一、项目信息
采购人：****
项目名称：****多靶材电子束镀膜机采购项目
拟采购的货物或服务的说明：一套多靶材电子束镀膜机
拟采购的货物或服务的预算金额：****000.00人民币
采用单一来源采购方式的原因及说明： 课题为了实现多种金属薄膜的蒸镀，同时可支持多片镀膜，根据项目需求，需要购置一台多靶材电子束镀膜机设备，专门用于Ti、Au、Pd、GeAu、BeAu等金属薄膜的蒸镀。要求1）高真空镀膜腔体极限真空可达到9e-8Torr、2）样品盘支持4片8英寸基片或6片4英寸同时镀膜；样品盘转速0-20RPM可调；3）镀膜均匀性：直径100mm条件下，批内、批间膜厚均匀性≤±3%；直径50mm条件下，片内批内与批间膜厚均匀性≤±1%。货期预计3~5个月。
该设备是硅基量子点芯片制备时的基础微纳加工设备，能实现Ti/Au/Pd/GeAu等多种靶材的高均匀性的多片同时蒸镀，可以减小蒸镀时的差异性与靶材消耗。受欧美等国家的禁运影响，同类型的进口高性能产品已无法购买到，国内供应商****是唯一能生产、****公司，他们的产品型号是VATECH50，该型号设****实验室多种靶材与多片同时高均匀性蒸镀需求的设备，因此采用单一来源方式采购。
二、拟定供应商信息
名称：****
地址：**市**区锡泰路 566 号联东 U ****科技园 20-101
三、公示期限
公示期限：5个工作日（2024年11月25日-2024年12月2日）；任何供应商、单位或个人对本采购项目有异议的，可以在公示期内以书面形式向****反映。
四、联系方式
1.采购人：****
联 系 人：赵老师
联系地址：**省**市
联系电话：0551-****9866
2.采购代理机构：****
联 系 人：刘志凌、张文奇
联系地址：**省**市**大道236号
联系电话：0551-****0264、****0268、152****7650
五、附件
1.专家论证意见
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