三代半导体碳化硅晶圆片用CMP研磨液项目（一阶段）

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三代半导体碳化硅晶圆片用CMP研磨液项目（一阶段）

更新时间	2024年11月19日
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关键信息	半导体碳化硅晶圆片研磨液
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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0211MACH82FL0P	周岭苹
薛明	省市**区
胡埭镇金桂路2号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

三代半导体碳化硅晶圆片用CMP研磨液项目（一阶段）

2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造	C3985-C3985-电子专用材料制造
	省市**区胡埭镇金桂路2号
经度:120.143311 纬度: 31.575231	****审批局
	2024-02-21
锡行审环许〔2024〕6011号	****
2024-03-20	2500
120	****
****0211MACH82FL0P	****
****0211MACH82FL0P	无**集团**公司
913********343520T	2024-06-01

2024-10-21	2024-11-18
	http://bbs.**.cn/thread-**892-1-1.html

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年产三代半导体碳化硅晶圆片用CMP研磨液600吨	一阶段年产三代半导体碳化硅晶圆片用CMP研磨液300吨
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

1、三代半导体碳化硅晶圆片用CMP研磨液的生产工艺：搅拌分散-第一次微波干燥-第一次粉碎-第一次煅烧-第一次搅拌砂磨-第二次微波干燥-第二次粉碎-第二次煅烧-第二次搅拌砂磨-检验-包装 2、终检-外形检验：搅拌-烘干-煅烧-仪器检验 3、终检-效果检验：第一次清洗-抛光-第二次清洗-观测-包装	1、三代半导体碳化硅晶圆片用CMP研磨液的生产工艺：搅拌分散-第一次微波干燥-第一次粉碎-第一次煅烧-第一次搅拌砂磨-第二次微波干燥-第二次粉碎-第二次煅烧-第二次搅拌砂磨-检验-包装 2、终检-外形检验：一阶段暂不实施 3、终检-效果检验：第一次清洗-抛光-第二次清洗
一阶段企业仅使用纯水进行清洗，暂不使用乙醇和丙酮，则该工序对应的清洗废气、废包装材料、废乙醇、废丙酮暂不产生

