华东理工大学涂胶和真空镀膜系统公开招标公告
招标发布时间：2024/11/4 9:39:34
投标截止时间：2024/11/25 10:00:00
| 涂胶机 | 1批 | |||
| 电子束热蒸发镀膜机 | 1批 | |||
| 磁控溅射镀膜机 | 1批 |
发票要求： 不用发票（备注：专票资质可以报普票要求） 供应商性质： 注册资金： 无特殊要求 经营地址： 无特殊要求
商务条款 投标要求： 收获地： >** 交货期： 0天
详细说明 项目编号：****
项目名称：****涂胶和真空镀膜系统
预算金额：130.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：130.000000 万元（人民币）
采购需求：
本次采购内容：
| 序号 | 名称 | 数量 | 简要要求 |
| 1 | 涂胶机 | 1套 | 包括低转速涂胶机、高转速涂胶机和烤胶机，满足光刻胶涂覆工艺 |
| 2 | 电子束热蒸发镀膜机 | 1套 | 1.满足金属和氧化物等材料的电子束蒸发和热蒸发功能。泵组功能稳定低噪音，干燥洁净环境下30分钟达到6*10-6TORR，本底真空优于2*10-7TORR 2.膜厚不均匀性小于±5% |
| 3 | 磁控溅射镀膜机 | 1套 | 满足功能材料的磁控溅射镀膜，带等离子体清洗功能。 1.极限真空优于5.0×10-5Pa；漏率：≤1×10E-8 Pa*L/s（国家标准）；关机12小时后，真空度≤5Pa(手套箱干燥氮气环境) 2.膜厚不均匀性小于±5%； 3.配4个3英寸磁控溅射靶枪； |
| 4 | 耗材和配套设施 | 1 | 提供靶材一套，超纯水和气体管路1套 |
交付地点：****指定地点。
合同履行期限：交货期：合同签订后45个工作日内
本项目( 不接受 )联合体投标。
友情提示：
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