青岛嘉展力拓碳化硅衬底精细加工（年产量72000片）项目

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青岛嘉展力拓碳化硅衬底精细加工（年产量72000片）项目

更新时间	2024年11月11日
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关键信息	碳化硅
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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0214MA94KA7LXY	蔡国基
孟庆磊	省市**区
省市**区荟城路606-38号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

**嘉展力拓碳化硅衬底精细加工（年产量:72000片）项目

2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造	C3985-C3985-电子专用材料制造
	省市区办事处汇大桥北
经度:120.400000 纬度: 36.356972	****环境局
	2022-07-20
青环城审〔2022〕82号	无
2024-05-21	24237
320	****
****0214MA94KA7LXY	****
****0214MA94KA7LXY	****公司
****0211MA3CBM4J44	2023-12-29

2024-06-21	2024-07-19
	https://www.****.com/gs/detail/2?id=406214HMEm

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

占地面积约19亩（约12667m2）、建筑面积约27973m2，主要建设内容为2座厂房、1座动力站。项目年产72000片碳化硅衬底片。	占地面积约19亩（约12667m2）、建筑面积约27973m2，主要建设内容为2座厂房、1座动力站。项目年产72000片碳化硅衬底片。
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

退火、切割、蚀刻、切割清洗、倒角、雷刻、研磨、研磨清洗、抛光、清洗、刷片、酸碱清洗、终检	退火、切割、蚀刻、切割清洗、倒角、雷刻、研磨、研磨清洗、抛光、清洗、刷片、酸碱清洗、终检
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

（一）废水项目衬底片加工(切割、倒角、研磨、抛光)过程产生的清洗废水，切割、清洗及抛光过程产生的废液，酸碱清洗废液及清洗废水，喷淋塔废水(废液)及生**处理站进行处理。其中生产废水经“调节+酸碱中和+混凝沉淀”的工艺处理，生活污水经“水解酸化+接触氧化”处理后与循环冷却排污水、纯水制备浓水一同经市政管网排入即**公司。（二）废气项目衬底片清洗过程产生的碱性气体(氨气)经集气管道收集后引入1套酸液喷淋塔处理，酸性废气(硫酸雾、氯化氢及氟化物)经集气管道收集后引入1套碱液喷淋塔处理，尾气一起经1支20m高的 P1排气筒排放。项目切割、切割清洗、倒角、雷刻、研磨、研磨清洗及抛光工序产生的废气，经各工序设备自带引风管收集引入1套“水喷淋+活性炭吸附装置”处理后，尾气经1支20m高的P2排气筒排放。热水机组燃烧器采用低氮燃烧技术，燃气废气经1支15m高的P3排气筒排放。污水处理站各处理单元加盖板，盖板上预留集气口，上方设管道集气系统，废气经收集后引入1套活性炭吸附装置处理，尾气经1支15m高的P4排气筒排放。（三）噪声项目噪声源主要为设备运行时产生的机械噪声。选取低噪声设备，合理布局，采取隔声减震等措施。（四）固体废物项目生产过程中产生的废石墨坩埚，废保温毡，废碳纸，废石墨绳，废边角料，不合格产品，废切割线，废磨轮，废氢氧化钾，废包装材料，纯水制备过程产生的废过滤材料(废过滤膜、废滤芯、废离子交换树脂)属于一般固废，经收集后外售综合利用;废氧化钾，废酸液(硝酸)，污水处理站污泥，化学品等的废包装，废活性炭，沾染有机溶剂的废抹布属于危险废物，交由有危险废物处理资质的单位进行妥善处置。。	（一）废水项目衬底片加工(切割、倒角、研磨、抛光)过程产生的清洗废水，切割、清洗及抛光过程产生的废液，酸碱清洗废液及清洗废水，喷淋塔废水(废液)及生**处理站进行处理。其中生产废水经“调节+酸碱中和+混凝沉淀”的工艺处理，生活污水经“水解酸化+接触氧化”处理后与循环冷却排污水、纯水制备浓水一同经市政管网排入即**公司。（二）废气项目衬底片清洗过程产生的碱性气体(氨气)经集气管道收集后引入1套酸液喷淋塔处理，酸性废气(硫酸雾、氯化氢及氟化物)经集气管道收集后引入1套碱液喷淋塔处理，尾气一起经1支20m高的 P1排气筒排放。项目切割、切割清洗、倒角、雷刻、研磨、研磨清洗及抛光工序产生的废气，经各工序设备自带引风管收集引入1套“水喷淋+活性炭吸附装置”处理后，尾气经1支20m高的P2排气筒排放。热水机组燃烧器采用低氮燃烧技术，燃气废气经1支15m高的P3排气筒排放。污水处理站各处理单元加盖板，盖板上预留集气口，上方设管道集气系统，废气经收集后引入1套活性炭吸附装置处理，尾气经1支15m高的P4排气筒排放。（三）噪声项目噪声源主要为设备运行时产生的机械噪声。选取低噪声设备，合理布局，采取隔声减震等措施。（四）固体废物项目生产过程中产生的废石墨坩埚，废保温毡，废碳纸，废石墨绳，废边角料，不合格产品，废切割线，废磨轮，废氢氧化钾，废包装材料，纯水制备过程产生的废过滤材料(废过滤膜、废滤芯、废离子交换树脂)属于一般固废，经收集后外售综合利用；废氢氧化钾，废酸液(硝酸)，污水处理站污泥，化学品等的废包装，废活性炭，沾染有机溶剂的废抹布、废机油、废机油桶、废含汞荧光灯管属于危险废物，暂存危废间交由有危险废物处理资质的单位进行妥善处置。
项目生产设备维修保养产生废机油、废机油桶，纯水站进行纯水制备会产生废含汞荧光灯管属于危险废物，同原有危废一起暂存危废间，委托有资质单位进行处理

