集成电路电子级新材料项目（一期）

华北北京天津河北山西内蒙古

华中河南湖北湖南江西

华南广东广西海南

东北吉林辽宁黑龙江

西北陕西甘肃宁夏青海新疆

华东山东安徽上海江苏浙江福建

西南云南贵州四川重庆西藏

集成电路电子级新材料项目（一期）

更新时间	2024年11月02日
招标单位	请登录查看
截止时间	请登录查看
关键信息	集成电路
招标文件	请登录查看

还不是会员？马上注册吧！
免费注册咨询此项目

1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0429MA7CC4CU99	李文盛
许沙裟	省市**县
市县金砂湾工业区

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

集成电路电子级新材料项目（一期）

2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造	C3985-C3985-电子专用材料制造
	省市**县金砂湾工业区
经度:116.30248 纬度: 29.77839	****环境局
	2023-09-28
九环评字〔23〕44号	****
2024-03-13	12000
357.2	****
****0429MA7CC4CU99	****公司
9136 0406 MA35 P5FP77	****公司
****0406MA35P5FP77	2024-09-21

2024-09-23	2024-10-24
	http://www.**.cn/jxhdcy2017/vip_doc/**1361.html

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

项目选址于**高新园区，地块中心地理坐标为东经116°17’57.719”，北纬29°46'28.908"属项目。	项目选址于**高新园区，地块中心地理坐标为东经116°17’57.719”，北纬29°46'28.908"属项目。
无变动。

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

生产集成电路电子级新材料等，产品方案为：电子级五氟化碘 300 吨/年、电子级氟基激光混配气 289.13吨/年准分子激光混配气9吨/年、动态混配气 48.24 吨/年、半导体级氘代产品 0.963 吨/年(氚代甲醇 0.88 吨/年、氘代甲烷 0.025吨/年、氘代氨 0.029 吨/年、氘代硅烷 0.029 吨/年)。项目总投资 21876.6万元，其中环保投资310万元，占总投资的1.42%。生产集成电路电子级新材料等，产品方案为：电子级五氟化碘 300 吨/年、电子级氟基激光混配气 289.13吨/年准分子激光混配气9吨/年、动态混配气 48.24 吨/年、半导体级氘代产品 0.963 吨/年(氚代甲醇 0.88 吨/年、氘代甲烷 0.025吨/年、氘代氨 0.029 吨/年、氘代硅烷 0.029 吨/年)。项目总投资 21876.6万元，其中环保投资310万元，占总投资的1.42%。	由于市场需求，集成电路电子新材料项目进行分期建设。一期建设年产300吨电子级五氟化碘、289.13吨电子级氟基激光混配气、动态混配气48.24吨、29千克氘代硅烷、年产副产品30%氢氟酸18.84吨。二期建设年产准分子激光混配气 9 吨、氘代甲醇0.88吨、氘代甲烷0.025吨、氘代氨0.029吨。本次验收一期建设项目。
项目进行分期建设，本次验收一期建设内容。

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

电子级氟基激光混配气、电子级五氟化碘生产线：首先通过电解制氟工序生产电子级氟气，之后，与惰性气体经过混配单元设备混合后生产电子级氟基激光混配气产品，与碘经过五氟化碘反应系统反应生成五氟化碘。由真空喷射泵和真空缓冲罐保证电解制氟工序和五氟化碘合成工序全流程处于微负压状态，若压力达到微正压（100Pa），装置会连锁停车并将工艺气体通过尾气处理装置吸收排放。动态混配气生产线：动态混配系统用于特定行业中各种用途的特定光刻混配气体。该系统可以根据客户需求混配各种比例不同的混合气体。动态混配气生产为纯物理过程，不涉及化学反应。动态混配气生产工艺所用的氮气、氦气、氖气原料需要经过纯化后使用。半导体级氘代生产线：氮气吹扫催化反应，提纯。	电子级氟基激光混配气、电子级五氟化碘生产线：首先通过电解制氟工序生产电子级氟气，之后，与惰性气体经过混配单元设备混合后生产电子级氟基激光混配气产品，与碘经过五氟化碘反应系统反应生成五氟化碘。由真空喷射泵和真空缓冲罐保证电解制氟工序和五氟化碘合成工序全流程处于微负压状态，若压力达到微正压（100Pa），装置会连锁停车并将工艺气体通过尾气处理装置吸收排放。动态混配气生产线：动态混配系统用于特定行业中各种用途的特定光刻混配气体。该系统可以根据客户需求混配各种比例不同的混合气体。动态混配气生产为纯物理过程，不涉及化学反应。动态混配气生产工艺所用的氮气、氦气、氖气原料需要经过纯化后使用。半导体级氘代生产线：氮气吹扫催化反应，提纯。
不变动

