[备案]面向芯片前道制程的高端深紫外物镜2409-220172-04-02-478340
| [备案]面向芯片前道制程的高端深紫外物镜**** | ******开发区经济发展局 | 已备案 |
| 1 | ****开发区****政府核准投资项目目录外社会事业项目）备案 | ******开发区经济发展局 | 2024-11-01 |
面向芯片前道制程的高端深紫外物镜情況公示
| 项目编码： | **** | 项目名称： | 面向芯片前道制程的高端深紫外物镜 |
| 单位名称： | **** | 社会统一信用代码： | ****0100MA84T8KA43 |
| 建设地点： | **省:**市_******开发区 | 项目单位申报类型： | 私营企业 |
| 项目所属行业： | 制造业 - 仪器仪表制造业 - 光学仪器制造 - 光学仪器制造 | ||
| 建设性质： | ** | 项目总投资（万元）： | 3000 |
| 计划开工时间： | 202304 | 计划竣工时间： | 202905 |
| 审核结果： | 已备案 | 备案流水号： | 202********172****2098 |
| 备案机关： | ******开发区经济发展局 | ||
| 备案日期： | 2024-11-01 | 备案变更时间： | |
| 主要建设规模及内容 | 购置3台定心车，2台定心仪 ，2台哈特曼，光清洗机，多台光学平台，166干涉仪，266机光器，及装修，多台空调，多台空压机，地面，多个洁净板，FFU等机器。 |
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