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

废水部分：排水系统须采取“雨污分流”措施；本项目不得擅自从事酸洗、磷化、电镀、喷漆等表面处理的生产，生产废水须经厂内废水处理设施处理后达到《城市污水再生利用工业用水水质》(GB/T19923-2005)表1中标准，回用于冷却塔补充用水，确保无工业废水排放；生活污水须经预处理达到《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)中表1间接排放标准后接入污水管网，并送**公司集中处理。废气部分：本项目须对各工段产生的废气采取污染防治措施，确保废气中各污染物排放分别达到省《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021)中表1、表2、表3标准，排气简高度不低于15米；在生产车间50米的卫生防护距离范围内不得设置环境敏感点。噪声部分：本项目所有生产设备须合理布置，落实报告表中减轻、避免营运期间噪声影响的防治措施，确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)表1排放限值，即昼间≤65dB(A)，夜间≤55dB(A)。固废部分：按“减量化、**化、无害化”原则和环保管理要求，落实固体废物的收集、处置和综合利用措施，实现固体废物全部综合利用或安全处置。渣尘、废滤芯、污泥统一处置或回收综合利用；废包装材料、废乙醇、废丙酮、清洗废液、研磨废液、抛光废液、检验设备清洗废液、废活性炭、废过滤棉、废多介质过滤器及废膜等、不合格品、(第二次搅拌砂磨)砂磨机组清洗废液、灌装机清洗废液均属于危险废物，必须全部委托有资质单位安全处置，厂内危险废物的收集和贮存须符合《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)和《省生态环境厅关于进一步加强危险废物污染防治工作的实施意见》(苏环办[2019]327号)的有关要求并且在危险废物转移前办理危险废物转移、交换批准手续。生活垃圾应委托环卫部门统一处置。	废水：排水系统已采取“雨污分流”措施；本项目不从事酸洗、磷化、电镀、喷漆等表面处理的生产，生产废水经厂内废水处理设施处理回用于生产，冷却水循环使用，无工业废水排放；生活污水经化粪池预处理后接入污水管网，并送**公司集中处理。固废：本项目一阶段粉碎废气通过密闭集气罩收集，储罐进料过程中产生的废气采用真空输送的排气管道密闭收集，第一次煅烧过程中产生的废气采用推板窑炉自带的排气管道密闭收集，投料、装袋过程中产生的废气采用洁净间+集气罩收集，洁净间为全密闭空间，同时在投料口、装袋区、超声波清洗机上方设置集气罩，收集后引进布袋除尘器+二级活性炭吸附装置处理后通过15米高排气筒DA001排放；一阶段检验工段暂不使用乙醇、丙酮，仅使用纯水清洗，因此本次暂不产生清洗废气（非甲烷总烃）。本项目一阶段未被捕集的粉碎、储罐进料、第一次煅烧、投料、装袋废气在车间内无组织排放；危废暂存间废气经二级活性炭吸附装置处理后无组织排放。噪声：本项目一阶段噪声源主要为高速分散搅拌机、微波干燥机、粉碎机、推板窑炉、罐装机、砂磨机、冷水机、空压机、纯水机、冷却塔、抛光机、搅拌机、废气处理设施风机、中央空调等，主要采取了选用低噪设备、基础减振、距离衰减、风机出口安装消声器等措施来降低噪声。固废：本项目一阶段产生的固废主要有渣尘、废滤芯、污泥、不合格品、（第二次搅拌砂磨）砂磨机组清洗废液、灌装机清洗废液、研磨废液、抛光废液、检验设备清洗废液、废包装材料、废活性炭、废过滤棉、废多介质过滤器及废膜等、生活垃圾。其中危险固体废物不合格品、（第二次搅拌砂磨）砂磨机组清洗废液、灌装机清洗废液、研磨废液、抛光废液、检验设备清洗废液、废包装材料、废活性炭、废过滤棉、废多介质过滤器及废膜等委托市**公司处置；一般固废渣尘、废滤芯、污泥由绿****公司回收综合利用或处置；生活垃圾由环卫部门统一清运。
环评中废水处理工艺为沉淀、过滤、RO膜反渗透，变动后废水处理工艺调成为沉淀-过滤（压滤）-RO膜反渗透-回用于冷却塔补水，该变动属于污染防治措施强化或改进，且不增加污染物排放，因此不属于重大变动

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

建设单位必须贯彻循环经济理念和清洁生产原则，最大限度控制和减少污染物的排放。同时建设单位在营运期间必须严格落实本报告表中环境风险评价中的应急措施和事故防范，避免意外环境事故发生。本项目须制订环境应急预案，做到应急组织机构落实信息交流通畅，并配置必要的应急处理设施，防止生产过程、物流贮运过程以及污染治理设施的环境污染事故发生。同时必须开展安全风险辨识工作，避免安全事故的发生。	建设单位已贯彻循环经济理念和清洁生产原则，最大限度控制和减少污染物的排放。建设单位已加强环境风险管理，落实《报告书》提出的风险防范措施，防止发生污染事故。本项目已制订环境应急预案并取得《企业事业单位突发环境事件应急预案备案表》（备案编号320211-2024-029-L）。
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0.0283	0.0306	0.028	0.028
0.015	0.122	0.015	0.015
0.0007	0.0107	0.001	0.001
0.0001	0.0015	0	0
0.0013	0.0153	0.001	0.001
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0	0.0479	0	0	/
0.058	0.0787	0.058	0.058	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	生产废水经厂内废水处理设施处理回用于生产（沉淀、过滤、RO膜反渗透）	pH值、化学需氧量执行《城市污水再生利用工业用水水质标准》（GB/T19923-2024）表1标准，悬浮物执行《城市污水再生利用工业用水水质标准》（GB/T19923-2005）表1再生水用作工业用水水源的水质标准	沉淀-过滤（压滤）-RO膜反渗透	监测2天，每天监测4次
2	生活污水经化粪池预处理后接入污水管网，并送****公司集中处理	《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020）表1中“间接排放”标准	已建设	监测2天，每天监测4次