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

废水：“雨污分流、清污分流、分质分类”的原则合理设计、建设厂区排水管网，严格落实《报告书》提出的废水处理措施，你公司厂内外污水管网应做到明管架空布设，同时标识好管网名称、污水种类、流向。工艺废水、钢瓶清洗废水、地面冲洗废水、尾气吸收塔废水、循环冷却水排水、脱盐水系统浓水和初期雨水经“中和+沉淀+pH调节”预处理，生活污水经“化粪池+格栅池预处理，一起进入厂内生化系统（处理工艺:综合调节池+厌氧池+缺氧池+好氧池+沉淀池），处理规模：24 m3/d)处理，达《无机化学工业污染物排放标准》(GB31573-2015**工业园污水处理厂进水水质要求中较严值后，通过园区污工业园污水处理厂处理。废气：按照《报告书》的要求，严格落实各项大气污染防治措施。根据各类工艺废气污染物的性质采取相应的环保措施，处理设施的处理能力、效率应满足需要，排气简高度、永久性采样监测孔和采样监测平台须符合国家有关要求，采用成熟稳定的先进工艺技术，加强运行管理和环境管理，按照《重点行业挥发性有机物综合治理方案》对挥发性有机物进行治理，确保各种大气污染物排放满足有关标准要求;严格落实无组织排放废气的各项控制措施，降低对周边环境的影响。项目颗粒物(有组织)、氯化物、氯化氢排放执行《无机化学工业污染物排放标准》(GB31573-2015)，甲醇(有组织)、TV0C(有组织、无组织厂界)排放执行《挥发性有机物排放标准第2部分:有机化工行业》(DB36/1101.2-2019)，氨排放执行《恶臭(异味)污染物排放标准》(DB31/1025-2016)，挥发性有机物(无组织厂区内)排放执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822-2019)，颗粒物(无组织)、甲醇(无组织)、一氧化碳(有组织)排放执行《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)。噪声：落实声环境保护措施。优先选用低噪声设备，优化高噪声设落实声环境保护措施。优先选用低噪声设备，优化高噪声设。噪声：落实声环境保护措施。优先选用低噪声设备，优化高噪声设落实声环境保护措施。优先选用低噪声设备，优化高噪声设。固废：严格落实固体废物污染防治措施。按照“减量化、化、无害化”原则，对固体废物进行分类收集、处理和处置，并确保不造成二次污染。按《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020)和《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)管理一般工业固废暂存库和危险废物暂存库，按照市****环境保护部门相关要求管理企业产品，产生的一般工业固体废物应合法处置，危险废物必须交由有相应资质的单位处理，并严格执行转移联单等制度。	废水：项目钢瓶清洗废水、地面冲洗废水、尾气吸收塔废水、循环冷却水排水、脱盐水系统浓水和初期雨水经“中和+沉淀+pH调节”预处理；生活污水经化粪池预处理。预处理后生活污水与生产废水一起进入厂内生化系统（处理工艺:综合调节池+厌氧池+缺氧池+好氧池+沉淀池），处理规模：24 m3/d)处理。废气：项目有组织废气主要为工艺废气。 1、电解制氟生产废气电解制氟生产线废主要为气氢气系统废气、氟气系统废气，电子级氟基激光混配气生产中的吹扫废气、产品充装残余废气，五氟化碘生产的反应尾气和蒸馏塔废气。氢气系统废气：氢气系统废气单独引至一套一级水吸收+一级碱吸收系统处理后，通过20m高排气筒（DA001）排放。其它含氟废气：氟气系统废气、电子级氟基激光混配气废气一同经风机引至一套二级水吸收+一级碱吸收系统处理后通过15米高排气筒（DA002）排放；五氟化碘生产废气经风机引至一级碱吸收系统处理后通过 15 米高排气筒（DA002）排放。 2、动态混配气生产废气吹扫废气：废气主要为生产准备期间采用氖气吹扫相关生产设备产生的吹扫废气，主要成分为氮气。充装残余尾气：在生产结束后生产装置内残余的尾气，该废气成分与产品成分相同。动态混配气的充装残余尾气主要成分为氢气和惰性气体，以无组织形式排放。 3、半导级氘代生产废气氘气生产废气主要为阳极废气和阴极的氘气提纯废气，氘代产品废气主要来源于粗产品的提纯废气。氘气：氘气生产中的阳极废气主要成分为氧气、重水，阴极的氘气提纯废气主要成分为氘气、重水，以无组织形式排放。氘代硅烷：氘代硅烷生产废气经过吸附装置（吸附剂为活性炭）吸附后通过放空管直接排放到大气，排放口位置距离地面约15m（DA003）。 4、罐区废气本项目储罐废气经收集后引至1#厂房一级碱吸收处理系统，处理后通过 15 米高排气筒（DA002）排放。噪声：选用低噪声设备，合理布设高噪声设备，高噪声设备要远离厂界和环境敏感点，高噪声设备采取墙体隔声、厂区绿化吸收等措施，项目厂界噪声值符合《工业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准要求。固废：项目的固体废物主要为五氟化碘蒸馏釜残、废电解质、废弃的碳板、废分子筛、废催化剂、尾气处理废活性炭、碱吸收产生的废渣、除盐水生产装置产生的废活性炭以及废反渗透膜和废离子交换树脂、废包装物及生活垃圾等。生活垃圾交由环卫部门进行处理；蒸馏釜残、尾气处理废活性炭、废包装物、碱吸收产生的废渣属于危险废物，规范收集后交由交由******公司处置；废电解质、废催化剂属于危险废物，由于产生周期较长，待产生后交由有资质的第三方进行收集处理；除盐水生产装置产生的废活性炭、废反渗透膜和废离子交换树脂属于一般固废，收集后外售综合利用；氮气、氦气、氖气纯化器内的废催化剂、废弃的碳板属于一般固废，收集后外售综合利用。
生活污水预处理减少格栅，通过化粪池预处理后进入收集池，再进入调节池。生产废水处理设施不变化。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

