三温区低压化学气相沉积系统（JJ24001047）采购公告

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三温区低压化学气相沉积系统（JJ24001047）采购公告

更新时间	2024年11月13日
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三温区低压化学气相沉积系统	****
2024-11-13 14:31:52	2024-11-18 16:00:00
****

	签约后3个工作日内
￥110000.00




老校部104
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

三温区低压化学气相沉积系统

台

其他专用仪器仪表

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

贝意克

BTF-1200C-III-SL

￥ 110000.00

1、三温区CVD系统由三温区滑轨炉、四路供气系统和低真空机组构成 1.1三温区滑轨炉一套 1.1.1额定功率：6KW 1.1.2额定电压：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz 1.1.3最高温度：1200℃（1 hour） 1.1.4持续工作温度：≤1100℃ 1.1.5推荐升温速率：≤30℃/min 1.1.6炉管尺寸：Φ100mm*1850mm 1.1.7加热区长度：200+200+200mm 1.1.8恒温区长度：350mm 1.1.9滑动方式：手动式（手动自由移动炉体） 1.1.10控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 1.1.11控温精度：±1℃ 1.1.12标准配件：石英管1支，莫来石管堵1对，不锈钢横向卡箍法兰1套，硅胶密封圈2套，高温手套1副，坩埚钩1支 1.1.13所有法兰和管道材质为316L不锈钢 1.1.14密封系统：炉管两端配有金属密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式**嘴接头）端口可按实际使用扩展。 1.2 四路供气系统一套 1.2.1工作电压：185~245V，50 Hz 1.2.2最大输出功率：18W 1.2.3流量计标准量程：HCl用500ml的，O2用300ml，N2用20L（非特殊指定以氮气标定，量程可选），NH31000ml。 1.2.4工作温度：4~45℃ 1.2.5工作压差：0.1~0.5Mpa 1.2.6最大压力：3Mpa 1.2.7准确度：±1.5%F.S 1.2.8压力表测量范围：0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid） 1.2.9针阀：316不锈钢 1.2.10混气罐：Φ80*120mm 1.2.11截止阀：Φ6mm 1.3低真空机组一套 1.3.1空气相对湿度≤85% 1.3.2工作电电压：220V±10% 50~60HZ 1.3.3功率：≤1千瓦 1.3.4抽气速率：≥10m3/h 1.3.5真空度（冷态空载）：≤0.5Pa 1.3.6容油量：≥1.1L 1.3.7进气口口径：KF25 1.3.8排气口口径：KF25 1.3.9转速：≥1450rpm 1.3.10噪音：≤50dB 1.3.11真空计配用规管：ZJ-52T电阻规， 1.3.12真空计测量范围： 10 5 ～10 -1 Pa， 1.3.13真空计测量路数： 1路 1.3.14真空计控制范围： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， 1.3.15真空计控制方式：继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载， 1.3.16真空计电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 1.3.18真空计功耗： ≥20W 二、质保期炉体质保1年，货到工程师上门安装调试培训，所有设备每年免费检修一次

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