RTP快速退火炉
****2024年11至12月政府采购意向-RTP快速退火炉 详细情况
| RTP快速退火炉 | |
| 项目所在采购意向： | ****2024年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | RTP快速退火炉 |
| 预算金额： | 240.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A****9900其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 设备技术要求:加热速率:指炉子对样品进行加热的速度，裸晶圆升温速率需要到150°C/s。最高工作温度:指炉子可以达到的最高温度，需要到1400°C。温度均匀性:指炉子内部温度分布的均匀程度，通常以温度偏差或者温度梯度来表征。600℃以内士3℃，600℃以上士0.5% 4:恒温时问:指样品在设定温度下保持稳定的时间长度，对于快速退火炉来说，保温时间通常较短。可以支持1200℃持温时间>10分钟，可以支持1400℃持温时间>3分钟。5:控温精度:指炉子对温度控制的精确度，通常以温度偏差来表征。士1℃极限真空6:真空度(如果是真空炉):指炉子内部的真空程度，通常以帕斯卡(Pa)为单位。<20mTorr(3Pa) |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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