严格落实环境影响报告书和评估意见提出的各项环境风险防控措施。强化化学品从贮运、使用到生产各个环节的事故防范，物料和废物应做到分类、分区存放。设置围堰、防渗排水沟，安装有毒气体监测报警仪。按环评要求设置足够容积的事故应急设施，事故收集装置正常情况下必须空置，一旦发生突发性事故时，企业必须立即停产，启用收集设施收集事故下的废水，待该收集池内废水全部处理完后方可恢复生产，确保突发性事故产生的各类废液、废水不进入外环境。健全企业环境风险防范与应急管理体系，制定全厂环境风险防控措施和突发环境事件应急预案，做好应急设施的检查维护，配套足够的应急物资，特别是有毒有害气体泄漏风险防范和应急处置措施、物资要保障到位。突发环境事件应急预案（须报市、县生态环****园区相邻企业、当地政府进行有效衔接，定期协同有关部门开展应急演练。本项目试生产前，应按有关规定申领排污许可证。	设置足够容积的事故应急设施，事故收集装置正常情况下应保持低液位，一旦发生突发性事故时，立即采取收集措施，启用收集设施收集事故下的废水，待该收集池内废水全部处理完后方可恢复生产，确保突发性事故产生的各类废液、废水不进入外环境。建设单位于2024年3月编制完成《突发环境事件应急预案》并进行了备案，风险级别为“较大［较大-大气（Q2-M1-E2）+较大-水（Q2-M2-E2）］”，备案号为360429-2024-006-M。公司每年至少组织一次应急演练，**公司员工应急响应及处置能力，有效控制事故影响。建设单位于2024年03月13日通过重点排污许可证首次申请，证书编号为**，有效期为：自2024年03月13日至2029年03月12日止。
不变动

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0.2449	0.3864	0.245	0.245
0.098	0.193	0.098	0.098
0.0014	0.019	0.001	0.001
0.0007	0.058	0.001	0.001
0.0095	0.002	0.009	0.009
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0.001	0.0002	0.001	0.001	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

污水处理设施

《无机化学工业污染物排放标准》（GB31573-2015）、****处理厂进水水质要求

中和沉淀+生化+污泥压滤

项目外排废水中COD、SS、总磷、氟化物均低于《无机化学工业污染物排放标准》（GB31573-2015）中标准限值要求；BOD5、氨氮、****工业园污水处理厂进水水质要求

