公告信息: | |||
采购项目名称 | ********学院晶圆级直立式低维材料制备及原位调控系统采购 | ||
品目 | 货物/设备/仪器仪表/试验仪器及装置/其他试验仪器及装置 | ||
采购单位 | **** | ||
行政区域 | **市 | 公告时间 | 2024年10月25日 16:39 |
获取招标文件时间 | 2024年10月25日至2024年11月01日 每日上午:9:00 至 11:30 下午:14:00 至 17:30(**时间,法定节假日除外) | ||
招标文件售价 | ¥400 | ||
获取招标文件的地点 | e交易平台(https://www.****.com) | ||
开标时间 | 2024年11月15日 09:00 | ||
开标地点 | **市**区清**路18****广场D栋11楼开标1室 投标人因故未出席开标会的,视同同意本项目开标结果。 | ||
预算金额 | ¥800.000000万元(人民币) | ||
联系人及联系方式: | |||
项目联系人 | 陈亚囡 黄旭 | ||
项目联系电话 | 025-****0795、139****1668 | ||
采购单位 | **** | ||
采购单位地址 | **市四牌楼2号 | ||
采购单位联系方式 | ****学院:景老师 188****1774; ****管理处:刘老师 025-****2693。 | ||
代理机构名称 | **** | ||
代理机构地址 | **市**区清**路18****广场D栋9楼908室 | ||
代理机构联系方式 | 陈亚囡 黄旭 025-****0795、139****1668 |
一、项目基本情况
项目编号:****
项目名称:********学院晶圆级直立式低维材料制备及原位调控系统采购
预算金额:800.000000 万元(人民币)
最高限价(如有):800.000000 万元(人民币)
采购需求:
项目地点:******湖校区
项目概况:****学院采购晶圆级直立式低维材料制备及原位调控系统1套,主要技术参数:
晶圆级直立式低维材料制备及原位调控系统
一、材料制备系统
(一)电阻加热部分(A B腔)
1.反应腔室系统
(1)包含三段式立式电炉×2组;3温区独立加热,每个区段设一个温控热电偶;
(2)三区电阻加热,最大加热功率4.5KW;电阻炉最高温度:1050℃;
(3)温度范围:RT~900℃@衬底表面。
2.前驱体系统、进气气路系统
(1)前驱体系统包含2组金属有机源瓶(W、Mo)及2组非金属有机源瓶(S、Se)(不含原料),并配备独立水浴用于控制有机源挥发温度,0-60 ℃范围内可调;气体管路需有保温保护层,防止前驱体在管壁冷凝沉积;
(2)进气气路系统包含1组高纯载气Ar,1组高纯载气H2,及1组Ar/H2S高纯反应气体;以上气体及前驱体均可通过质量流量计、电磁阀门及程序控制通入两个反应腔体中;
(3)最大工艺气体流量:10~15slm;
(4)最大允许氦检漏率:5×10-8 mbar*l/s。
(二)电感加热部分(C D腔)
1.反应腔室系统
(1)包含2台中频感应加热电源及感应线圈;
(2)腔体内最大加热温度:约1000℃;
(3)温度范围:RT~约900℃@衬底表面;
2.前驱体系统、进气气路系统
(1)前驱体系统包含2组金属有机源瓶及2组非金属有机源瓶(不含原料),并配备独立水浴用于控制有机源挥发温度;
(2)进气气路系统包含1 组高纯载气Ar,1 组高纯载气H2,及1组Ar/H2S高纯反应气体;以上气体及前驱体均可通过质量流量计、电磁阀门及程序控制通入两个反应腔体中;
(3)最大工艺气体流量:10~15slm;
(4)最大允许氦检漏率:5×10-8 mbar*l/s。
本项目不接受进口产品投标,技术参数详见招标文件。
合同履行期限:合同签订后12个月内交货并验收合格。
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求:
1.满足《****政府采购法》第二十二条规定;
2.落实政府采购政策需满足的资格要求:
无
3.本项目的特定资格要求:3.1满足《****政府采购法》第二十二条规定;(1)具有独立承担民事责任的能力(提供法人或者其他组织的营业执照;供应商为自然人的,提供其身份证); (2)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度(提供2023年度的财务报告,或投标截****银行出具的资信证明);(3)具有履行合同所必需的设备和专业技术能力(供应商根据履行采购项目合同需要,提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料);(4)有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记****政府采购活动前半年内至少一个月:提供缴纳税收的凭证;提供缴纳社会保险的凭据),依法享受免缴、缓缴的,提供证明材料;(5****政府采购活动前三年内,在经营活动中没有重大违法记录(提供承诺书);(6)法律、行政法规规定的其他条件:无3.2落实政府采购政策需满足的资格要求:无 3.3采购人根据采购项目的特殊要求规定的特定条件,并提供符合特殊要求的证明材料或者情况说明:无。