采购内容:探针台；主要功能或目标:立体显微镜：15x–100x放大倍率，实现 fF 级别测量；具有大视野和可用于照相机的C型卡口；四个三轴探头臂和高质量的三轴电缆；光/EMI 屏蔽；用于 fF 级别测量的升级选项；RIAX卡盘具有±8的theta卡盘精细旋转，三个辅助区域，卡盘表面具有±5μm的平面度，以实现一致的接触力和超行程；利用单一设置可完成东/西至北/南测量。；需满足的要求:光子芯片精确定位和瞄准；实现光子芯片的多端光电性能测试和分析，配合平台已有设备，构建无源和无源光电器件设计和流片、异质结光芯片制备、光子芯片集成测试耦合和封装、片上集成光谱成像芯片流片和测试，铌酸锂、碳酸锂晶体材料等工艺线。。

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