双靶离子溅射仪
| 申购单主题： | 双靶离子溅射仪 | 申购单位： | **** | 报价类型： | 国内含税价 |
| 使用币种： | 人民币 | 公示时间： | 2024-11-20 09:28:45 | ||
| 申购备注： |
| 双靶离子溅射仪 | 速普/深****公司 | J20 | 1 | 1、原厂原装。2.服务支持:售后服务标准必须与该产品出厂市场标准服务一致； |
| 规格 |
| 1.真空泵：旋片式真空泵 2. 抽速：≥4m3/h 3. 极限真空：＜1 Pa 4. 工作气压：4-10 Pa，可恒压控制 5. 抽真空时间：＜3min 6. 真空计：皮拉尼真空计 7. 腔体：~Φ 135 *120 mm 8.数显样品台：Φ75mm可偏转数显行星样品台，旋转转速：10-60RPM可调，偏转角度：0- 40度可调，靶基距45-60mm可调 8. 溅射靶材：靶材尺寸 Φ 30 0.2mm/2只，可实现单靶溅射、双靶共溅射、双靶交替 溅射功能 9.溅射电源：恒功率磁控DC溅射电源 Max. 20W ，Max. 100 mA，0-800 V DC 10. 操作方式：触摸屏控制，控制系统提供互锁保护功能15.冷却方式：风冷 16.质保：一年 |
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