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	氢气系统废气处理设施	《无机化学工业污染物排放标准》（GB31573-2015）	一级水吸收+一级碱吸收+20米高排气筒	制氢系统废气中污染因子氟化氢检测结果为未检出
2	氟基激光混配气产线废气处理设施	《无机化学工业污染物排放标准》（GB31573-2015）	二级水吸收+一级碱吸收+15米高排气筒	氟基激光混配气工艺废气中颗粒物、氟化物、氯化氢排放浓度均满足《无机化学工业污染物排放标准》（GB31573-2015）中标准限值要求
3	电子级五氟化碘废气处理设施	《无机化学工业污染物排放标准》（GB31573-2015）	一级碱吸收+15m排气筒	氟基激光混配气工艺废气中颗粒物、氟化物、氯化氢排放浓度均满足《无机化学工业污染物排放标准》（GB31573-2015）中标准限值要求
4	氘代硅烷产线废气处理设施	《挥发性有机物排放标准第2部分有机化工行业》（DB36/1101.2-2019）	活性炭吸附装置+15m排气筒	氘代硅烷工艺废气VOCS排放浓度均满足《挥发性有机物排放标准第2部分有机化工行业》（DB36/1101.2-2019）中标准限值要求

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

项目主要噪声源为各类泵、膜压机、风机、冷却机组、钢瓶滚瓶机、钢瓶内部处理机等设备产生的噪声

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类

通过控制设备噪声、合理布局减少影响

项目厂界昼间和夜间噪声值均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准限值要求

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

严格落实固体废物污染防治措施。按照“减量化、**化、无害化”原则，对固体废物进行分类收集、处理和处置，并确保不造成二次污染。按《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020)和《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)管理一般工业固废暂存库和危险废物暂存库，按照市****环境保护部门相关要求管理企业产品，产生的一般工业固体废物应合法处置，危险废物必须交由有相应资质的单位处理，并严格执行转移联单等制度。

项目的固体废物主要为五氟化碘蒸馏釜残、废电解质、废弃的碳板、废分子筛、废催化剂、尾气处理废活性炭、碱吸收产生的废渣、除盐水生产装置产生的废活性炭以及废反渗透膜和废离子交换树脂、废包装物及生活垃圾等。生活垃圾交由环卫部门进行处理；蒸馏釜残、尾气处理废活性炭、废包装物、碱吸收产生的废渣属于危险废物，规范收集后交由交由******公司处置；废电解质、废催化剂属于危险废物，由于产生周期较长，待产生后交由有资质的第三方进行收集处理；除盐水生产装置产生的废活性炭、废反渗透膜和废离子交换树脂属于一般固废，收集后外售综合利用；氮气、氦气、氖气纯化器内的废催化剂、废弃的碳板属于一般固废，收集后外售综合利用。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

严格落实环境影响报告书和评估意见提出的各项环境风险防控措施。强化化学品从贮运、使用到生产各个环节的事故防范，物料和废物应做到分类、分区存放。设置围堰、防渗排水沟，安装有毒气体监测报警仪。按环评要求设置足够容积的事故应急设施，事故收集装置正常情况下必须空置，一旦发生突发性事故时，企业必须立即停产，启用收集设施收集事故下的废水，待该收集池内废水全部处理完后方可恢复生产，确保突发性事故产生的各类废液、废水不进入外环境。健全企业环境风险防范与应急管理体系，制定全厂环境风险防控措施和突发环境事件应急预案，做好应急设施的检查维护，配套足够的应急物资，特别是有毒有害气体泄漏风险防范和应急处置措施、物资要保障到位。突发环境事件应急预案（须报市、县生态环****园区相邻企业、当地政府进行有效衔接，定期协同有关部门开展应急演练。

设置足够容积的事故应急设施，事故收集装置正常情况下应保持低液位，一旦发生突发性事故时，立即采取收集措施，启用收集设施收集事故下的废水，待该收集池内废水全部处理完后方可恢复生产，确保突发性事故产生的各类废液、废水不进入外环境。建设单位于2024年3月编制完成《突发环境事件应急预案》并进行了备案，风险级别为“较大［较大-大气（Q2-M1-E2）+较大-水（Q2-M2-E2）］”，备案号为360429-2024-006-M。公司每年至少组织一次应急演练，****公司员工应急响应及处置能力，有效控制事故影响。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程