高质量铌酸锂、钽酸锂等复合衬底量产线项目

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高质量铌酸锂、钽酸锂等复合衬底量产线项目

更新时间	2024年11月17日
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关键信息	铌酸锂
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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0591MA7YJ1UR9U	王晓宇
李志鹏	******开发区
主厂房**开发区金鼎路东、顺安街南（创新创业产业园10号厂房一层）、副厂房**开发区络桦路西、金匠街北（新材料产业园34号厂房一层）

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

高质量铌酸锂、钽酸锂等复合衬底量产线项目	****

2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造	C3985-C3985-电子专用材料制造
	****开发区主厂房开发区金鼎路东、顺安街南（创新创业产业园10号厂房一层）、副厂房**开发区络桦路西、金匠街北（新材料产业园34号厂房一层）
经度:112.**82054 纬度: 35.**41923	****开发区管理委员会
	2023-10-24
晋市开环审〔2023〕21号	****0591MA7YJ1UR9U001W
2024-05-15	10000
200	****
****0591MA7YJ1UR9U	****
****0591MA7YJ1UR9U	******公司
****0703MA44KA0B4B	2024-05-10
2024-05-12	2024-11-12
2024-10-14	2024-11-08
	http://www.****.com/show_news.asp?id=2877

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年产30000片复合衬底片	年产30000片复合衬底片
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

检测—清洗—多晶硅沉积—热氧化—表面离子注入—键合—倒角和研磨—热处理—化学机械抛光—二次清洗—检测和包装	检测—清洗—多晶硅沉积—热氧化—表面离子注入—键合—倒角和研磨—热处理—化学机械抛光—二次清洗—检测和包装
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

一次清洗工序、化学机械抛光工序和二次清洗工序产生的酸碱废气：废气（主要为硫酸雾、HCl、氟化物和氨气）经密闭管道收集后引至酸碱废气洗涤塔（碱喷淋）处理。处理后通过1根15m的排气筒排放。离子注入工序产生的工艺废气：废气（主要为PH3）经设备自带的废气处理设施（scrubber（干式吸附系统））处理。处理后通过1根15m的排气筒排放。多晶硅沉积工序产生的工艺废气和废气处理过程中产生的颗粒物：废气（主要为SiH4）经设备自带的POU废气处理设施（热氧化+水洗涤）处理。处理后通过1根15m的排气筒排放。主厂房纯水制备系统排水、倒角和研磨废水：经市政污水管网**处理厂处理。清洗工序废水、喷淋塔更换废水、化学机械抛光废水：通过厂区内的废水处理系统处理后经市政污水管网处理厂处理。厂内废水处理系统处理规模为15m3/d，处理工艺为“调节池+混凝絮凝沉淀池+澄清池”。生活污水：经市政污水管网处理厂处理。副厂房生活污水：经市政污水管网**处理厂处理	一次清洗工序、化学机械抛光工序和二次清洗工序产生的酸碱废气：废气经密闭管道收集后引至酸碱废气洗涤塔（碱喷淋）处理。处理后通过1根15m的排气筒排放。离子注入工序产生的工艺废气：废气经设备自带的废气处理设施（scrubber（干式吸附系统））处理后再引至清洗和抛光工序的酸碱废气洗涤塔（碱喷淋）处理，处理后与清洗抛光工序共用一根15m高排气筒排放。多晶硅沉积工序产生的工艺废气和废气处理过程中产生的颗粒物：废气经设备自带的POU废气处理设施（热氧化+水洗涤）+活性炭处理。处理后通过1根15m的排气筒排放。主厂房纯水制备系统排水、倒角和研磨废水：经市政污水管网**处理厂处理。清洗工序废水、喷淋塔更换废水、化学机械抛光废水：通过厂区内的废水处理系统处理后经市政污水管网处理厂处理。厂内废水处理系统处理规模为15m3/d，处理工艺为“调节池+混凝絮凝沉淀池+澄清池”。生活污水：经市政污水管网处理厂处理。副厂房生活污水：经市政污水管网**处理厂处理
离子注入工序废气与清洗抛光工序共用排气筒。多晶硅沉积工序废气处理装置增加了活性炭吸附处理装置，强化了环保治理措施

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

主厂房不合格产品：收集后外售；废弃包装、废抛光垫、废反渗透膜、废离子交换树脂：收集后由环卫部门集中处理。清洗废液、废试剂瓶（桶）、废吸附剂、废吸酸棉：暂存在危废贮存点，定期交由有资质的单位运走处置。污泥做危废鉴定，鉴果出具之前，暂按危险废物管理。若鉴别结果为一般固废，按一般工业固体废物管理要求，收集后定**填埋场进行填埋处置；若鉴别结果为危险废物，则交由有相应危废处理资质的单位处理。	主厂房不合格产品：收集后外售；废弃包装、废抛光垫、废反渗透膜、废离子交换树脂：收集后由环卫部门集中处理。清洗废液、废试剂瓶（桶）、废吸附剂、废吸酸棉：暂存在危废贮存点，定期交由有资质的单位运走处置。暂存在危废贮存点，定期交由县**公司运走处置
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0.5058	0	0.506	0.506
0.152	0.166	0.152	0.152
0.0076	0.008	0.008	0.008
0	0	0	0
0	0	0	0
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0.0014	0	0	/
0	0	0	0	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

