深圳清华大学研究院超滑技术研究所建设项目竣工环境保护验收监测报告

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深圳清华大学研究院超滑技术研究所建设项目竣工环境保护验收监测报告

更新时间	2024年11月13日
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关键信息	清华大学
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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
124********746191Q	嵇世山
梁凯	省市**区
市区兰景中路16号****基地A栋4楼

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

****建设项目竣工环境保护验收监测报告

2021版本:098-专业实验室、****基地	M73-M73-研究和试验发展
	省市区市区兰景中路16号**基地A栋4楼
经度:114.38071 纬度: 22.71627	**环境局管理局
	2023-05-29
深环坪备【2023】087号	无
	30
30	****研究院
124********746191Q	市绿**公司
914********603991C	市安鑫**公司
****0300MACUYE4A7M	2024-07-03
2024-07-07	2024-08-21
2024-10-18	2024-11-13
	https://www.****.com/detail.php?itemid=2816

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

从事超滑功能模块的研发，研发能力为500套/年，研发工艺为有机清洗、无机清洗、超声波清洗、二次清洗、旋涂、烘烤、显影、光刻、键合、退火、真空镀膜、剥离金属、反应离子蚀刻、湿法蚀刻、干法去胶、贴膜、切割、清洗、测试，研发能力为500套/年。	从事超滑功能模块的研发，研发能力为500套/年，研发工艺为有机清洗、无机清洗、超声波清洗、二次清洗、旋涂、烘烤、显影、光刻、键合、退火、真空镀膜、剥离金属、反应离子蚀刻、湿法蚀刻、干法去胶、贴膜、切割、清洗、测试，研发能力为500套/年。
未发生变动

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

从事超滑功能模块的研发，研发能力为500套/年，研发工艺为有机清洗、无机清洗、超声波清洗、二次清洗、旋涂、烘烤、显影、光刻、键合、退火、真空镀膜、剥离金属、反应离子蚀刻、湿法蚀刻、干法去胶、贴膜、切割、清洗、测试，研发能力为500套/年。	从事超滑功能模块的研发，研发能力为500套/年，研发工艺为有机清洗、无机清洗、超声波清洗、二次清洗、旋涂、烘烤、显影、光刻、键合、退火、真空镀膜、剥离金属、反应离子蚀刻、湿法蚀刻、干法去胶、贴膜、切割、清洗、测试，研发能力为500套/年，
未发生变动

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

有机清洗、无机清洗、超声波清洗、二次清洗、旋涂、烘烤、显影、光刻、键合、退火、真空镀膜、剥离金属、反应离子蚀刻、湿法蚀刻、干法去胶、贴膜、切割、清洗、测试	有机清洗、无机清洗、超声波清洗、二次清洗、旋涂、烘烤、显影、光刻、键合、退火、真空镀膜、剥离金属、反应离子蚀刻、湿法蚀刻、干法去胶、贴膜、切割、清洗、测试
未发生变动

