小型磁控溅射镀膜机采购结果公告
| 申购单主题： | 小型磁控溅射镀膜机 | 申购单位： | **** | ||||
| 申购备注： | |||||||
| 设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | 售后服务 | ||
| 小型磁控溅射镀膜机 | PD | 200C | 1 | 国内含税价/人民币 | |||
| 规格 | 1.真空镀膜室：304不锈钢材料，圆柱式，门上配有观察窗；镀膜室内净尺寸约为：300*300*H300mm。 2.真空系统：机械泵+脂润滑分子泵，极限真空：优于8*10-5 Pa；工作真空8*10-4pa以下，抽真空时间少于35分钟。 3.真空极限：优于8*10-5 Pa。 4.旋转加热基片台：承载最大直径75mm基片；基片台磁流体密封，电机驱动基片台旋转，旋转速度0-20转/分钟可调；配挡板。样品台加热温度室温-350℃。 5.均匀性：75mm直径范围内不均匀性≤±5%。 6.控制方式：西门子PLC+西门子触摸屏手自动控制系统。 7.直流溅射电源：功率500W。 | ||||||
| 中标供应商 | 单价 | 初选理由 | |||||
| **** | 148000 | 最低价原则 | |||||
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