3.4第3.1(5)条所称重大违法记录,是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。3.5 ****政府采购活动前3年内因违法经营被禁止****政府采购活动,期限届满的,****政府采购活动。3.6单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商,不得参****政府采购活动。为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商,不得再参加该采购项目的其他采购活动。3.7拒绝列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单及其他不符合《****政府采购法》第二十二条规定****政府采购活动。采购人或者采购代理机构在进行资格审查的同时,依法通过“中国政府采购网”、“信用中国”网站等渠道查询投标人信用记录并保存。
三、获取招标文件
时间:2024年10月25日 至 2024年11月01日,每天上午9:00至11:30,下午14:00至17:30。(**时间,法定节假日除外)
地点:e交易平台(https://www.****.com)
方式:(1)凡有意参加投标者,请于获取时间内登录e交易平台按照要求进行实名会员注册、完善相关信息及选择项目报名、下载招标文件,平台网址为:http://www.****.com。下载者首次登录平**,须前往平台免费注册,注册成功且完善相关信息后,可以及时参与平台上所有发布的项目。 (2)下载者应充分考虑平台注册、信息检查、资料上传、购标确认、费用支付所需时间,下载者必须在获取时间内完成支付,否则将无法保证获取招标文件。未按照本公告要求获得本项目招标文件的,招标代理机构不予接收其投标文件。 (3)下载者需要发票的,须通过平台“资金管理”模块进行操作。招标文件服务费发票由招标代理机构开具;下载者选择开具增值税普通发票的,可在”资金管理--标书费电子发票”下载增值税电子普通发票;选择开具增值税专用发票的,可在”资金管理--专用发票申请”中填写相关信息;平台服务费发票由**易****公司开具。非因招标代理机构或平台原因,发票一经开具不予退换。 (4)平台网站首页“帮助中心”提供操作手册,下载者可以下载并根据操作手册提示进行注册、登录等操作。易交易平台技术支持联系方式 供应商技术支持热线:400-****-0799(工作时间:9:00-11:30,13:30-19:00) 供应商项目参与操作说明: https://www.****.com/upload/link/2022/08/30/48e1dd12-5050-4bbf-bfc9-a0d7a037ba1c.pdf 技术支持服务态度不满意投诉热线:400-****-0799转0。 (5)联合体投标(如允许)的,联合体各方应当指定牵头人,并授权其以自身名义在平台办理注册、下载文件、缴纳保证金等手续,其在平台的办理行为,对联合体各方均具有约束力。
售价:¥400.0 元,本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间:2024年11月15日 09点00分(**时间)
开标时间:2024年11月15日 09点00分(**时间)
地点:**市**区清**路18****广场D栋11楼开标1室投标人因故未出席开标会的,视同同意本项目开标结果。
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
1.****政府采购网网站发布公告。
2.投标人应当从采购代理机构合法获得招标项目的招标文件。本次招标请按“标段”获取招标文件,编制、提交投标文件,并按“标段”开标、评标。
3.勘察现场:无
4.投标人前来投标的授权代表,必须为本单位员工,需提供投标人为其缴纳的截止至投标截止时间前3个月的社保缴纳证明材料。
5.行业划分:工业
6.本项目(非专门)面向中小企业采购。
7.本项****监狱企业采购。
8.本项目(非专门)面向残疾人福利性单位采购。
9.投标人应提供投标文件一式伍份(正本壹份、副本肆份),所有投标文件均应密封后递交,同时应提供电子版投标文件壹份(电子版须为投标文件正本加盖公章、签字后形成PDF扫描件,扫描件内容应与纸质投标文件正本完全一致、U盘形式(单独封装)、随纸质正本文件一并提交)。当电子版文件和纸质正本文件不一致时,以纸质正本文件为准。电子版文件用于辅助评标**台存档,投标人需承担前述不一致造成的不利后果。
七、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称:****
地址:**市四牌楼2号
联系方式:****学院:景老师 188****1774; ****管理处:刘老师 025-****2693。
2.采购代理机构信息
名 称:****
地 址:**市**区清**路18****广场D栋9楼908室
联系方式:陈亚囡 黄旭 025-****0795、139****1668
3.项目联系方式
项目联系人:陈亚囡 黄旭
电 话: 025-****0795、139****1668