嘉庚创新实验室2024年10月至2024年12月政府采购意向
为便****政府采购信息，根据《****政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将****2024年度（第6批）采购意向公开如下：
| 1 | 反应离子束刻蚀系统 | 采购内容：反应离子束刻蚀系统 采购数量：1套 主要功能或目标：结合纯物理刻蚀及反应气体辅助的化学刻蚀，可实现对包括贵金属的各类金属，介质，化合物，石英等各类材料的刻蚀加工，为开展微电子、光电子、人工智能、储能器件等新技术的研究提供了重要的研究方法. 需满足的要求：1.设备适用样品范围：最大支持 8寸，并向下兼容。2.设备操作模式：全自动操作界面。3.离子源：射频离子源。4.离子源直径：≥200mm，等详见招标文件 | 490.000000 | 2024年12月 | 无 |
| 2 | 超高速激光修复系统组件 | 采购内容：超高速激光修复系统组件 采购数量：1套 主要功能或目标：本项目旨在开发一套超高速激光巨量修复系统，实现Micro-LED芯片键合后高速修复 需满足的要求：1.对位模块模块开发及验证：包括对位机制开发，对位模块设计、对位影像光学模组开发、精准对位控制软件开发、对位系统测试等，实现玻璃基板最大尺寸: 730mm x 920mm；COC2最大尺寸: ≧250mm X 250mm；有效行程: 1500mm x 1850mm；加工精度: ± 1 um；直线度: ± 3 um/500mm；平面度: ± 5 um/500mm；对位精度≤±1μm等详见招标文件。 | 650.000000 | 2024年12月 | 无 |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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2024年11月04日
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