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

（1）废水：本项目生活污水经化粪池进行处理后排入市政污水管网；纯水制备浓水可作为清净下水排入市政污水管网。（2）废气：酸性废气：项目设置1套酸性废气处理设施，将酸性废气引至裙楼楼顶经活性炭装置+碱液喷淋塔吸收处理处置后高空排放，排气筒高度约为20米，排放口编号为DA003；有机废气：项目设置2套有机废气处理设施，有机废气采用“活性炭+水喷淋塔”、二级活性炭吸附装置处理设施进行处理后高空排放，排气筒高度约为20米，排放口编号分别为DA001、DA002；碱性废气：设置1套碱性废气处理设施，将氨气经二级活性炭吸附装置处理后高空排放，排气筒高度约为20米，排放口编号为DA004；工艺尾气：经设备自带的1套电热水洗式设施处理后排放，排气筒高度约为20米，排放口编号为DA005。（3）固废：本项目废酸、废碱、含氟废液、废有机溶剂、废铬蚀刻液、废铜蚀刻液、其他蚀刻废液、光刻废液、废显影液、废包装容器、含有化学试剂的废抹布/手套、喷淋废液、洗涤废液和废活性炭等危险废物分类收集后暂存于危废仓库内，委托**定期拉运处置；废靶材、废刀片、废膜料、不合格品、废RO膜及废包装材**回收站处理；生活垃圾经分类收集后交由当地环卫部门统一清运并做无害化处理。（4）噪声：本项目噪声主要来源于机械设备运转时产生的噪声，采取措施：设备均设置在车间内，合理布局；车间墙体隔声；对设备进行经常性维护，保持设备处于良好的运转状态，同时加强内部管理，合理作业，避免不必要的突发性噪声。	（1）废水：本项目生活污水经化粪池进行处理后排入市政污水管网；纯水制备浓水可作为清净下水排入市政污水管网。（2）废气：酸性废气：项目设置1套酸性废气处理设施，将酸性废气引至裙楼楼顶经活性炭装置+碱液喷淋塔吸收处理处置后高空排放，排气筒高度约为20米，排放口编号为DA003；有机废气：项目设置2套有机废气处理设施，有机废气采用“活性炭+水喷淋塔”、二级活性炭吸附装置处理设施进行处理后高空排放，排气筒高度约为20米，排放口编号分别为DA001、DA002；碱性废气：设置1套碱性废气处理设施，将氨气经二级活性炭吸附装置处理后高空排放，排气筒高度约为20米，排放口编号为DA004；工艺尾气：经设备自带的1套电热水洗式设施处理后排放，排气筒高度约为20米，排放口编号为DA005。（3）固废：本项目废酸、废碱、含氟废液、废有机溶剂、废铬蚀刻液、废铜蚀刻液、其他蚀刻废液、光刻废液、废显影液、废包装容器、含有化学试剂的废抹布/手套、喷淋废液、洗涤废液和废活性炭等危险废物分类收集后暂存于危废仓库内，委托**定期拉运处置；废靶材、废刀片、废膜料、不合格品、废RO膜及废包装材**回收站处理；生活垃圾经分类收集后交由当地环卫部门统一清运并做无害化处理。（4）噪声：本项目噪声主要来源于机械设备运转时产生的噪声，采取措施：设备均设置在车间内，合理布局；车间墙体隔声；对设备进行经常性维护，保持设备处于良好的运转状态，同时加强内部管理，合理作业，避免不必要的突发性噪声。
未发生变动

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

未提其他要求	未提其他要求
未发生变动

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

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4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

化粪池

**省地方标准《水污染物排放限值》（DB44/26‐2001）第二时段三级标准

本项目所在片区的污水管网已与上洋水质净化厂纳污管网进行驳接。项目外排的生活污水经化粪池预处理后，生活污水中的污染物可达到《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段三级标准。

项目外排废水仅为生活污水及纯水制备尾水，水质较为简单，且厂房内其他企业共用化粪池处理，同时根据排污许可证核发规范，单独间接排放的生活污水可不做监测要求。因此本次验收未做废水监测。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

废气处理设施

项目产生的氯化氢、硫酸雾、氮氧化物、氟化物、氯气等排放执行**省《大气污染物排放限值》(DB44/27-2001)表2第二时段二级标准及无组织排放监控浓度限值；挥发性有机物排放执行**省地方标准《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367-2022)表1挥发性有机物排放限值和表3厂区内TVOC无组织排放限值，厂界外无组织排放执行**省《大气污染物排放限值》(DB44/27-2001)表2无组织排放监控浓度限值；氨气排放执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)中的表2恶臭污染物排放限值和表1恶臭污染物二级新扩改建厂界标准值。

有组织废气：硫酸雾、氯化氢、硝酸(以NOx计)、氮氧化物、氟化物、氯等排放符合**省《大气污染物排放限值》(DB44/27-2001)第二时段二级标准；挥发性有机物排放符合**省地方标准《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367-2022)表1挥发性有机物排放限值；氨排放符合《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)中的表1新改扩建二级标准和表2恶臭污染物排放限值。无组织废气：氯化氢、硫酸雾、氮氧化物、氟化物、氯气等排放满足**省《大气污染物排放限值》(DB44/27-2001)无组织排放监控浓度限值；挥发性有机物排放满足**省地方标准《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367-2022)表3厂区内TVOC无组织排放限值，厂界外无组织排放满足**省《大气污染物排放限值》(DB44/27-2001)表2无组织排放监控浓度限值；氨气排放满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)中的表2恶臭污染物排放限值和表1恶臭污染物二级新扩改建厂界标准值。

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

降噪措施

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准排放限值

基础减振、消声、墙体隔声等

项目厂界噪声值能达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准排放限值要求

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

固体废物管理遵照《中华人民**国固体废物污染环境防治法》、《**省固体废物污染环境防治条例》、《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）、《国家危险废物名录》、《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB 18599-2020）等的有关规定。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程