监测报警系统和在线分析系统，以及防火、防爆、防中毒等事故处理系统。储罐设置高、低液位报警，装置区设置围堰，罐区设置防火堤，设置初期雨水收集池、全厂事故水收集池在内的事故水污染防控系统，确保有效截留未经处理的废水和事故水。按照《建设项目环境风险评价技术导则》(HJ169-2018)相关要求，明确识别环境风险因子，完成一期工程的风险评估，在二期工程投产前，完成包括一期、二期工程和全厂《突发环境事件应息预案》及《危险废物意外事故防范措施和应急预案)》的编制， **分局备案。按照“分类管理、分级响应、区域联动”的原则，园区、政府及有关部门的环境风险应急三级联动机制，定期开展突发环境事件应急演练，提升区域环境风险防范能力，有效防控由安全生产事故引发的环境风险。严格按照报告书要求，对重点污染防治区、一般污染防治区等采取分区防渗措施，进一步强化管道、污水、事故水收集池防渗要求，加强防渗设施的日常维护，对出现破损的防渗设施应及时修复和加固，确保防渗设施牢全。加强隐蔽工程泄漏检测，一旦发现泄漏，应立即采取补救措施，防止污染地下水和土壤。建立完善的地下水和土壤监测制度。根据重点污染防治区平面布置、地下水流向和环境保护目标，合理设置地下水和土壤监测点，严格落实地下水和土壤监测计划。主要污染物排放总量不超过总量批复文件要求。	本项目已按规范要求设置了自动监测、报警、紧急切断及紧急停车系统，可燃气体和有毒气体监测报警系统，以及防火、防爆、防中毒等事故处理系统。储罐设置了高、低液位报警，装置区设置了围堰，罐区设置了防火堤，设置了初期雨水池、事故废水池，确保有效截留未经处理的废水和事故水。公司目前完成了包括一期、二期工程《突发环境事件应息预案》的编制，**环境局分局备案，备案编号分别为150203-2021-048-H和150203-2022-019-H。球罐区、初期雨水池、事故水池、冷氢化车间 A/B/C、精馏及反歧化车间、还原车间A/B/C、还原尾气回收装置、渣浆回收车间、工艺废气处理装置、污水处理站、高盐废水回收装置、处理站、**处理站和废渣库均为重点防渗区，采用200厚C30抗渗钢筋混凝土浇筑，抗渗等级为P8，渗透系数≤1.0×10-10cm/s，满足重点防渗要求；制氢车间、循环水站、脱盐水站、高纯水站、制冷站、废硅粉库、硅粉库房、成品库房和均为一般防渗区，采用100厚C30抗渗钢筋混凝土浇筑，抗渗等级为P6，渗透系数≤1.0×10-7cm/s，满足一般防渗要求；空压站、制氮站均为简单防渗区，进行简单地面硬化。本期项目建立了完善的地下水和土壤监测制度，根据重点污染防治区平面布置、地下水流向和环境保护目标，设有3个地下水监测点和3个土壤监测点，定期对地下水和土壤进行监测。
本期项目验收期间未启用锅炉，无二氧化硫和氮氧化物排放；本期项目生产、生活污水全部回用不外排，无COD和氨氮排放，因此，验收期间主要污染物排放总量未超过总量批复文件的要求。

