一、采购单位：****

二、项目名称：微型高压测试腔体

三、公开信息：

1.设备名称：微型高压测试腔体

2.数量：1

3.关键技术指标：台体尺寸长宽小于300mmx300mm,可以进出手套箱;腔体支持10^-6mbar真空度,同时支持2个大气压压力不泄露;样品台温度:室温~300℃,温控分辨率0.1℃;配置四个可腔体外控制的三维定位器,定位行程10mmx10mmx15mm;配置四个三同轴接口的直流测试治具,漏电分辨率≤100fA;

4.预算金额：190,000.00元

5.拟成交供应商：****

6.拟成交价格：189,000.00元

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2024年10月28日