深圳大学 - 竞价结果公告（CB105902024001547）
**** - 竞价结果公告（****）
发布时间：2024-11-14 16:24:29
申购单号： ****
申购主题： 光刻胶的旋涂与烘烤
采购单位： ****
竞价开始时间： 2024-11-06 17:29:42
竞价截至时间： 2024-11-14 12:00:00
币种： 人民币
付款方式： 货到验收合格后付款
备注说明：
质疑说明： 如果对成交结果有异议，请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
成交总额： 79000.0
送货时间： 12月
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
收货地址：
| 匀胶旋涂仪 | Laurell | 69200.00 | 69100.00 | 一年质保 | 1、系统概述 1.1 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全； 1.2 防腐装置； ▲1.3设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护； 1.4 通信接口，蓝牙连接 2、处理腔体 2.1 处理腔体内径不小于220毫米； 2.2 Wafer芯片尺寸满足10-150mm直径的材料，方片125x125mm，无需更换片托； 2.3 腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质； 3、旋转马达 3.1 转动速度至少满足0-12,000rpm， 3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec； 3.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%； 4、控制系统 4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9sec/step ，精度不超过0.1s； ▲4.2配有高精度PLC可编程的控制器，设置点精度小于0.006%； 4.3 可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态； ★4.4 转速精度≤1RPM，具有国际NIST标准认证，并且无需再校准； 5、配套无油真空泵：真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)； | 1.0**** | WS-650Mz-23NPPB | 69100.00 | **** |
| 加热板 | AS ONE | 5000.00 | 4950.00 | 一年质保 | 6、加热模块： 6.1 最高温度：350℃； 6.2 平板尺寸：170×170mm； 6.3 温度设定范围：室温+10～350℃； 6.4 温度控制方式：微机PID控制方式； 6.5 温度显示方式：LCD数字显示； 6.6 定时器功能：设定范围/1分～99时59分（1分钟单位）； 6.7 程序功能：步骤数/最大8步骤，重复次数／最大9999次； | 2.0**** | NDK-1A-I | 9900.00 | **** |
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