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0	0	0
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8225.238	8225.238	8225.238	/
0	0	0	/
0	0	0	/
0.013	0.013	0.013	/
0	0	0	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	机械搅拌装置、四级中和池、带框式搅拌机、高效沉降池、斜板沉淀池、压滤水箱、酸性污泥浓缩池搅拌机、自动隔膜压榨机、吹气工艺系统、石灰乳制备罐、推进式搅拌机、石灰料仓	《城市污水再生利用工业用水水质》（GB/T 19923-2024）洗涤用水标准	机械搅拌装置、四级中和池、带框式搅拌机、高效沉降池、斜板沉淀池、压滤水箱、酸性污泥浓缩池搅拌机、自动隔膜压榨机、吹气工艺系统、石灰乳制备罐、推进式搅拌机、石灰料仓	2024.**.22，PH7.4-7.5,氯化物243-246。2024.**.23，PH7.4-7.5,氯化物239-242
2	一体化处理设施	《城市污水再生利用工业用水水质》（GB/T 19923-2024）洗涤用水标准	格栅、鼓风机	2024.**.22，五日生化需氧量18.7-20，化学需氧量51-60,悬浮物19-24，氨氮58.5-60.9.2024.**.23，五日生化需氧量21.8-23.9，化学需氧量51-63,悬浮物18-25，氨氮58-60.3.
3	板式预热器表面冷凝器强制蒸发器分离器洗气塔斜板沉降槽二效进料罐一效蒸发器二效蒸发器表面冷凝器一效分离器二效分离器一效除沫器二效除沫器一效冷凝水罐二效冷凝水罐冷凝水罐溢流缓存罐切片机板式预热器表面冷凝器强制蒸发器	《城市污水再生利用工业用水水质》（GB/T 19923-2024）洗涤用水标准	板式预热器表面冷凝器强制蒸发器分离器洗气塔斜板沉降槽二效进料罐一效蒸发器二效蒸发器表面冷凝器一效分离器二效分离器一效除沫器二效除沫器一效冷凝水罐二效冷凝水罐冷凝水罐溢流缓存罐切片机板式预热器表面冷凝器强制蒸发器	2024.**.22，溶解性总固体232-334.2024.**.23，溶解性总固体285-312.
4	高效管袋式膜软化过滤器低压RO系统高压RO系统污泥处理系统推流式混合器调理池搅拌机碳酸钠料仓碳酸钠溶药罐搅拌机絮凝剂搅拌机膜软化产水池搅拌机 RO还原剂搅拌机 RO阻垢剂搅拌机电加热器污泥储池搅拌机压滤机废水收集池搅拌机	《城市污水再生利用工业用水水质》（GB/T 19923-2024）洗涤用水标准	高效管袋式膜软化过滤器低压RO系统高压RO系统污泥处理系统推流式混合器调理池搅拌机碳酸钠料仓碳酸钠溶药罐搅拌机絮凝剂搅拌机膜软化产水池搅拌机 RO还原剂搅拌机 RO阻垢剂搅拌机电加热器污泥储池搅拌机压滤机废水收集池搅拌机	2024.**.22，溶解性总固体386-470.2024.**.23，溶解性总固体517-590.

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	3套“金属烧结过滤器+25m高排气筒”	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）新污染源二级标准	6套“金属烧结过滤器+45m高排气筒”	颗粒物最大排放浓度别为6.3mg/m3，最大排放速率为0.00018kg/h
2	2套“两级水洗+25m排气筒”	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）新污染源二级标准	2套“两级水洗+33m排气筒”	氯化氢的最大排放浓度为31mg/m3，最大排放速率为0.0202kg/h
3	12套“深冷+三级水洗+25m排气筒”	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）新污染源二级标准	10套“压缩+深冷+三级水洗+28m排气筒”	氯化氢的最大排放浓度为32mg/m3，最大排放速率为0.0245kg/h，

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

减震、隔声、消声等降噪措施

《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3 类区标准限值要求

减震、隔声、消声等降噪措施

厂界噪声值昼间最大值为63.7dB(A)，夜间最大值为54.6dB(A)

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

废渣库含水氯化钙储罐

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

1座消防泵房，并配备相应的消防、稳压系统，以及 1座有效容积为7000m3的消防水池。设置室外消火栓、灭火器、可燃气体报警系统、火灾报警系统、SIS系统以及紧急切断系统等。设置事故应急池1座，容积为11000m3；设置初期雨水池1座，容积为3200m3

实际建设1座消防泵房，并配备相应的消防、稳压系统，以及1座有效容积为 7000m3的消防水池。设置室外消火栓、灭火器、可燃气体报警系统、火灾报警系统、SIS系统以及紧急切断系统等。设置事故应急池1座，容积为11000m3；设置初期雨水池1座，容积为3200m3。储罐区围堰大小为33×26×1.2m，分为10 个区，每个区面积约为85.8m2，内防火堤高度为1.2m。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程