一、采购单位：****

二、项目名称：超长工作距离显微光机系统

三、公开信息：

1.设备名称：超长工作距离显微光机系统

2.数量：1

3.关键技术指标：载物台尺寸6"； 平整度：＜±5μm； X-Y轴行程范围6”*10”（152.4mm*252.4mm），移动精度1μm；R轴粗调角度范围 360°，细调角度范围 ±9°，细调精度0. 01°； Z轴细调行程范围13mm，调节精度1μm；Z轴快升可调行程范围0-6mm，调节精度5μm

4.预算金额：190,000.00元

5.拟成交供应商：****

6.拟成交价格：186,000.00元

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2024年10月28日