独家采购公示

一、采购人：信息材料与微纳器件制备平台

二、项目名称：信息材料与微纳器件制备平台套刻精度量测设备防震基座独家采购

三、采购内容：防震基座

四、采购预算：42,000元

五、独家采购的说明：

本次拟采购的防震基座为套刻精度量测设备所需，在芯片加工过程中的光刻、沉积、刻蚀等工艺步骤，每次处理都可能涉及不同材料层，为保证多层结构的电路图案能精确对齐，从而保证成品芯片的功能和性能完好，需用套刻精度量测设备进行测量校准，从而调整相应工艺，故需保证套刻精度量测设备的自身稳定性，以满足测量数据的真实可靠；本次拟采购的防震基座是为满足已完成定标的套刻精度量测设备的震动要求，ONTO公司为套刻精度量测设备的中标供应商，ONTO公司根据多年经验及以往**情况综合考量，推荐协伟作为防震基座的供应商。为保证套刻精度量测设备的安装和使用要求，拟定本次防震基座向协伟集成电路****公司独家采购

六、拟成交供应商信息：协伟集成电路****公司

地址：****区港业路50号4栋

七、公示期限：从2024年11月8日至2024年11月14日止。

八、对本次采购提出异议，请按以下方式联系：

对公示内容有异议的，可在公告期内以有效形式提出：

联系人：孙老师

联系方式：0574-8626 1579

联系邮箱：yefeng-sun@ylab.****.cn

投诉联系人：朱老师

投诉联系方式：0574-8628 1299

投诉联系邮箱：xinfang@ylab.****.cn