序号

货物/服务名称

详细参数要求

1

高精密光学参数测量仪

硬件和性能参数

功能、配置和主要技术要求

1.1 功能：采用光波导技术对电介质及聚合物膜的折射率、膜厚、热光系数、波导损耗的测量。可用于表征电介质、聚合物薄膜的各向异性，如取向性等，允许测量从常见到特殊的薄膜而不需依靠内部系数或菜单式校准曲线。完全通用化-没有固定的薄膜/基底合并菜单；可测量双膜结构中的单膜厚度及折射率，单膜层厚度和折射率/双折射进行快速及准确测量。

1.2主要配置：标准主机，内置635nm、1310nm、1550nm激光器和一路外接激光器端口，棱镜、标准样品、锗探测器、电脑等

1.3主要技术要求：

l 实现xyz三个方向上的折射率、TM模式双折射指数测试；

l 不需要预先测量折射率范围

l 棱镜与被测样品直接接触式耦合，不使用耦合液

l 能容纳150mm×150mm的样品

2 折射率精度优于:±0.0005 折射率分辨率优于: ±0.0003

l 厚度精度优于:±(0.5%+50) 厚度分辨率优于:±0.3%，厚度测量范围满足2-150

l 波导损耗精度优于±0.05dB/cm；

2 折射率测量范围不低于:1.0-3.3

l 操作波长:635nm、1310nm、1550nm且支持TM模

l 具备一路外接激光器功能。

l 可扩展变温测量，最高不低于150℃

l 同时测双层膜的两个折射率和两个厚度参数、光波导损耗;

l 在透明基底上测量薄膜

l 允许基底材料:硅、砷化镓、玻璃、石英、蓝宝石、铌酸锂、钽酸锂等

l 测试模型选择：薄膜及波导折射率/厚度测量；体材料折射率的测量；

2

售后服务

售后服务

1、供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。

投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。

2、在保质期以内，投标人在接到客户的维修通知对故障能在1个工作日内响应，2个工作日内派出有能力的维修人员****维修处理（若用户提出新的要求，在招标文件的采购设备清单中特别提出）。

3、在保质期满后，投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务，当发生故障时，投标人应按保质期****维修处理，合理收取维修费。

4、质保期2年。