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

无	无
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

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4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

污水处理站

厂区污水总排口各污染物满足《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020）表1间接排放中的“电子专用材料”标准，其中氟化物满足《流域水污染物综合排放标准第5部分：半岛流域》（DB37/3416.5-2018）中的限制要求

项目衬底片加工(切割、倒角、研磨、抛光)过程产生的清洗废水，切割、清洗及抛光过程产生的废液，酸碱清洗废液及清洗废水，喷淋塔废水(废液)及生****处理站进行处理。其中生产废水经“调节+酸碱中和+混凝沉淀”的工艺处理，生活污水经“水解酸化+接触氧化”处理后与循环冷却排污水、纯水制备浓水一同经市政管网排入即****公司

满足排放标准

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

酸液喷淋塔、碱液喷淋塔、水喷淋+活性炭吸附装置、低氮燃烧技术、活性炭吸附装置

1、有组织废气：P1排气筒排放的硫酸雾、氯化氢、氟化物排放浓度、排放速率执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中的二级标准要求，氨排放速率执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2标准要求；P2排气筒排放的VOCs排放浓度、排放速率执行《挥发性有机物排放标准第7部分：其他行业》（DB37/2801.7-2018）表1中标准要求；P3排气筒排放的颗粒物、SO2、NOx排放浓度执行《区域性大气污染物综合排放标准》（DB37/2376-2019）表1中重点控制区标准限值要求（基准含氧量 3.5%）；P4排气筒氨、硫化氢及臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2中的排放标准。无组织废气：氨、硫化氢厂界无组织排放监控浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1中的二级（新改扩建）标准要求；VOCs、异丙醇、臭气浓度厂界无组织排放监控浓度执行《挥发性有机物排放标准第7部分：其他行业》（DB37/2801.7-2018）表2、表3中的厂界监控点浓度限值要求

项目衬底片清洗过程产生的碱性气体(氨气)经集气管道收集后引入1套酸液喷淋塔处理，酸性废气(硫酸雾、氯化氢及氟化物)经集气管道收集后引入1套碱液喷淋塔处理，尾气一起经1支20m高的 P1排气筒排放。项目切割、切割清洗、倒角、雷刻、研磨、研磨清洗及抛光工序产生的废气，经各工序设备自带引风管收集引入1套“水喷淋+活性炭吸附装置”处理后，尾气经1支20m高的P2排气筒排放。热水机组燃烧器采用低氮燃烧技术，燃气废气经1支15m高的P3排气筒排放。污水处理站各处理单元加盖板，盖板上预留集气口，上方设管道集气系统，废气经收集后引入1套活性炭吸附装置处理，尾气经1支15m高的P4排气筒排放

满足排放标准

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

选取低噪声设备，合理布局，采取隔声减震等措施

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）表1中3类标准要求

选取低噪声设备，合理布局，采取隔声减震等措施

满足排放标准

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

项目生产过程中产生的废石墨坩埚，废保温毡，废碳纸，废石墨绳，废边角料，不合格产品，废切割线，废磨轮，废氢氧化钾，废包装材料，纯水制备过程产生的废过滤材料(废过滤膜、废滤芯、废离子交换树脂)属于一般固废，经收集后外售综合利用;废氧化钾，废酸液(硝酸)，污水处理站污泥，化学品等的废包装，废活性炭，沾染有机溶剂的废抹布属于危险废物，交由有危险废物处理资质的单位进行妥善处置。

项目生产过程中产生的废石墨坩埚，废保温毡，废碳纸，废石墨绳，废边角料，不合格产品，废切割线，废磨轮，废氢氧化钾，废包装材料，纯水制备过程产生的废过滤材料(废过滤膜、废滤芯、废离子交换树脂)属于一般固废，经收集后外售综合利用；废氢氧化钾，废酸液(硝酸)，污水处理站污泥，化学品等的废包装，废活性炭，沾染有机溶剂的废抹布、废机油、废机油桶、废含汞荧光灯管属于危险废物，暂存危废间交由有危险废物处理资质的单位进行妥善处置

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程