A-货物_A****0000-设备_A****0000-电工、电子生产设备_A****0300-电子工业生产设备

一套高真空电子束蒸镀及传送系统， 本设备主要适用于制备光学薄膜、导电薄膜、铁电薄膜等。我们所研究的谐振器以及滤波器都是属于高频器件，保障高频器件的性能需要器件的高成膜质量。由于是高频，在成膜的过程中一点点细微的差别就能导致器件性能的巨大差别。此款电子束蒸发镀膜机具有load lock（真空锁）还有grove box （真空手套箱）功能，这两个功能可以有效防止镀膜过程中可能产生的污染，以保障镀膜的高质量，这对于我们科研想要获得准确的结果来说是极其重要的一步。首先该设备的Load Lock功能使该设备成为兼容高真空环境的自动传输系统。传输室与工艺腔室通过传输阀连接，通过机械手在传输室和工艺室内传输产品，可消除在每个基片循环期间工艺室排气和排空过程，提高系统效率。它是传输的晶圆在真空环境和大气环境之间转换的过渡腔室，例如，当晶圆需要从大气环境转化到真空环境的情况下，预装载腔室需要先处于大气环境，大气机械手可以将晶圆传输到预装载腔室内，然后对预装载腔室进行抽真空处理，使得预装载腔室处于真空状态，再由真空机械手传输到真空传输腔内，进而实现晶圆从大气环境传输至真空环境。此功能可以保障镀膜的均一性以及成膜的质量。另一个grove box功能将高纯惰性气体充入箱体内，并循环过滤掉其中的活性物质，这可以维护腔体里的环境，防止污染。