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

本项目一阶段粉碎废气通过密闭集气罩收集，储罐进料过程中产生的废气采用真空输送的排气管道密闭收集，第一次煅烧过程中产生的废气采用推板窑炉自带的排气管道密闭收集，投料、装袋过程中产生的废气采用洁净间+集气罩收集，洁净间为全密闭空间，同时在投料口、装袋区、超声波清洗机上方设置集气罩，收集后引进布袋除尘器+二级活性炭吸附装置处理后通过15米高排气筒DA001排放

**省地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1标准限值

一阶段已建设

监测2天，每天监测3次

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

本项目一阶段噪声源主要为高速分散搅拌机、微波干燥机、粉碎机、推板窑炉、罐装机、砂磨机、冷水机、空压机、纯水机、冷却塔、抛光机、搅拌机、废气处理设施风机、中央空调等，主要采取了选用低噪设备、基础减振、距离衰减、风机出口安装消声器等措施来降低噪声

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）表1中3类区排放限值

一阶段已建设

监测2天，每天昼、夜各监测1次

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

按“减量化、**化、无害化”原则和环保管理要求，落实固体废物的收集、处置和综合利用措施，实现固体废物全部综合利用或安全处置。渣尘、废滤芯、污泥统一处置或回收综合利用；废包装材料、废乙醇、废丙酮、清洗废液、研磨废液、抛光废液、检验设备清洗废液、废活性炭、废过滤棉、废多介质过滤器及废膜等、不合格品、(第二次搅拌砂磨)砂磨机组清洗废液、灌装机清洗废液均属于危险废物，必须全部委托有资质单位安全处置，厂内危险废物的收集和贮存须符合《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)和《省生态环境厅关于进一步加强危险废物污染防治工作的实施意见》(苏环办[2019]327号)的有关要求并且在危险废物转移前办理危险废物转移、交换批准手续。生活垃圾应委托环卫部门统一处置。

本项目一阶段产生的固废主要有渣尘、废滤芯、污泥、不合格品、（第二次搅拌砂磨）砂磨机组清洗废液、灌装机清洗废液、研磨废液、抛光废液、检验设备清洗废液、废包装材料、废活性炭、废过滤棉、废多介质过滤器及废膜等、生活垃圾。其中危险固体废物不合格品、（第二次搅拌砂磨）砂磨机组清洗废液、灌装机清洗废液、研磨废液、抛光废液、检验设备清洗废液、废包装材料、废活性炭、废过滤棉、废多介质过滤器及废膜等委托**市****公司处置；一般固废渣尘、废滤芯、污泥由**绿****公司回收综合利用或处置；生活垃圾由环卫部门统一清运。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

建设单位必须贯彻循环经济理念和清洁生产原则，最大限度控制和减少污染物的排放。同时建设单位在营运期间必须严格落实本报告表中环境风险评价中的应急措施和事故防范，避免意外环境事故发生。本项目须制订环境应急预案，做到应急组织机构落实信息交流通畅，并配置必要的应急处理设施，防止生产过程、物流贮运过程以及污染治理设施的环境污染事故发生。同时必须开展安全风险辨识工作，避免安全事故的发生。

企业已设置一座125立方米事故应急池以及100m3的集污袋，并配套应急管线、应急电源和应急泵，以上措施可收集事故废水合计225m3，可满足事故废水储存需求。拦截后的事故废水通过厂区内管网或应急水泵进行收集转移。本项目已制订环境应急预案并取得《企业事业单位突发环境事件应急预案备案表》（备案编号320211-2024-029-L）。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程