主厂房废水处理系统

本项目废水经市政管网****处理厂处理，废水应满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1中间接排放的限值要求。GB39731-2020未规定的指标执行《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）表1中的A级标准，GB39731-2020与GB/T31962-2015中规定的相同指标执行较严值

本项目设有一套废水处理系统用于处理本项目产生的清洗工序废水、化学机械抛光废水和喷淋塔更换废水，采用的工艺为：调节池+混凝絮凝沉淀池+澄清池

本项目排入市政污水管网废水各指标可满足《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）表1中的A级标准，****处理厂纳管要求

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	主厂房一次清洗工序、化学机械抛光工序、二次清洗工序及离子注入工序废气处理系统	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）、《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）	在生产设备出气口处接集气管对酸碱废气进行收集，将废气引至本项目设的酸碱废气洗涤塔（碱洗塔）处理，处理达标后引至经1根15m高的排气筒排放，离子注入工序废气经设备自带的废气处理设施（scrubber（干式吸附系统））处理后再引至清洗和抛光工序的酸碱废气洗涤塔（碱喷淋）处理，处理后与清洗抛光工序共用一根15m高排气筒排放	氟化物出口浓度可满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2新污染源大气污染物排放限值标准：氟化物9mg/m3，处理效率达90%，可达标排放。硫酸雾出口浓度可满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2新污染源大气污染物排放限值标准：硫酸雾45mg/m3，处理效率92%，可达标排放。氯化氢出口浓度可满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2新污染源大气污染物排放限值标准：HCl 100mg/m3，处理效率88%，可达标排放。氨出口排放速率可满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）中排放标准值4.9kg/h，去除效率80%，可做到达标排放
2	副厂房多晶硅沉积工序和SiH4废气处理工序废气处理系统	《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）	废气经设备自带的POU废气处理设施（热氧化+水洗涤）+活性炭处理。处理后通过1根15m的排气筒排放	颗粒物未检出，颗粒物排放浓度满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中表2新污染源大气污染物排放限值要求120mg/m3

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

倒角机、研磨机、清洗机及风机等

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准

选用低噪声设备，基础减振，厂房隔声

根据监测结果，项目主厂房厂界噪声（等效声级）范围昼间56dB(A)-59dB(A)之间，夜间46dB(A)-48dB(A)之间；副厂房厂界噪声（等效声级）范围昼间56dB(A)-58dB(A)之间，夜间45dB(A)-48dB(A)之间；均可满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准：昼间65dB(A)，夜间55dB(A)，厂界噪声值可达标排放

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

不合格产品：收集后外售；废弃包装、废抛光垫、废反渗透膜、废离子交换树脂：收集后由环卫部门集中处理；清洗废液、废试剂瓶（桶）、废吸附剂、废吸酸棉：暂存在危废贮存点，定期交由有资质的单位运走处置；污泥做危废鉴定，鉴**果出具之前，暂按危险废物管理。若鉴别结果为一般固废，按一般工业固体废物管理要求，收集后定****填埋场进行填埋处置；若鉴别结果为危险废物，则交由有相应危废处理资质的单位处理。办公生活区产生的生****办公室设置生活垃圾箱，将职工产生的生活垃圾集中收集，运至环卫部门指定地点，不得长期堆存

不合格产品：收集后外售；废弃包装、废抛光垫、废反渗透膜、废离子交换树脂：收集后由环卫部门集中处理；清洗废液、废试剂瓶（桶）、废吸附剂、废吸酸棉：暂存在危废贮存点，定期交由有资质的单位运走处置；污泥暂存在危废贮存点，定期交由**县****公司运走处置；办公生活区产生的生****办公室设置生活垃圾箱，将职工产生的生活垃圾集中收集，运至环卫部门指定地点，不得长期堆存

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

①本项目工艺车间、工艺机台排风管处均设有气体环境监测报警器，所有报警装置均可发出声光信号，并将信号传输至厂内监控室；②化学危险物品由于具有危害和有用双重属性，涉及面广，接触人员多，专业要求相对较高。因此根据《化学危险物品安全管理条例》，并结合《常用化学品贮存通则》（GB15603-1995），同时针对本项目具体情况提出环境风险管理对策；③本项目危险废物暂存于危废贮存点，定期交由有资质的单位运走处置；④危废贮存点加强地面防渗，危险废物分区存放并设置围堰，围堰加强防渗，渗透系数≤10-7cm/s；⑤在暂存期内，定期检查，发生泄漏后及时采取截流措施，将泄漏的废液导流入围堰，使用沙土、吸液毡等措施后可将泄漏的废液控制在车间内；⑥加强巡视检查，建立系统规范的评估、审批、作业、监护、救援、应急程序、事故报告等管理制度；⑦制定项目突发环境****管理部门备案，一旦发生污染事故，立即启动应急预案，控制污染。此外，厂内环境风****园区区域环境风险防控系，当环境风险事故发生时按分级响应要求及时启动厂区-园区-区域环境风险防范措施，****园区区域环境风险防控设施及管理有效联动，有效防控环境风险

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程