高真空热蒸发镀膜系统
高真空热蒸发镀膜系统
基本信息：
| 申购单号： | **** | 签约时间： | 发布竞价结果后7天内签约合同 |
| 申购主题： | 高真空热蒸发镀膜系统 | 送货时间： | 合同签订后7天内送达 |
| 采购单位： | **** | 安装要求： | 免费上门安装（含材料费） |
| 报价要求： | 国产含税 | 收货地址： | **省/**市/**区/四望亭路180号****瘦**** |
| 发票类型： | 我要报价 | ||
| 币种： | 人民币 | ||
| 预算： | |||
| 付款方式： | 货到验收合格后付款 | ||
| 备注说明： | 结算方式为货到验收合格后，凭发票报销直接付款至供应商方账户，****政府******中标除外。生化试剂报价单位请在附件中附上代理资格证明，有过良好**的供应商优先选择。进口设备采用人民币总报价的方式，包含设备至用户指定地点的所有费用。 | ||
申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 高真空热蒸发镀膜系统 | 1台 | |
| 品牌 | 光拓 | ||
| 型号 | GT400 | ||
| 规格参数 | *1、配2组有机蒸发源，4组金属蒸发源；设备可与手套箱对接方便在手套箱中操作，前滑动开门结构，设备可融入手套箱整体设计、设备机架在手套箱下方不占用额外空间,该设备占地尺寸不大于1500*1300mm。真空室由不锈钢制成，内部尺寸至少为400mm*400mm*560mm 2、系统组成及技术参数： 2.1真空系统：真空泵机组主泵抽速不低于650/L/S； *2.2真空极限：优于5.0×10-5Pa（手套箱环境）；漏率：优于5×10－8Pa*L/S（国家标准）；关机12小时后，真空度≤5Pa； 2.3抽速，抽气时间：大气压~5×10-4Pa小于15min（手套箱环境）； 2.4基片台：抽屉式结构，承载不小于135×135mm 样品，最大转速可达30转/分钟，配气动基片挡板。样品台可水冷，基片与蒸发源距离可调。 *2.5蒸发源及电源：配4组金属蒸发源，金属源采用水冷铜电极+蒸发舟结构；配套高精度蒸发电源， 1台蒸发电源，功率不小于1.5KW，精度0.1A，蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动模式；2组700℃低温有机蒸发源带挡板；温控仪精确控温,精确控制输出，2台蒸发电源，功率不小于0.6KW，精度0.1A，蒸发源电源具有恒流和恒压二种驱动模式，优质品牌共蒸发膜厚仪，4路显示：配备显示精度0.01A/s，配备2套掩膜板装置。 *2.6膜厚仪：监测厚度显示范围 0-99.9999千埃；显示及控制精度：0.01埃，3个标准晶振传感器，均为水冷式，安放于基底附近。 *2.7控制方式 采用PLC+工控机实现一键式全自动控制系统；包括一键自动蒸镀功能可输入工艺参数速率及终厚，PID调节自动控制蒸发电源输出等（投标时提供实物图片佐证，系统上传） 2.8报警及保护 缺水、气压检测与保护，相序检测与保护，对泵、电极等缺水、气压等异常情况进行报警并执行相应保护措施； 2.9细节设计 金属蒸发源位置设计合理，最大程度节省贵金属金的消耗量；降低设备使用成本； 蒸发源分区域设计，源间配有隔板，源上配独立挡板减少相互污染； 抽气口加装过滤网保护分子泵，气路设计避免扬尘； 2.10关键配备及配件 设备主要部件如：金属及蒸发电源、膜厚仪等均为优质品牌。以保障设备的整体关键性能指标及耐久性。 设备的细节配件：1.电气部分PLC采用优质品牌PLC；继电器等原件采用优质品牌。2.所有挡板等动密封部位均采用磁流体密封以保证真空的长期可靠性。3.水路部分采用金属水排分水器，水管采用耐高温尼龙水管。以保障设备的稳定可靠性。 *2.11膜厚均匀性参数 方形基片成膜不均匀性：优于±5%。 其中*为必须满足条件。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
| 附件 | |||
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