一、招标内容：1.LSR机箱定制开发
调焦调平机箱（以下简称LSR）为调焦调平分系统提供支撑，包含数据的解析、信号采集、驱动控制等。总线VMEbus，符合VME64x 规范。控制总线，VME，用于主板访问各从卡地
址，SBC 主板命令下发，控制总线中断接收等。SRIO 通信速率5Gbps，SRIO 用于多卡之间的数据传递与数据共享。SYNC 通信速率10Mb/s，以太网通信速率1000Mbps。
2.IMCR机箱定制开发
曝光控制机箱（以下简称IMCR）为曝光系统提供支撑，包含数据的解析、信号采集、驱动控制等。总线指标值VMEbus，符合VME64x 规范。控制总线，VME，用于主板访问各从卡地址，
SBC 主板命令下发，控制总线中断接收等。
SRIO 通信速率5Gbps，SRIO 用于多卡之间的数据传递与数据共享。SYNC 通信速率10Mb/s
以太网通信速率1000Mbps
3.WHCR 机箱定制开发
晶圆传输机箱（以下简称WHCR）为晶圆传输系统提供支撑，包含数据的解析、信号采集、驱动控制等。总线VMEbus符合VME64x 规范。控制总线，VME，用于主板访问各从卡地址，
SBC 主板命令下发，控制总线中断接收等。
SRIO 通信速率5Gbps，SRIO 用于多卡之间的数据传递与数据共享。SYNC 通信速率10Mb/s以太网通信速率1000Mbps
4.ROCR 机箱定制开发
OCR 机箱是工件台现场的信号采集板卡机箱，机箱内部包含ROCB 板卡、RODB 板卡、PIOB 板卡和背板。
5.WAAR机箱定制开发
晶圆对准机箱（以下简称WAAR）为晶圆对准系统提供支撑，包含数据的解析、信号采集、驱动控制等。总线VMEbus符合VME64x 规范。控制总线，VME，用于主板访问各从卡地址，SBC 主板命令下发，控制总线中断接收等。SRIO 通信速率5Gbps，SRIO 用于多卡之间的数据传递与数据共享。SYNC 通信速率10Mb/sPDBUS 32 位数据，10 位地址并行总线，含控制信号，通信速率5Gbps，以太网通信速率1000Mbps。

二、资格要求：可接受验厂，需具备加工及制板能力、设计能力等。具有质量体系认证证书。具有较为齐全的测量设备。

三、对接及谈判时间、地点：2024年11月9日，地点：**。

四、采购单位名称：**** 马越，电话：010-****6807

五、采购单位地址：**市**区上地六街17号康行大厦5层6514